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发表于 2008-10-22 18:56:09
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来自： 中国湖南株洲
补充介绍：
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NEBB-----无尘室测试规范
9 b8 z9 D* B3 F/ X
. l* x# W: P1 M5 k% T: G/ [测试简介在测试无尘室之前，若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解，对测试当有帮助。这里是一些背景资料，提供给读者参考。
, y* ?/ Q; B8 f% c* K$ B一、无尘室测试规范) j2 ?, ]' [3 ~" j( `+ s% |
有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的国际标准，在网络上用〝contamination control〞搜寻，可以找到很多相关资料。无尘室的定义，最早是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644的产生。以下说明无尘室的各种标准与规范。2 H- f) k1 }0 f, H9 b- y2 i0 U& Y2 {
- Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用209E。微粒计数器的制造商，虽然都推出满足公制计数法的新机型，但是要等旧机器完全淘汰，恐怕还要很长时间，因此新规范ISO-14644还没能取代209E。
- ISO-14644系列；美国政府为了推动经济全球化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行全部使用公制的国际标准ISO-14644。14644系列有8个子题〈Part〉，称为14644-1，14644-2，一直到14644-8。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等，范围很广。有些主题已经定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些连初稿都还没有，读者可以到ISO或IEST的网站上订购。
- JIS B9920 (1989)：日本的洁净标准，规定无尘室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的等级定义。
- VDI 2083 (1993)：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的量测技术。
- Gost-R 50766 (1995)：俄国的洁净标准，定义无尘室的分类与一般需求。
以上是无尘室等级规定，与洁净度量测的相关标准。另外有关无尘室污染控制〈也就是洁净度控制〉，和环境控制〈如温湿度、震动噪音等〉，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在无尘室性能测试的范围之内。8 b0 K+ r7 w1 b8 k1 Y; t2 f/ H% v6 o
- IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测，006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的第一版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。
- NEBB 无尘室测试规范第二版：这是目前最广为流行的测试规范，提到无尘室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 无尘室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 无尘室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 无尘室测试规范成功的成为产业标准。有关 NEBB，请参照本站 NEBB。
- ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三个子题，是有关无尘室里面生物污染的控制，目前都只有初稿。
每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对无尘室的要求可能都不一样。以上所列无尘室定义与无尘室测试规范，虽然以可满足大部份厂商的需求，但是严格来讲，这些规范也只是一个参考。各公司在订定测试规格时，应依照自己的制程需求，在上述规范里取出自己适用的部份，并要求供货商与测试单位照办，必要时可以酌情修改测试标准，才能真正满足自己的需求。
! H! U3 w# O: s3 P二、无尘室常用名词 ! W5 N. x) X- f h% B* O% v
- 无尘室定义：无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。
- 微粒控制：无尘室微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，订定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时，必须特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响，才是有用的数据。
- 外来污染源：从无尘室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。
- 内部污染源：无尘室内部产生污染的来源，一般是制程机器与操作员工，最严重的内部污染源一般是操作员工。
- 隔离：隔离是污染控制的一种观念，也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高滤网覆盖率的无尘室，或是使用迷你洁净室将机台整个包住。
- 稀释：稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘室。例如在 Class 10000的无尘室，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打转，要比较常的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了，部要求把人员与制程隔开。使用稀释法作为粒控制时，要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性，能掌握微粒的产生速率，才能有效的稀释微粒。
