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真空镀膜机的原理及故障分析/ ^6 h" ^6 \! M% e# g/ t; a
陈敏 王存华; i0 U- K) J3 L! B
(南京电子器件研究所 南京 ) 8 \# i& s8 ]+ R8 |6 {
2002年4月, P8 Q# ]+ ]; Y4 B
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摘要:真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备,本文就DMF-700电子束真空镀膜设备在实际工作中出现的主要故障进行分析,并给出故障排查的方法。
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关键词：真空镀膜 高压电源 维修
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6 l: V2 q( ~5 q) s中图分类号：TN305.8 文献标识码:A( R, I+ r7 y E# t" r; m; R
文章编号:1005-488x(2002)02-0114-05 |
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发表于 2007-11-4 11:54:37
