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发表于 2008-1-5 23:49:56
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来自： 中国福建泉州
有一本这样的书：等离子体放电原理与材料处理
! w) P( j/ B2 S G7 m
+ m1 S3 @- p5 d3 o r内容简介
8 r# S. e S) o+ W 本书全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。全书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。' }9 ?9 V( L8 n. N
本书可供等离子体物理领域的研究生、技术人员，以及微纳电子领域的科技研发人员参考学习。
9 f+ _5 A1 i% t5 A: A" g
& h. r, n3 b% W9 R; s. C3 L* O本书目录. D+ g4 {* r2 ]8 z" g0 l
第1章 概 述
3 l* f4 @0 B* S! J& |( ~# Z1.1 材料处理 7 P; ]- J* O$ n8 ]. C3 e
1.2 等离子体和鞘层
9 m% ?! Z$ w6 h1 J" L1.3 放 电
| ~# \: z9 ] ]9 m8 i1.4 符号和单位7 C3 o% b0 M. F; y f8 S
第2章 等离子体的基本方程和平衡态性质 0 c; H, P/ T2 k6 `
2.1 引 言 # ^: x" b! ?+ }3 g
2.2 场方程、电流和电压+ Q% y- J" \$ o; O# x, g) ]3 ~
2.3 守恒方程% m6 R* n6 A; R
2.4 平衡态性质
* N+ a j! y0 W; Q, z: `& i习 题
" F4 M: h* O7 e% e- B第3章 原子碰撞 ! o2 s) E" A4 Y8 I
3.1 基本概念/ t- ]$ u# d5 ^* W
3.2 碰撞动力学
& t" @" i& g G, W' ^3.3 弹性散射 % }! e: g1 H& u5 n: W/ K6 ]8 p) ?5 S
3.4 非弹性碰撞 9 J# n; A& _) t& U `7 e
3.5 求分布函数下的平均值和表面效应
2 l( S7 x$ \8 a7 Q8 K) i习 题
1 E: _5 H2 S2 ^# W$ s( ^第4章 等离子体动力学
7 j, I0 p S6 k3 }7 m# f4.1 基本运动
7 ?/ h% f: {1 l* | P4.2 非磁化等离子体动力学
' v8 ?' i6 c) `5 s: j4 G# O# O6 u. N4.3 导向中心运动
- h; f( M0 M% {4.4 磁化等离子体动力学! j$ H, O+ d. D$ h
4.5 磁化等离子体中的波 : x/ Y9 A" O' i( u' J1 h6 B
4.6 波诊断
# p% P1 Q. n" {. i* ]习 题 1 J; m8 w6 o/ i
第5章 扩散和输运
+ d) Q, ^+ n, n# m5.1 基本关系式 4 s- [" V! P: F
5.2 扩散方程的解
3 l2 B. b9 ]. m; z5.3 低气压解 5 M. k2 H; k( [5 }" W4 z
5.4 在磁场中的扩散过程
% f2 F. D% X& K h) t5.5 磁多极约束
/ ^8 Y3 a) U3 u$ m% h; l习 题 1 I, o, R: s3 {. W6 W
第6章 直流鞘层 - t2 i$ l/ G. D; x
6.1 基本概念和方程
# f( E# y; t+ ?7 d6.2 玻姆鞘层判据
) P7 K2 G* t/ ]( q6.3 高电压鞘层 + g! H* Q* @# t2 r2 q( f
6.4 鞘层形成的广义判据
# |, f! o6 `: d& `9 t$ h' F6.5 高电压碰撞鞘层
( \: k2 [/ T2 K3 Y/ [ Y; e. y6.6 静电探针诊断
/ Z7 d6 h3 K, x% z( _$ Y习 题
, ~: j ]; R9 u/ {第7章 化学反应和平衡
! Q2 w/ |2 A( [/ ?; A) }7.1 引 言 ) ~+ v0 r1 Q! h& B/ V4 M; U
7.2 能量和焓
/ H1 ~" r+ j& \! W7.3 熵和吉布斯自由能
; p0 i" u+ b2 ~) \! \0 g; X( V5 F7.4 化学平衡
4 D9 k. X. K) N' f7.5 异相平衡
% m0 F) _' ? T1 R/ g: l* L习 题 - Y& x6 p( b# z2 B) R8 G
第8章 分子碰撞 ) d) O5 v' _: T- p4 E+ j
8.1 引 言 $ ]1 q# V7 U* H8 \2 \3 V+ i
8.2 分子结构 * A3 v& m% w( I
8.3 电子-分子碰撞反应 H0 J/ j9 ^. ^
8.4 重粒子间的碰撞
1 a" ^. g/ Q: e, u( _8.5 反应速率和细致平衡" W/ i# s2 r4 |" V
8.6 发射光谱法和光化线强度测定 ! @ t+ D* @/ {+ X$ a0 x
习 题
+ ?7 n* M" ]- f' C3 {% b第9章 化学动力学与表面过程5 ?( w z, {, @
9.1 基元反应
( A" g' v( s5 J$ i4 O; w1 C9.2 气相动力学
9 O9 O0 Y0 P4 K4 e0 v! O% f0 D9.3 表面过程
" a) y7 {( H4 ?* f9.4 表面动力学
3 ]1 v$ S; ?8 T5 w; I习 题
- I( _# V4 N% p: S, ~( a, C第10章 放电过程中的粒子平衡和能量平衡
5 j Q, g( X# m3 h D8 g& H. g10.1 引 言