- 气流模式：指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式，才能掌握洁净度。
- 单一流向型气流：气流以同一个方向移动，这种无尘室称为单一流向型无尘室，以前称为层流型无尘室，定义并无多大改变。高洁净度无尘室需要单一流向型气流。
- 非单一流向型气流：气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘室，洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本。
- As-built cleanroom（刚完工的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的洁净室，但并没有设备及操作设备的人员。
- At-rest cleanroom（准备中的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已动作的无尘室，设备已加载并可以操作或已在运转，1如所指定，但没有操作设备的人员。
- Operational cleanroom（操作中的无尘室设施）：一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状况可以呈现和达到其正常的功能。
三、无尘室等级定义 ! L3 o, ?* A6 r3 a
无尘室的等级
5 P; U/ v' g% p. _) p" Y2 z使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。首先是等级定义的模式如下： 8 d( ]4 S2 ?/ X/ x, v' D+ R9 _) P
Class X (at Y μm ) ; g4 w& ^+ ^5 w" u$ D3 q. g
其中 X 是无尘室的等级，例如 100 或 10000 等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm 等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子：0 _) j% q. `; ~" w: p
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm) ) `+ S& [" L& _ ^ i
Class 100(0.2μm , 0.5μm ) * i& @2 A2 q0 r$ m& _3 ~) O) z
Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm ) 5 w/ k. p' m2 `4 i' I% m
在 Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....) ，一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... ) ，一般要看多几个粒径。( c, F* h% | _; K
第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：9 Z) y X* B3 B
Class X (at Y μm )， At-rest
1 u' H H1 e- i% B6 N$ g供货商就很清楚知道无尘室要在 At-rest状态下验收。
6 C [1 |! t7 x4 Q' J4 [/ ]* b第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在 As-built 时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：
& b2 F% b/ |8 G3 |& C1 B e0 e: r7 m9 n; pClass 10000 (0.3 μm <= 10000)， As-built 8 Q7 S% ~) w. P. m
Class 10000 (0.5 μm <= 1000)， As-built
# C# p" Q, g0 {" u1 p这样做的目的是确保无尘室在 Operational 状态时，依然有足够的微粒控制能力。; j& A7 B: ], b4 @3 Y: W( z! d
以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和ISO-14644的等级定义。1 L$ g, o5 Z% |0 P
! s5 i7 w7 U& t+ t
( R: ]/ t8 Q# w' K7 Q6 @Class Name ' _- P: |. M1 ]7 L+ ?7 z
! w: W/ i( J& C% \- d
% \! J0 b+ ?) Q- H3 ~8 ^4 _. c) v
5 [' K! b7 y0 A+ N3 i6 {
| Class Limits & l C- h1 i3 U1 I9 C2 W7 r: k$ M
| 0.1μm 8 O5 J2 p1 T/ c) H: a
| 0.2μm
3 {* ?. |* v6 J- ?, g; K# M- |* ]# z | 0.3μm
, f, G( b9 W- i h) n- P' F5 w( V | 0.5μm 6 C2 ?5 c$ u" M) {: ]3 ?1 H
| 5μm
+ r2 p( H. v" R% a( p. c | Volume Units ! U& \% v" ~) R3 K* u/ ~; }
| Volume Units
- O" G- t& o% T1 a% G/ ~ g | Volume Units
( ^6 E1 |$ C$ k" p, Y3 v+ q | Volume Units
6 ^4 F- P. f- B* L$ u | Volume Units
- O4 ]0 \ |! z* `. E1 J' _/ \ | SI
0 G1 A% ?* J; U/ B6 W7 ]7 C4 R | U.S. % J7 {0 [' q4 w Q* C' R$ U
| (m3)
4 ~' ~! d v, E7 J | (ft3)
9 G- _- f3 A$ L4 n; N2 \ | (m3) - {9 d5 A, F9 H5 z
| (ft3)
/ |$ |5 e$ ?4 ]5 j' k | (m3) ^$ y* P% `, a1 V j6 x& r2 i3 B
| (ft3) - P9 ?. f5 n7 p% {
| (m3) 4 _% Z6 {2 H8 J
| (ft3) 5 s. S' ~' q* u. W% _8 O2 H ]
| (m3) + S% \# _+ Q- z5 m/ o
| (ft3)
6 Q$ g7 n0 D6 O w& W | M 1
9 {+ C7 W" D, u |
+ n- B4 i+ i: I9 y% ?
