纳米晶硅薄膜光伏电池& j6 Y& k" k5 Q8 ]* R
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纳米晶硅薄膜光伏电池,比单晶和铸造多硅太阳能电池具有更多的优越性,不但转换效率可以进一步提高,而且相同的太阳能电池单晶和铸造多硅电池对硅材料的消耗比纳米晶硅薄膜大100倍以上。纳米晶硅薄膜由于以硅烷为原料,规模化制作纳米晶硅光伏电池1峰瓦的硅材料成本大约只要0.03-0.10元/W,而单晶硅衬底材料约10元左右,占总成本的70%。! C) h# N: M4 j9 ]+ `3 I v M0 F3 d
纳米晶硅薄膜光伏电池是能源新材料领域中太阳能电池纳米晶硅薄膜的物理气相沉积采用(PVD)方法,到目前为止国内外还没有本方法用生产薄膜硅光伏电池,其主要原因是列法获得大功率离子源的沉积设备。 9 B$ E7 m) D# V s 采用离子束方法沉积纳米晶硅薄膜、气相掺杂制备薄膜硅太阳能电池PIN结构的全新工世艺突破了此关键技术,因此很好地获得纳米至微米尺度结晶硅薄膜,提高了太阳能电池的光电转换效率,解决了非晶硅太阳电池光衰的技术难题和大规模生产的应用难题,解决了制约硅太阳光伏电池硅材料供应瓶颈。& p( |5 r2 y& T$ I3 ~
因此,降低成本高效率的硅太阳电池有着重大应用价值。