干式泵常识

清风明月

干式泵常识
  R6 n' h0 j( V  r+ q* }2 dQ：什么是涡旋干式真空泵？
7 Q1 L& r0 ^( G% WA：不用油类或者液体密封的变容真空泵。

3 R4 @* S" k' A! s3 gQ：涡旋干式真空泵的特点？
5 u( K! J. d/ g+ j2 g/ |, M5 bA：◇无油、无污染
     ◇低噪音、低振动
     ◇使用寿命长
9 Z/ @9 h* J7 B% A0 Q     ◇空气冷却
     ◇配气镇阀、可抽可凝性气体

Q：涡旋干式真空泵的主要用途？
0 J, B  g6 H3 j! p3 K' T2 eA：◇半导体制备设备与处理室抽真空泵；
     ◇用于液晶注入系统；
4 i5 o2 L' \& I8 m     ◇分子泵真空系统的前级泵；
     ◇真空密封泵；
     ◇冷泵前级；
     ◇用于科学和化学分析仪器；
  Q) ~+ ]: Q0 r4 S+ a     ◇真空发生器；
     ◇电子显微镜前级泵。

Q：涡旋干式真空泵的主要技术指标？
" u" I2 t$ w$ J; RA：
' B+ [, Q1 F0 `+ E4 g

项         目	指            标
型号	DVS-631(双侧涡旋型无油真空泵)
抽气速率	525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz.
极限真空度	≤1Pa(气镇阀关闭)，≤2.5Pa(气镇阀开启)。
噪音	≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) (气镇阀关闭)
电机	单相鼠笼式电机，全封闭风冷。单相 220V, 50Hz, 4芯, 600W
最大连续进气压力	30,000Pa
最大抽水蒸气能力	23克/小时
电机	4芯，0.6千瓦
电源	三相200V(±10%) 50/60Hz(±2Hz) ≥10A / x2 [1 F/ S: S3 D4 \0 n 单相100/200V(±10%) 50/60Hz(±2Hz) ≥10A 三相220V(±10%) 50Hz(±2Hz) ≥10A ! C3 x( v! Q  W# O
电机速度	1425 rpm（50 Hz） 1710 rpm（60 Hz） 1430 rpm（50 Hz） 1710 rpm（60 Hz）
环境温度	5～35 ℃
进气口直径	NW40
排气口直径	NW25
外型尺寸	547(L)×326(W)×367(H) 586(L)×326(W)×367(H)
重量	41kg 44kg
漏率	≤6x10-2Pa L/S
附件	计时器(零件号502365)和说明书

Q：涡旋干式真空泵使用注意事项？
+ r, Z9 i1 H0 Q2 |+ y* q& N% ?A：◇DVS-631型涡旋干式真空设计用于抽大气。所以不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
) _/ E2 I& A1 X3 f, r6 w' C  R   ◇检查确定此真空泵安全接地。
# v7 Z- |# n1 @0 l   ◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
   ◇未加风扇盖前，不要启动泵。
   ◇泵工作条件要求：环境温度5～35℃。如果超过35℃，可能引起泵或电机性能下降。
   ◇此DVS-631型涡旋干式真空泵必须与设计规定电源连接。
   ◇必须安装电机保护开关。
7 {3 \& I* N2 F: S7 f+ yDVS-631型涡旋干式真空泵电机没有热保护开关，电机锁死时不能提供过热保护。必须在泵与电源线之间加电机保护开关，否则电机锁死时可能冒烟甚至起火。
   ◇不要由一两个人移动此泵。此泵超过40公斤，不要由一两个人移动。
, ^0 i# p2 J/ s   ◇移动泵时不要握塑料件，否则塑料件可能破损。
6 V; f9 w. D9 t) b8 j   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。
如果真空度上不去，更换法兰。
. j+ O: @9 F4 O1 T0 D, d   ◇在进气口处装真空阀。
真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。
   ◇排气口处要接排气管，以防灰尘进入泵内。

