激光干涉仪快速检测三坐标测量机垂直度

中图仪器

三坐标测量机测量精度高、效率高，广泛应用在精密加工检测领域。它与数控机床是保证工件测量与加工精度的关键设备。其中作为高精度的测量基准，几何误差的快速、高精度检测技术都是三坐标测量机性能提升的关键。三坐标测量机运行速度的加快，动态误差往往会比静态/准静态误差对测量精度影响更大。特别在高速测量过程中，产生的自激振动和受迫振动，都会产生动态误差。激光干涉仪是常用的机床、三坐标测量机几何误差检测的手段。
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1 ^2 j; c7 K& n% P: q* G. Q其中垂直度测量是通过比较正交轴的直线度值从而确定正交轴的非直角度。三坐标测量机的垂直度误差可能是导轨磨损、事故造成导轨损坏、机器地基差、正交轴上两原点传感器未准直等因素造成的，垂直度误差将对机器的定位精度及插补能力产生直接影响。SJ6000激光干涉仪以光波为载体，在动态测量软件的配合下，可实现三坐标测量机的垂直度检测分析。

垂直度测量构建
SJ6000激光干涉仪垂直度的测量是直线度测量在二维方向上的延伸。垂直度测量由正交轴的两组直线度测量组成，其中直线度反射镜作为共同的参考基准，在测量过程中保持原为，且不进行调整；光学角尺用于至少在其中一次直线度测量中，允许调整激光束与轴的准直。垂直度误差=光学直角尺误差-斜度θ1-斜度。
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SJ6000激光干涉仪

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. E5 H* C8 P! |3 U! u- W! ^垂直度测量的光路原理构件图

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& I  }  U: e" {9 Z+ m, Q7 b& b3 _6 ^. a三坐标测量机XY轴的垂直度测量