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发表于 2015-1-29 16:18:42
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用平晶以技术光波干涉法检定测量面平面度时，出现的干涉条纹，其干涉原理是等厚干涉。干涉条纹的形状一般有直线、圆形和弧形三种。如干涉条纹平直，相互平行,且分布均匀,则表示被测表面的平面度很好，如干涉条纹弯曲，则表示平面度不好。其误差值为f= (v/ω)×(λ/2)（v为干涉带弯曲量，ω为干涉带间的间距），干涉条纹过多不利于肉眼的分辨，轻微的干涉条纹弯曲无法识别。此时应调整平晶与被检工作面的接触状态，减少干涉条纹数量，以出现3或5条干涉条纹时估读条纹弯曲量与条纹间距的比值为最佳，如果仍然表现为干涉条纹呈相互平行的直线，就应该判定被检工作面平面度误差为0。/ I0 J' E) ^+ v' u
圆形干涉条纹说明被检工作面为球面，中凸或中凹点在工作面的中心，判断凹凸的方法是用手轻压平晶中央，如干涉条纹向内跑即为中凹，向外跑即为中凸。平面误差按干涉条纹的圈数n乘以半个光波波长λ/2计算。一般白光λ为0.6um。如圆形干涉条纹最外圈是对称的半圆形，则两条对称半圆形条纹按一圈计算。如只有一条不对称的半圆形条纹，也按一圈计算。( \4 @2 L4 ?# O8 D+ G6 f& P
如干涉条纹为平行的弧形条纹，则按通常的方法，取条纹弯曲量a与条纹间隔b的比值再乘以λ/2作为平面度误差值。判断平面的凹凸情况的方法为：将平晶先与测砧（zhen）边缘接触，再慢慢与平面贴合，如干涉条纹远离接触点的方向弯曲（条纹中间离接触点比两端远），则为凸面，相反为凹面
* P/ T; d, x" I最好使用单色光，不要使用自然光，测量时间不要过长。
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发表于 2015-1-28 11:57:03
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