) J w& D5 t, Q& Z+ s! c) f10.2 电正性等离子体平衡态分析
2 E( ~0 ]8 x& n3 K10.3 电负性等离子体平衡态分析
% W# e ]; K6 j$ l3 y) B1 X% ~10.4 电负性等离子体的近似平衡分析
4 \. I' m; D% y# x0 L2 y0 U: n! U1 m10.5 电负性等离子体放电实验和数值模拟 . [7 Y" @ F) C: w9 \& t7 O1 l' N
10.6 脉冲放电
( B1 O- Q0 n* ?* @2 k习 题
2 O- O4 \0 u9 s0 f; L5 j第11章 容性放电 5 {* [- U0 F; |6 r4 L' G
11.1 均匀放电模型7 ]. @; p2 }1 {; S7 U/ q
11.2 非均匀放电模型
+ P# R% c3 h X+ l( W* s9 l11.3 实验与数值模拟2 t$ c5 ~ q9 X( Z7 N
11.4 非对称放电 & |; @# T3 J1 F9 s2 n- j- F* p+ N6 n/ R
11.5 低频时的射频鞘层
, k, c6 |5 H( s5 s! \11.6 电极处的离子轰击能量
1 _0 L. R5 D9 p5 |4 i; L0 u7 u11.7 磁增强的气体放电
4 m9 k, v- I9 n/ n2 {8 R( \, ?' m1 |11.8 匹配网络和功率测量
; N7 Z7 f( {% P: l. i习 题 6 D7 g% [; a. W0 Q% x
第12章 感性放电
# Y) G2 T9 H& _3 p, K. \12.1 高密度、低气压等离子体
- e7 I" Z1 n$ M. B$ E12.2 其他工作状态
6 G# L: O& l/ z+ Q; G& |" T12.3 盘香形线圈等离子体源
2 G: J. m/ \6 g0 K% D12.4 螺旋共振器放电
+ g3 L. B3 ? M8 f2 }1 ~* d习 题 0 _ w+ r" h" g+ w) l
第13章 波加热的气体放电 / T. S5 N; K( c4 n( K5 Q; c
13.1 电子回旋共振等离子体' @+ D; ?) J9 j4 H
13.2 螺旋波放电 * u! f* B" }; H' \1 _( ^: o
13.3 表面波放电
6 K* q- d7 g( Y- d4 N习 题 " b; i, y' j1 L
第14章 直流放电 # ?* m$ u8 w5 w' o# [. x
14.1 辉光放电的定性描述 ! d3 J; h0 d$ L
14.2 正柱区分析
# q- C, Y4 ^( b9 z/ E6 ]14.3 阴极鞘层分析+ v. S1 o/ ~/ b- d g
14.4 中空阴极管放电 ( b: w8 C* O2 W/ L% D* W( b
14.5 平面磁控放电
j1 j. k+ c0 b# u5 s. C14.6 电离物理气相沉积# J2 K8 S; P: [* W: J
习 题 7 H( t7 ^0 W8 q i6 f1 x0 x: Z
第15章 刻 蚀 , t. e5 R4 @# n
15.1 刻蚀的要求和工艺过程
5 x# Q/ S5 b3 L/ C15.2 刻蚀反应动力学& M- ?& H) E0 F0 Q1 R" c( l
15.3 用卤素原子刻蚀硅
4 D9 M8 W0 _" y15.4 其他刻蚀系统
9 s0 p) g3 u+ [' k8 W, e15.5 衬底上的电荷积累
; b! s+ V2 R$ t* `& o习 题
! O' J4 R4 C$ [$ U, I& ?" s2 t第16章 沉积与注入
& g! {$ E! ^. i7 u9 l2 l; T3 ]16.1 引 言 * S _9 S% B7 G; ` L' E
16.2 等离子体增强化学气相沉积
4 f1 U2 ?2 U3 c. M16.3 溅射沉积 9 |# S9 V& L' S1 ]; t
16.4 等离子体浸没离子注入(PIII)
, T; N9 y0 V# P' \习 题 # U$ ]8 t' c( h/ g+ K* ]. x( q" c
第17章 尘埃等离子体
j: t5 \ X8 G4 b5 y17.1 物理现象的定性描述6 ^, K5 X1 l. _
17.2 颗粒充电和放电平衡9 M7 C) h. f3 D, q* F
17.3 颗粒平衡
% V, P6 W) D' M8 t17.4 尘埃颗粒的形成和生长
6 Y$ K1 F" N8 F) Q" \- A7 U17.5 物理现象及其诊断
% \% k- A; q; E ~& r1 J1 Y17.6 颗粒的清除或产生
7 Q- H# ]/ R0 e习 题 # q5 _6 Q& {) v3 ^
第18章 气体放电的动理论 8 K4 n" C0 Q! {
18.1 基本概念 # Y* u5 n/ T" ~* b, Q* r6 {4 n9 N* Y
18.2 局域动理论
z5 ?) Q6 _; }. e# c5 J18.3 非局域动理论
4 z$ }" t9 Q& J4 _2 q) R18.4 准线性扩散和随机加热* G3 L/ q9 t9 `# z$ r- Z
18.5 在趋肤层中的能量扩散
( v! X& W6 [" J( P; y- k- R18.6 放电的动理论模型 ( y1 X; S$ m8 m4 ~3 r2 x9 \
习 题
0 f: h7 k" [, T, Y附录A碰撞动力学 ' r, M- }# L3 r
A.1 库仑碰撞截面
' M7 U' d- B" H, `( s$ D _# {附录B碰撞积分
/ p+ J) R9 Z# eB.1 玻尔兹曼碰撞积分8 X$ @* T$ k( `' P8 s
B.2 平衡态下的麦克斯韦分布 ) K5 D( e G" w( S7 H
附录C变迁移率模型中的扩散方程的解
, R4 O' [2 f" s/ Z参考文献 |
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