0 S8 [4 u- i J6 F2 G
| 350
4 O* ]: i% I7 b3 A0 D) \. e | 9.91
$ z1 t$ Q1 L: Q& e$ Z" i2 `3 l | 75.7
" m4 O( t8 ]2 G. ]- u' Q& h | 2.14
( F$ R+ a. u/ O4 V0 ~2 ?; O6 t: m4 @( r | 30.9
: G# } ^* d4 E: `3 ^ | 0.875
( i" O7 r% X4 h: c | 10.0
/ z* X. x, u+ o) @$ c7 g* _+ k | 0.283
( U4 @( H R! M" r2 Y' c! f0 `5 I | - 0 j* z+ x1 v* o! X
| -
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| 1 4 w& m5 B% s& y5 u" l
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| 35.0
0 b, V; U; t) G7 b ^ | 265 ! g* T" q" V5 d9 f I9 @
| 7.50
% N4 X8 N0 v1 D, O) B | 106
4 W! c: y. |5 x, @5 f( Y: D | 3.00 ; ~2 y( T. k/ N) Q+ |
| 35.3 % v9 V% B9 U4 |2 x# d
| 1.00 ( g- a- P) \5 d' G/ b
| -
( K9 D2 g3 D) h7 s* A | -
$ V; V6 L" ^. g8 _* F# a( X/ h | M 2 " p9 [" }. h% {
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2 f' D; b- j. r
3 ^2 ]+ y: a1 d% X4 ~2 d
| 3,500
1 l! j2 P3 n+ j: |: d | 99.1
" G4 D* ~8 F0 u! @& |/ u! ] | 757
* G5 D& C4 T$ G: e | 21.4 # ^5 z Y# S o$ Z( [& ]% |3 R
| 309 0 D/ d! Z0 s- p, Z$ ^% t, y7 z3 d
| 8.75
* b% V4 X* S- w- g( E3 H* F | 100 % s$ ~; W4 L5 N& h) A3 F" c
| 2.83 5 D& O- r- b2 ?& V# j0 b
| -
3 `7 U# o: j9 i4 N* Q( ~+ m, u1 U | -
k% W' r/ ~& c8 ? | M 2.5 ) b) e9 |, N9 [3 |& r4 L" I
| 10
1 Y; a: Y1 r( ? | 12,400 - u4 y7 X4 t6 L# i
| 350
9 F; b1 r R" | | 2,650 2 `& d5 r' A3 x2 G, c7 o0 Z
| 75.0 4 L( s7 \! }7 j" y
| 1,060 $ Q5 Y. t2 P( R$ W5 ^
| 30.0 " Y* B" O3 S( b0 J+ r: K/ f
| 353 ' n( c3 X9 N; D! v! _
| 10.0 p' U2 w3 M8 S9 }7 ^0 r1 j: K
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, v% a2 o! E% j( Q% I, C5 p | -
5 n6 V& x8 e# g1 f | M 3 * Y8 ~; f B8 `2 j* D
|
8 o9 y n8 e. F4 O7 T
" }; ~7 F- [& p$ G | 35,000
$ h; @" r; V0 W9 e2 A- { | 991
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| 214 ( ]/ R+ ]" e1 Y1 d+ j2 M2 ]6 M q
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2 o& F& Q5 S, @. [ | 87.5
8 B; _; b/ v$ M | 1,000 4 |0 _ P- O% t8 _
| 28.3
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| M 3.5 4 ]- B! ^$ w' ]8 U8 |) O/ `" B
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" C* z/ c4 \0 H/ C | - % W' {+ ]! e6 U- P. i
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: V) Y( M8 S. ~; ~2 p# w | 26,500 3 p9 N6 Q! r$ X% v) n r- {+ T
| 750 2 v5 `7 }7 {- P- d! D' Z" H; q
| 10,600
( }; O; r4 {% D | 300 8 X) U, ^7 X5 [
| 3,530
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| -
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| M 4 5 _9 _5 Q( l' m
