白光干涉仪测曲面粗糙度

中图仪器

( _1 h8 S) k" f9 ^+ I9 j$ [
白光干涉仪又叫做非接触式光学3D表面轮廓仪，是以白光干涉扫描技术为基础研制而成用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。它以白光干涉技术为原理，光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化，能实现表面轮廓的三维重建并可进行轮廓尺寸分析。
6 R/ ~% a0 d. o5 g2 S9 S& ~https://www.helloimg.com/images/2023/05/19/oEDK4Q.jpg
7 H/ Q5 `$ J8 k+ F: B白光干涉仪的形貌测量，以表面形貌为主，即工件某一个表面上的微观形貌：
1、微观轮廓尺寸测量：主要是台阶高、槽深之类，涉及到最小纵向10nm量级，在验证上可以与原子力显微镜、台阶仪交叉验证。
2、粗糙度测量：白光测量的粗糙度范围从0.1nm到10μm级别。面和线粗糙度测量，最高可确保0.1nm的测量可靠性，不限制材质和形状。
& H, i0 Q1 n( U1 [3 J( s1 S4 _) }https://www.helloimg.com/images/2023/03/01/oPpjwC.jpg

) H" l6 A  ?4 L3 U! jSuperViewW1白光干涉仪粗糙度RMS重复性0.005nm，利用光波干涉原理 将被测表面的形状误差以干涉条纹图形显示出来，并利用放大倍数高的显微镜将这些干涉条纹的微观部分放大后进行测量，以得出被测表面粗糙度，可以轻松测量曲面粗糙度。
https://www.helloimg.com/images/2023/05/19/oED8GC.jpg
% o- `( t% H4 F- N+ h$ h球面镜曲率半径、粗糙度测量

针对叶片类曲面零部件，型号为W3的白光干涉仪能够在空间范围内实现曲面全自动测量功能，解决其形状不规则装夹不便、测量点分布不在同一个面、单次测量效率低的问题。
https://www.helloimg.com/images/2023/05/19/oEDU0t.jpg
https://www.helloimg.com/images/2023/05/19/oEDV9E.jpg
5 X2 D: ?/ y; j4 `3 ?, _1 K* G0 U测量发动机叶片大空间自由曲面
) o6 S1 C. l& z, Y7 {+ jhttps://www.helloimg.com/images/2023/05/19/oEDYgY.jpg