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超精密加工的技术基础和创新 论文 PDF: v4 O1 }1 r* Q3 V
来源《新技术新工艺》杂志8 j b% n# Q6 Y$ U" x
超精密加工的技术基础和创新 吴敏镜 摘 要：主要叙述了当前超精密加工技术基础和关键技术,简述了当前的发展现状,并着重指出发展超精密加工技术必须要有创新的看法.: U: A$ s% |; p' o
关键词：超精密加工;金刚石切削;加工精度;表面完整性
+ B3 G2 u3 [0 U q( B- c# {分类号：TG50 文献标识码：A
2 f7 C( w- A" \7 t9 N& v- aSupporting Technology and Innovation of Ultra Precise Processing |
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作者单位：吴敏镜（中国航天科技集团公司230厂,100854）
: r+ o$ g2 F G参考文献：7 c9 b8 f( Z5 A j
[1]石川宪一,等.关于利用椭圆振动的内圆刃切片的力学研究--关于椭圆振动的切片加工机理切断力的动态[J].精密工学会志(日),1999,65(11):1605-1610.5 L, t' F+ U- L
[2]江田弘,等.口径直径300 mm硅晶片用加工机械的开发[J].精密工学会志(日),2001,67(10):1693-1697.
T1 M- u) [2 R) o* J[3]郭东明,等.集成电路制造中的超精密加工技术[M]//柳百成.工程前沿(第1卷):未来的制造科技与技术:213-226.
, ?! J# ?/ A& M[4]井川直哉.超精密机械加工技术的现状与课题[J].精密工学会志(日),2002,68(1):54-58.
( i( I& I5 @7 l+ z[5]吉田嘉太郎.超精密加工与构成于是要素[J].应用机械工学(日),1988,29(2):70-79.
/ R* p* T; K s& J) m% C% w) T( p[6]最硬的钻石.参考消息:2006年2月10日.
& C: S" y" V5 Q% }6 S, O
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发表于 2007-3-25 14:59:16
