多层膜复合工艺是利用镀覆和气相沉积等技术在材料表面形成多层薄膜的方法。 " X: x2 l* F I& p+ K大量研究表明,多层涂层能满足多种性能要求,这是因为其具有如下优点:1 P f& l: G' T( C M
1可获得各个不同材料单层特性的综合特性。 0 I. |) L: ~! ^. K2与底衬更牢固地粘结。, ~ J8 O* V% p' [
3多层涂层中多个平行于底衬表面的界面可有效地抑制裂纹的产生和扩展,从而提高涂层的硬度和韧性,并获得适当的硬度、韧性比和残余应力。0 l- u- F% W$ @- L m
4可获得高致密度的厚涂层( 〉10um),满足切削刀具、磨粒磨损和冲蚀磨损等工况下的使用要求。' e5 K' C. |2 y7 s
5多层膜具有“应力阻挡”作用,可降低表面与次表面的最大应力,从而具有较高的 % `9 j3 u; k( O承载能力。