真空泵的选择

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真空泵的选择

2 X) A9 d) R8 j& W6 @2 l选用真空泵时，需要注意下列事项：    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
    3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
    6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
6 V0 }! p6 r4 T7 O: h/ Q    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
; T( X6 ~+ h4 R  V    9、真空泵的价格、运转及维修费用。

水环式真空泵的选择

一、泵类型的确定
0 I# P5 f. F" v" p　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
　　泵工作时，需要注意以下两个方面：
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• 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
• 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。
二、根据系统所需的气量选择真空泵
( c+ Y: f( B3 w( K: n初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。
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　　面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型

代号 * B1 G( y" H. o; p7 @/ V# A9 }1 O	主要特点 ! U$ n2 g  f( N% m! Y. ]" m	极限真空度   d+ Y- h& U. R. P' u- fmmHg : p, t$ W4 S, @: {1 f	工作真空度 ( H6 M( f0 S- Y1 [# v0 v; ^mmHg + ?8 B2 y" @* A6 W* l7 U, i1 s) ^	抽速范围 m3/min	密封形式 1 l. {7 Y( K; N( D
SK , N; ?9 U3 {; }4 e5 a	国内设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。	-700	-300~-650 4 X0 t% k/ C1 k; w9 _8 m% Z# _	0.15~120	盘根、 . z) Y# ^# |$ q& I6 c机械密封
2SK	国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。 $ ?. H9 {& {4 u$ C- b0 G	-735	-300~-700 / z3 U+ t9 A! _# K# T' S3 A	1.5~30 . t0 r* _! x! F& m9 p! F5 `	盘根、 9 Q8 b+ ?4 u3 H: |: C# ~: U# f机械密封
2BV	采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。	-735	-300~-700	0.45~8.33 " ?( V4 j+ l. c% [	机械密封 # h- ~9 X$ X5 H1 Q1 E
2BE1 . z+ J: ^, j" U" A! K& M) E	采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。	-735 % n5 _* {( R" [" F-640	-300~-700 1 q/ x- k3 y. P0 v1 `; j* |& |  |-300~-600 - s* |6 x. o4 ]5 l) ^	5~400 # s( V, t) M) f! Z, c7 h* e	盘根、 机械密封
SZ	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于老用户。	-640~-700 $ T) ?8 c8 H3 F: m: x4 c	-300~-650	1.5~27	盘根 % s$ j7 A# N1 S) q! r
SZB	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。	-600 0 ?% e% Z5 Y( O( ~9 `( @	-300~-550 9 i  T. h+ Y# j$ h  c) T, N	0.33~0.66 . }% C" F7 H! r! D3 c- D	盘根
2SY 3 m- {& D' }8 y& i7 V	主要应用于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa $ b- s  L# v5 s, B5 w! G+ f	-	-	6~30	机械密封
2YK : ]. a5 \" }# n: Z5 ~% B	结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。 # T; o: `6 ]0 ]. W% Q* e) \8 a7 {/ q	-755 ; ?: K2 o/ y! V% X& O- K% `	-300~-720 ) u" F9 W1 e5 H% E0 N1 J. Z! W	1.5~30 . d9 R# r' M+ k9 |+ x  Q	机械密封 2 n" O& o" b) w! \8 O

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xysun2006

谢谢，感谢楼主分享啊！