真空泵的选择

z6z6j6

真空泵的选择

2 F4 }9 N, b# \4 f  ?选用真空泵时，需要注意下列事项：    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
" X4 l) L' P' j+ a1 N1 c, w0 k/ ~2 Q    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
    3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
3 \# w2 B  a+ V+ ~/ ~, [    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
" B  h9 \. U! m    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
    6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
- _2 B2 ]+ n. w$ I* T  x, q6 k    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
2 J; Y( x+ ]+ S: Q6 V2 A    9、真空泵的价格、运转及维修费用。

水环式真空泵的选择

/ X3 a8 H  ?2 e5 V$ e1 P) p一、泵类型的确定
' C$ p# U. i1 m: k( t* X7 r　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
6 c4 B* f& ]5 _, m9 }  b　　泵工作时，需要注意以下两个方面：

• 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
• 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。
, g5 u% q, ]) N. z6 c* T二、根据系统所需的气量选择真空泵
初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。
) m7 ^& C  y+ r! F3 ?
- I; a; y% X1 C+ E  G2 {

. U2 ]( \( [6 }+ c# i　　面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型

代号	主要特点 + k! q: O0 n0 q$ x, b$ U0 U; z6 j	极限真空度 mmHg	工作真空度 1 H" P0 ~, e  V6 h: v) ZmmHg	抽速范围 m3/min " `, q6 I! d. r; F5 h9 }	密封形式 0 o* x, i  K& a0 {! L4 p) B
SK	国内设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。 % |! ^/ j; R6 Y9 |, x! J	-700 + J$ ~' r5 O/ w' x  P' y! b	-300~-650 4 N5 z. x3 S% P8 F3 e7 L	0.15~120 & J4 e( f9 D- h2 ^1 p2 P: `	盘根、 机械密封
2SK	国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。 " u% m+ r3 @9 P% U	-735	-300~-700	1.5~30   v' Q5 E2 N) U( }	盘根、 机械密封 - O5 Q! B! W. H0 ?( r
2BV 4 a7 e% {0 E7 ^4 ]1 m( {' }	采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。 / R) U+ I. I! `( P" e$ F  X	-735	-300~-700 7 P( \7 ^9 \  `5 q# F4 g	0.45~8.33   H) [1 j* T: a1 q5 p* i	机械密封
2BE1 ' N2 @( N* }2 F5 F- |- h% H: e	采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。	-735 7 {3 M; A- ]  R. g  ^-640 : h6 |) l7 ^4 `  r, ~	-300~-700 -300~-600	5~400 + ?9 N1 b# `- T! w+ s0 ?	盘根、 2 F- |3 l! J; F8 x5 U4 T机械密封 5 p* i- Z1 h7 B& k- K$ A
SZ	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于老用户。   q4 P" ]' G0 p. M- \3 `4 H- {	-640~-700	-300~-650 3 Y- k" F& @# g5 v  ~1 \" @% X	1.5~27 2 m& }, n2 A, @: h6 C	盘根
SZB # B: A' d6 V  H1 x	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。 " d: k  f, w$ P! A/ \: ~* h	-600	-300~-550 , D/ @& a. W# F5 R6 y	0.33~0.66	盘根
2SY	主要应用于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa	- : C# Y" K+ c, e% k! o! y	-	6~30 7 G- b' {* m, h	机械密封 3 m( u7 M' e* @. S' t
2YK , s7 _7 v( c2 j- _1 x	结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。 $ f3 t) c# K6 M7 W4 B$ E) m	-755 ( J) ~4 x- C  O% z/ t: Q6 c	-300~-720 ! h0 [1 ]1 _! A5 J% C: `6 z' X	1.5~30 , W! B  l9 m  {- L& e* x( V- [	机械密封 $ d. U3 b) V3 h: T

xysun2006

谢谢，感谢楼主分享啊！