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L6 j4 P" l6 _5 k
) D) a0 p- w( D+ N | - * P+ }" J! G! [- L4 R8 F# r; }* g
| - $ j4 t+ A( d* y+ S' Q1 G+ I
| 75,700
: d- Y. O2 G; D* Z" b4 k | 2140 e. |- k# j- a" z' S
| 30,900 " _/ I9 Q' [5 R" Q- Z. A
| 875 * p# i; N1 h/ N, t3 _7 j
| 10,000 2 f4 A1 K7 w- k0 q0 W
| 283 ; g2 b# H0 {+ @- n
| -
! N4 I* d) S, e& ? | - . Z7 H1 B) f1 L1 ], _* u% @
| M 4.5
7 G: I$ Q$ o: p- i6 G u | 1,000
1 w7 z, p7 _5 V& U | - ; K0 F: \0 o& _1 x4 K
| -
2 ^" p( h% {% d/ ~5 ?6 b, I; v3 \ | - 0 F3 ?0 I& {7 ?$ R, h* d; g
| -
$ Q8 c6 p" j6 G' m2 _$ t | -
/ F$ p& i+ i; T& {5 } | - 9 C5 j3 K$ a% w( v0 V* x6 W
| 35,300 4 B% P: Y+ i! _) J+ z( v
| 1,000
5 q: Q( L' ~5 d# [ | 247 " i! C+ }0 q6 x. k( Y
| 7.00
* I7 ~ }" o' E3 G0 Y; d3 l; A | M 5 3 D7 _- M! o2 u. O* a' X p
| - x( |) B! g5 B, A8 `1 k! u. a
8 f. H. @* Y1 H. w. Y
| - ! K' k- w, u) N( `' b& c' @
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| - " v6 N- j) B; [5 |8 c/ h
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| 2,830
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| 17.5
( W: E+ N d! |7 K- ~. I | M 5.5 ' J; ~) m- v& N+ Q% }& v
| 10,000
2 n( ^* V+ Y4 S, Q. v; P | - 6 _- y4 `4 X9 K3 Q9 m. q
| -
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| - 4 z w o. |5 X" V3 r+ y
| -
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| 10,000 / _% j. M/ J6 n7 Y+ ^' r
| 2,470
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| M 6
a( j5 `1 N' x; ~5 r |
/ k1 I2 o3 O2 A
1 Z% n) V3 N8 T+ o | -
3 b2 n; u2 e( X) A+ D( R+ E/ x( d | - 2 b' `3 A3 s r1 F
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| 6,180
3 @# y) Z/ W$ B | 175 3 x: P- ^- |6 a2 v1 Y& w/ c* X3 d
| M 6.5
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| -
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| - / l7 k8 b* l* t5 k2 i- ^. c
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- ?6 _ U4 n, @% B7 i' I | 3,530,000 / ?( T! L1 v& e0 B' W" G* P0 ]7 a
| 100,000
. x: H- Q' `5 a+ `3 U' r2 o; B' V! U | 24,700 . q. m4 m+ p7 z8 ~
| 700
5 A; \5 k y: L6 p0 Z* i | M 7
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. Y7 B9 Y+ p! g# t: R
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# u* [* o8 q: V( r: a D | -
1 Y& h" d- J7 n! S2 N' W$ Q | -
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4 H% ^, c6 |' @' ?$ n; G1 W2 @ | - 6 M9 z7 F3 g {' S/ y