- s( c1 w0 ~8 q: [Q：涡旋干式真空泵加气镇阀时注意事项？
" y) Y. g' h3 H/ u0 O. r1 \/ Q. GA：加气镇阀主要是为了抽包括水蒸气在内的特殊气体，保证泵的良好抽气性能。使用涡旋干式真空泵时，除上述注意事项外，还要注意：
   ◇不要用此泵抽腐蚀性气体
此泵只能抽空气、氮气和水蒸气。不要用此泵抽腐蚀性气体，如有机溶剂、高浓度半导体工艺用气体、高浓度强酸强碱性气体等。这些气体容易使轴承失效。
/ Y0 @! ]6 C6 W1 V   ◇被抽气体水蒸气含量必须少于要求值。如果超过此极限，将缩短气镇阀寿命
7 b/ d! z- O6 N1 z/ W   ◇加滤网
$ \( s! ~* e4 L+ U- H. z& [使用气镇阀时，必须加滤网。否则可能抽进灰尘。
1 v) J9 W$ ?9 `   ◇定期检查
为了泵正常工作，要对滤网进行定期检查。否则气镇阀不能正常工作。
   ◇供气
要保证加适量的气体使泵高效率工作。
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Q：涡旋干式真空泵安装地点要求？
' {: V" Y3 n" ^- D: f, g8 W- XA：涡旋干式真空泵的安装应满足下述要求：
   ①平面放置
   ②避免阳光直射
+ c% J3 L1 W4 x' s3 \3 M+ r/ {   ③环境温度5～35 ℃；湿度90%，或没有结露
   ④通风良好
   ⑤泵附近不得存放化学品或易燃品
   ⑥防潮
   ⑦泵周围环境易于对泵进行清理检验。
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Q：涡旋干式真空泵与电源连接的注意事项？
A：◇检查确认此泵电源接地良好。
   ◇检查确认此泵电源为要求值。
# V6 M1 o8 b" @! L* _   ◇在此泵与真空室之间安装保护开关。
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$ ^& ~! j2 P* o$ B  x$ F* xQ：涡旋干式真空泵与电源连接步骤？
' E& d  A0 C, |' EA：①打开电机接线盒，将电源线与接线柱连接。
   ②电源线应当为达到或超过直径1.25毫米四芯电缆。具体参见使用说明书。
   ③有的涡旋干式真空泵电机内部无热保护器，一定要安装保护开关，推荐为额定电流低于10A。具体参见使用说明书。
* ]/ ]$ C/ D* A5 h. M, p6 @   ④确认此泵从电机方向看顺时针方向转动。打开进气与排气口。打开电机开关起动电机2-3秒。检查确定进气口抽气。如果电源线连接错误，将从排气口进气。
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8 ~6 Y9 B5 V: `3 H% h# K2 D0 M2 k. cQ：涡旋干式真空泵排气注意事项？
A：◇涡旋干式真空设计用于抽大气不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
   ◇不要用此泵抽灰尘。抽灰尘时，一定加滤网。
* H- Z& ]6 o9 ^: Y1 f( y* }6 l   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰
7 t4 ]' g$ Y" r( x+ h以免损坏法兰口，导致真空度上不去。如果真空度上不去，更换法兰。
   ◇在进气口装进气阀
真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。
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6 r" G  D8 G+ A& ^& T' N! F, E1 tQ：涡旋干式真空泵联结方式？
9 V6 e, @! w3 e/ rA：①用快卸法兰将进气口与相同直径的真空管道连接。如果真空管道直径过小，可能降低真空抽速。
   ②真空管道一定不能有泄漏处。
   ③检查确定管道无排气压力。
   ④正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与泵之间加真空阀。
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4 {& V/ S/ M. P5 @Q：涡旋干式真空泵操作注意事项？
A：◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
' _* j+ G. X: `; P   ◇检查确认DVS-631型涡旋干式真空泵电源为要求值。其他电源可能对泵造成损害。
   ◇如果电压高于240V, 可能损坏计时器。
   ◇每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。
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Q：涡旋干式真空泵开机注意事项？
7 T6 Y& G4 B% W* WA：①检查确认电源符合要求。
: @' `2 I- M1 a) o   ②保证在气镇阀关闭时开启电机保护开关，启动泵。
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/ y4 X8 X/ P' f  \" H; l# z" {Q：涡旋干式真空泵气镇阀操作注意事项？
& q% Z1 {/ i( Y0 b' H+ o+ c; bA：◇加气镇阀时，一定要加滤网。停泵时要关闭气镇阀。
7 v6 G' i* O4 e, D4 _   ◇一定要定期检查，确保滤网清洁，否则可能引起气镇阀问题。

Q：涡旋干式真空泵气镇阀操作步骤？
A：①加气镇阀时，一定要加滤网。
   ②气镇阀接头使用时一定要用正确尺寸管件连接。
7 |% T7 u' O* ~) d1 m. Z, y   ③开启气镇阀时，旋钮旋至与管道轴线平行方向，关闭时，与管道轴线垂直。
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3 s% J) h0 C' _9 U; j' r' R6 ZQ：涡旋干式真空泵关机注意事项？
  }: d- A% K* t' D3 t, pA：◇停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。
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( r0 Y/ m, u& ?$ _Q：涡旋干式真空泵关机步骤？
A：①停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。关断电机保护开关。
   ②正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与真空泵之间加真空阀，停泵前关断此真空阀。
8 @: Z  p6 g, _   ③每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。

Q：涡旋干式真空泵检查与维修注意事项？
1 i2 p$ D  X  ~( iA：按照下表所示时间间隔进行泵的例行检查。此时间间隔为泵在10Pa下运行的检查，可能对正常泵的工作显得过短：

部件	检查点与注意点	时间间隔
轴承	异常噪音（听）	每天检查
	新更换轴承	8000小时
密封件如密封垫、O型圈	新更换密封件	8000小时

; H9 \$ H7 `2 g5 w$ N. IQ：涡旋干式真空泵故障排除？
A：

故障	原因	措施
电机不转，能听见泵工作声音但泵不能启动	电源问题或电压低于额定值	检查电源
	泵被锁死	与当地经销商联系修理
真空度上不去	法兰口被刮伤	与当地经销商联系修理
	真空管路问题导致漏气	检漏维修
	管路被堵	加热除气或更换管路
噪音与振动过大	轴承损坏	与当地经销商联系换轴承
	泵中进异物	与当地经销商联系修理
	抽气口被堵	与当地经销商联系修理