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高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究3) H1 i! x d" ^, _" X% d
阳建华 张 帅 陈继民. y# Z+ j4 k4 W, L
(北京工业大学激光工程研究院 北京100022)& I0 Z+ }, L1 `* S
提要 通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验
$ `. }( V$ J* e2 u! n设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质
& t" t( F5 @: v4 U9 | t% s量的铜质薄膜器件。$ y9 {* L8 a4 h7 R
关键词 紫外激光 微加工 掩膜 激光切割 |
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发表于 2006-10-8 19:55:56