| - . S' y5 Y! v* @7 [8 m
| 10,000,000 ' D2 [/ }/ m* [4 }( ^5 e' I
| 283,000 + J% c, ]; R+ L G
| 61,800 & ~0 n. K' ^3 I" Y/ F. a, E; M+ P3 i
| 1,750
6 L$ ]3 d3 a" [9 ? |
* B7 j* G4 |4 j# K) J
- F4 Z# Q( ?' O
Fed-Std-209E 洁净度定义 ISO classification number(N) ! }* c1 d2 L( x4 _
| Maximum concentration limits (particles/m3 of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation (1).
) R0 z& \5 A5 S0 ?9 g/ @$ v | 0.1 mm
0 z1 g- Z# Z# X/ B6 c3 S2 q' z) K | 0.2 mm 3 S @8 x& j2 X
| 0.3 mm 9 X7 T6 ^' G- {
| 0.5 mm
$ i6 V/ }& ^# E0 r9 D0 i2 D | 1 mm : J5 Q, j. q. j4 u' u% k
| 5 mm
. z2 j0 W. G$ e1 t3 a7 [7 S @- Q | ISO Class 1
0 @) X( \: c6 F: p1 U; H |; { | 10 9 |: a; R8 I, r# c# k
| 2
0 \& b7 b+ y1 A2 G2 ^- T$ K | 6 f% J+ ~; ]! Q: T! h
|
: K, x3 {7 m0 u9 ]% s5 _4 | |
6 ?+ L3 Z6 @$ l$ G" i% I | 4 a- P# q5 L, `2 V
| ISO Class 2 7 K% l6 n ~$ \- g) d- t
| 100 5 p# Z+ Z: S- s# N
| 24
6 m. m& T3 H1 ~1 r | 10
% S) ?: w9 }) F% t | 4 5 I2 Z* Q1 _5 t# p5 P/ y6 C
| . m u- y2 m% a8 a" r, Y
|
1 x7 s/ w+ M6 V6 r' C* [ | ISO Class 3 * F. k6 Q4 H$ g# x6 A! d& O! F% T6 k
| 1 000 5 S) N+ M; n2 Z$ R4 M) e- G% l
| 237
0 {( T5 r1 Z( ]$ b' {4 H7 H | 102
9 B; V) @; N- N, l( l6 A4 U | 35 $ ?) n e8 u V7 n
| 8 ; t9 s5 }& [3 i2 h' ~
|
1 {- b7 U* ?9 y! _2 y | ISO Class 4
1 k' T; {4 X) b3 L | | 10 000
! ^+ ~. `) L. _$ F2 P | 2 370
- J1 @3 M$ I" s) o L | 1 020
0 y* q) D# M8 Q; Z3 i3 a- P/ A" x | 352 4 U4 ]% _% l& G; V9 t; |9 d7 F
| 83 * c$ l* w; V8 r& @6 W
|
1 j% l. i/ }6 w | ISO Class 5 ) }. ]$ R# l- D) {3 n8 j) p
| 100 000 + ^: ?* w; }. C6 y& o' G8 J
| 23 700
( \9 e( L' P" L4 |9 X) w0 v | 10 200
g/ C1 k1 e0 P" ]& S | 3 520
5 `- a! d9 B* h | 832 : j& O) K) h5 _; Y1 V6 q
| 29 $ D Q, N& K+ l# _( e( W! p8 P6 c
| ISO Class 6 1 _- y6 p; J! r
| 1 000 000 . |7 r% `" ]1 }6 s
| 237 000
2 I* K; g( l) L | 102 000 8 }( r1 B# J4 a$ G
| 35 200
5 N0 G- C" E8 ]# } y% D1 k( B | 8 320 % s1 @ m& i% c1 P; r! c- F
| 293 5 C) V# n) I5 E% ]6 }
| ISO Class 7
0 S$ m" b: }& W( p+ O | 5 X/ {5 d- ^# J2 C6 A4 F+ T. v. f
|
( F2 ]9 u+ B. ?- S( i |
' \+ q+ v. h% ]/ M( A: p$ ~ | 352 000 % I/ M: Y" X6 }" m
| 83 200 4 S9 Q* y: S* F
| 2 930 $ S8 O' a# O, F
| ISO Class 8
5 k( @- t/ B0 G( y |
7 w f! Z, n& Q/ w, K( l | 2 c4 O* D G( {& |( A8 ^' \2 u3 {6 U
|
' P+ Y" Z3 v, m- @4 [% c: o$ v. f' D | 3 520 000 4 e2 m9 p& N$ d
| 832 000
0 d: W! |; p* Y& v | 29 300
3 l2 }. Q6 u2 U* r, `: ?4 o | ISO Class 9 ' E. _' w5 E6 E. }! P
|
" G# ~5 q" @- v | 7 K: I# {8 N& b4 e! M* S* E' O
|
$ F/ l- ]2 q7 j7 i9 R# y6 [ q B | 35 200 000
6 r0 K y1 m/ p, `1 z | 8 320 000
* `! t: f+ u( Z# F) } | 293 000 0 y/ j3 e/ u z9 X
| NOTE Z V: m0 z1 g$ S
Uncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level.
- `/ | g7 V: w* C5 l4 h0 S
! E3 P" a7 q6 |Equation (1): Cn = 10N X (0.1/D)2.08 其中Cn是微粒浓度，N 是洁净度，D 是粒径8 r5 J: a+ y- P& j) K' x
/ g# ?' i/ Z4 |& c& l
8 y. F2 H( |- g" d
|
& ?8 K, E0 P4 f
& R5 F; k9 s1 w3 {0 bISO-14644 洁净度定义 9 _( W- @ a- c, m E
2 L" K c% R% m$ q7 L+ k# U8 l
8 Y) ^0 T3 R& w4 G6 Y3 e/ ] s
比较以上两表我们可看出
8 I7 _/ z! R3 f) b# m, M+ z- 209E 的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表，徒然造成混淆
- 在两表中 0.5 mm 几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径 0.5 mm 的粒子非常具有代表性
- 在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度， ISO-14644 的范围比 209E 都来的广，因此具有未来性
四、无尘室测试范围
8 D7 R. ^( I; G# s凡是和无尘室环境控制有关的因素，都在无尘室认证的范围之内。在无尘室完工之前，业主、施工单位、与测试单位‧应就以下几个主题做详细讨论并达成协议，以利测试进行。: U0 i) @1 E% N# `8 k4 t
- 待测无尘室涵盖范围、等级、面积、滤网位置、与数量
- 测试的目的
- 测试程序
- 使用仪器
- 测试报告撰写方式与内容
- 工期
在测试前，将以上项目定义清楚，可以使测试顺利进行，发现问题时也可以尽快排除，对业主和施工单位都有利。# U& M k1 C7 {/ T0 L9 r
IEST-0062 有一个表说明测试项目，以及适用状态，具有相当参考价值表列如下。
1 x! g+ Y; c! dIEST-RP-CC006.2 Table 1: ?4 o: ]: ^2 }
% o. ]: b( W; N4 C% P/ U$ w
章节! T+ w. z% Y% H" ~3 L7 e$ u
| 测试项目
# r/ u, `( A& {0 `- {% b8 x3 X | 单一流向型
6 F4 W4 G1 P0 F1 f$ \/ Q1 M+ \ | 非单一流向型 - {, q1 d' Z" c% ^, j
| 混合型 0 R. ?* v" J! X$ X# Z c% K8 C
| 6.1 s0 o. l$ l9 V3 |
| 风量与均匀度
$ h @. a% o* }' F! {) W* e! V" K风速与均匀度 / `8 W. L# F# R
| 1,2,3 ' L4 ~ M$ W! d% N. ^
1,2,3
0 c7 l! C+ O) O' d9 P | 1,2,3
& c, V% ?2 I& x8 q& O; POPT , d ?* M6 _& V( ~
| 1,2,3
( Z2 ^6 k2 H6 S! \# t0 tOPT
5 e1 ~# B( u- H. @6 r | 6.2 P; ]0 p& n z/ q9 I& B1 U% S- ~
| 滤网泄漏
- o8 k8 n6 |) F8 M a | 1,2 , W) a1 \' S$ a
| 1,2 ' q5 X2 T0 J# x5 V
| 1,2 , `1 ^( z9 M2 j2 t- G8 d
| 6.3
+ ~% e) N% I& b4 T | 洁净度 ' C; G S: v" y, l
| 1,2,3 - ]8 e5 R, \5 R. i8 v; K
| 1,2,3
3 f% I# N; m/ | x | 1,2,3
: d# G0 e7 v- E. s/ w | 6.4 1 a9 B9 `9 E" k
| 压力
$ Y& U7 k/ y/ I& [$ u/ B& n1 Q/ h | 1,2 ( `% s: W: n6 P. H6 Z5 ?
| 1,2,3
' T4 b2 _2 v! B1 e | 1,2,3 ! E% e+ H4 |1 B& p* G5 a& Q m
| 6.5
0 s7 }9 Q$ z( ]& v# j# E | 平行度
- x: W6 @. P4 J1 O* w- ?! Z' y% j | 1,2 0 ~0 o: G% A- [1 k
| N/A
5 V0 j' r% ^1 u" P( w2 x5 t8 N | OPT (1,2 only)
" D8 r9 D- I' D$ I/ q | 6.6
7 P. X1 }$ g' \( y | 空间泄漏
4 G5 J6 Z0 }9 _* a+ R( W# ^/ K9 | | 1,2 ) ~5 V7 f" d$ j( p
| 1,2 % U4 V# V$ a* a# `/ e/ ?% d+ V5 |; r- i
| 1,2
/ W' k& @& f* L" ?! n% u/ z | 6.7 % c! b& h7 a$ b. m' f
| 恢复率 9 H) [, p( ~3 A A' L
| N/A / C: j; F7 `) F1 H k& u1 ~
| 1,2 7 V% t+ {4 k$ k! {, \2 R# n+ F
| 1,2 4 K' J' \7 y9 z0 e
| 6.8
_3 x; K! ?' `2 s9 a | 粒子沉降测试
/ H/ }* E& n1 m4 _. `' B8 F | 1,2,3
; L4 ]. p9 l5 e: V& S | 1,2,3 ' ]( X5 r. e4 l
| 1,2,3
) B! h# F' f3 u3 f, d | 6.9
. R4 {# Q" G" B: s* H. d | 照度 4 x+ t1 H& O( k3 j
| 1,OPT(2,3) # ?5 R) g( n; o6 [) b
| 1,OPT(2,3)
' w M/ V- r: E3 p9 ^$ L" ` | 1,OPT (2,3) ) H% Q1 `8 U6 |2 f. X! ~# v
| 6.10
5 p8 X# I, X' t, ~- \; u | 噪音 5 \& k6 ?8 H9 t1 {& g
| 1,2,3
( f8 U. o% C; p' X( C5 E | 1,2,3 5 D2 d7 L- j5 V
| 1,2,3
: p; R5 y( J" z8 P6 h | 6.11-6.13 " ?! Q# X& w6 [
| 温湿度 , j4 ~% Q/ k% ^4 j; X6 S
| 1,2,2 4 U# b" |; q, b; a4 d$ Q
OPT ; `8 M. ^9 z8 g I
| 1,2,3 * v! w1 t* O% s- |6 Z8 L3 ] w- U
OPT
, q: B% F1 Q: u5 @) |1 f | 1,2,3 c& G: v; y. B) H0 R3 g: \; m
OPT 0 ]) O3 Y+ N, J) d) e- U
| 6.14
; Q' Z3 I: u3 q, v" a+ ? | 振动 % Z; R0 m) C1 ]! T' U# ]% ]# d- R
| OPT
) ~/ V# X. g" a | OPT 4 k! R3 K C$ g1 P" N: ?; L
| OPT
! O$ D) F7 v# {! }1 q* l% C2 Q' M |
5 F% t: ]0 K- J& H' h测试的顺序没有硬性规定，但是仍旧存在某些比较理想的顺序. {- b) b" X1 x- T
1: 测试适用于 As-built
+ \$ I/ }9 z0 ~- \5 B' S状态
( x+ M$ q0 r$ E 2: 测试适用于 At-rest
2 o5 X) f2 k6 N0 ]$ A* T状态
/ \# H3 [7 N8 G( X' I6 e* D/ h( o 3: 测试适用于 Operational1 [( V" p1 q1 x1 ]0 E9 S2 [
状态
/ x$ w3 z0 [6 J N/A: 代表该测试在该状态下〝不适用〞
& U, u& k$ |/ N+ N* _4 A9 e OPT: 代表该测试在该状态下为〝选择性测试〞，可以视制程需求而定 ; m9 L: X, q# }, o, U f6 a ^
由上表可看出，风量测试〈使用气罩〉适用任何状态，因为不易受干扰。风速量测，在非单一流向型〈乱流型〉无尘室就不推荐，因为容易受干扰。当然这是 IEST 的建议，我们可以自行决定。
& d: _6 B5 w4 b" o& b. p$ Y6 h- A/ J至于测试的项目选择，NEBB 建议：依重要性分成三级，说明如下。
M1 L5 W7 q* n! r# D3 u' R* H第一级〈Level I〉: 第一级测试是所谓的主要测试，与洁净度直接有关的测试都属第一级，每个无尘室都应至少应做的测试。第一级测试项目包括：
' b6 K9 q* c0 ]A. 风速量测1 S& V3 ?; F, q! {. V( _
B. 风量量测
4 P; z1 {! Y0 Q" E2 p4 HC. 前两项的均匀度分析
) D# t; I& Z% n3 uD. 滤网泄漏测试2 @7 i( h& d4 L" f
E. 洁净度测试
+ M, a+ L: ~3 qF. 压力量测
, r1 O1 }& E# a- t9 ~$ |第二级〈Level II〉: 第二级测试，虽然也是与洁净度与气流有关，但是只有在特殊情况下才需要进行。
' h# m% D6 j! N* a j6 u7 |A. 气流平行度量测〈只适用层流型无尘室〉+ ]7 h& v# ^6 v" i
B. 空间泄漏测试〈几乎已被压差测试取代〉( B- E! h4 S. v! l7 P# i& b
C. 恢复率测试〈依建议只适用乱流型无尘室〉
& u2 Z- \* P/ w t' i# E, i6 W; cD. 粒子沉降测试〈近年来已经很少做〉
3 `% ^+ J# b: f. R5 P第三级〈Level III〉: 第三级测试就与气流无关，都是属于环境因素。
8 R' R4 M, [: DA. 照度与其均匀度
: |; K7 u# E6 I u% g5 n+ ]B. 噪音测试
+ S% }1 h* |8 M* \C. 振动测试
2 A% N( Q0 F0 h* h/ N; c* U- cD. 温湿度测试
% O1 @, Y: L* V! d( @ ' e* t x7 h) c G1 s
+ P _( K. `/ N! `" ~' i' ` |
|
