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[分享] PCB电镀知识问答

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发表于 2008-11-4 07:58:48 | 显示全部楼层 |阅读模式 来自: 中国山东聊城

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PCB电镀知识问答* Q/ l8 x6 d/ l9 E# L
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1、 电铜缸里的主要成分是什么?有什么作用,具体的反应原理是怎样的?
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主要组份:硫酸铜60--90克/升 主盐,提供铜源
/ B  Q& c! [9 l7 E* {2 ~. m+ ?% U1 @: s0 T' C" Y) f
硫酸8--12% 160---220克/升 镀液导电,溶解铜盐,镀液深度能力 3 B" H. X! _7 R* |

4 r5 ^9 c3 e* z/ ^$ ?: d氯离子 30--90ppm 辅助光剂 , b2 j1 T7 j6 A; e2 |% W9 n/ r" q
. U7 ?) M2 t5 F. R3 X9 ]% n
铜光剂 3--7ml : Y* K3 {* ^' B) I2 o
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Cu2++2e=Cu(直流电作用下)
, Q5 {: Y  U8 F4 \6 m8 s" m- l$ X. n5 U
2 t3 N5 U: S0 q1 o/ E2 x& E, ^
2、 全面板电的时候电流密度要多少?为什么有些要双夹棍,有什么作用?还有分流条是怎么使用,在怎么情况下要使用分流条? 1 V: {4 `6 @, Q7 `$ J0 `8 A" N
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电流密度一般时1.5--2.5安培/平方分米;双夹棍可以保证板面电流分布均匀性;分流条是用在阴极导电杆靠近两侧缸边的部分,防止因为电场的边缘效应造成的板边或边缘板厚度过厚的现象;
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$ F& z4 g( s# ^- R& J& `' M3、 线路电镀的时候单夹棍和双夹棍有什么区别?在什么具体情况下要这样做!
) a8 P& q& T1 a. D2 f4 Q) m( O/ n7 K8 W4 X" i6 C
原因同上,双夹棍有利提高板面镀层厚度分布; ' ]# e4 p+ p# f$ s6 d! I
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4、 线路电镀的时候夹板方式有什么要求,板与板的间距怎么?要是间距太大有什么结果?叠板又有什么结果?对于有独立孔或独立线的板要怎么样排板?
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: F- T% V6 P6 ~7 T5 e% O7 d3 \  _* h夹紧,贴紧,两面面积差相对较小;可以采用交错换位,;板之间间距尽量贴近,不叠板;距离过大,板边板面镀层厚度分布不均;独立线/孔在设计上添加辅助网格设计或者采用低电流适当延长时间,来保证镀层的均匀性,防止夹膜,线条过厚;
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5、 线路电镀的时候电流密度要根据什么来定?怎么样的情况要用多少的密度?(出电流指示)
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根据板面上实际需要电镀的板面积,而不是板面积;电流有三种1.5---2.5;看镀液种类,板厚度,孔径大小,板面图形分布状况等; , X) F  D9 i7 ]/ k

; q$ V6 E+ R8 F% y6、 电镀时间和铜厚是什么样的一个关系?
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线性关系;镀层厚度微米==电镀时间分钟x电流密度安培/平方分米x0.217微米/安培分钟
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7、 常听说的一个名词:一安镀两安 是什么意思? ; q- b* o7 W8 @5 |3 u
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电流合计板铜厚都称安;有点混乱;各个公司称法不一安=1安培/平方分米;安=盎司/平方英尺=35微米铜厚,多指基板铜厚
 楼主| 发表于 2008-11-4 07:59:51 | 显示全部楼层 来自: 中国山东聊城
金属镀膜 (Metal Deposition)
8 G6 D: m2 u' |7 ^6 r1 J又称物理镀膜 (Physical Vapor Deposition;PVD),依原理分为蒸镀(evaporation) 与溅镀 (sputtering) 两种。PVD基本上都需要抽真空:前者在10-6~10-7Torr的环境中蒸着金属;后者则须在激发电浆前,将气室内残余空气抽除,也是要抽到 10-6~ 10-7Torr的程度。 $ r; H5 T0 ~( `& M: P& f- i: R
一般的机械式抽气帮浦,只能抽到10-3Torr的真空度,之后须再串接高真空帮浦 (机械式帮浦当作接触大气的前级帮浦),如:扩散式帮浦 (diffusion pump)、涡轮式帮浦 (turbo pump)、或致冷式帮浦 (cryogenic pump),才能达到10-6 ~10-7Torr的真空程度。当然,不同的真空帮浦规范牵涉到不同原理之压力计、管路设计、与价格。
( F1 t( X8 D. b; g- v  N# m1、蒸镀 ( ]* d( L/ n: ^5 ]- o& J/ u8 J
蒸镀就加热方 式差异,分为电阻式 (thermal coater) 与电子枪式 (E-gun evaporator) 两类机台。前者在原理上较容易,就是直接将准备熔融蒸发的金属以线材方式挂在加热钨丝上,一旦受热熔融,因液体表面张力之故,会攀附在加热钨丝上,然后徐 徐蒸着至四周 (包含晶圆)。因加热钨丝耐热能力与供金属熔液攀附空间有限,仅用于低熔点的金属镀着,如铝,且蒸着厚度有限。
6 O6 {2 @  |* ~) ]# T% ~, z电子枪式蒸镀机则是利用电子束进行加热,熔融蒸发的金属颗粒全摆在石墨或钨质坩埚 (crucible) 中。待金属蒸气压超过临界限度,也开始徐徐蒸着至四周 (包含晶圆)。电子枪式蒸镀机可蒸着熔点较高的金属,厚度也比较不受限制。
9 N; Y& N% n+ r( d蒸镀法基本上有所谓阶梯覆披 (step coverage) 不佳的缺点,如图2-12所示。也就是说在起伏较剧烈的表面,蒸着金属有断裂不连续之虞。另外,多片晶圆的大面积镀着也存在厚度均匀的问题。为此,芯片之 承载台加上公自转的机构,便用于上述两问题之改善。 . f7 @, Y2 T5 W( `; M* t+ u9 l
2、溅镀 4 }0 E5 _0 D$ v; {3 Q- ^; W* E6 n
溅镀虽是物理镀膜的方法,但与蒸发毫无关系。就如同将石头丢入一滩泥沼中,会喷溅出许多泥浆般,溅镀利用氩气电浆,高速冲击受镀靶材 (target),因而将靶材表面附近材质喷溅出来,落至晶圆之上。由于靶材是一整面而不是一点接受轰击,所以喷溅出来的材质,也有可能填塞到芯片表面阶 梯死角的部位,而比较没有断线不连续或所谓阶梯披覆的问题。 0 E; f9 v% \6 x
溅镀也依电浆受激之能量源不同,分为直流 (DC) 与射频 (RF) 两种。基本上,两种溅镀机都可镀着金属薄膜。但后者特别可以针对非金属薄膜,如压电(piezoelectric) 或磁性材料,具有「绝缘、熔点高、成份复杂、对堆栈方式相当敏感」等智能型薄膜之镀着特征。
/ o, j$ l- Y% b) g' e虽然塑料可以在许多场合代替金属,但显而易见缺乏 金属的质感,为此,需要采用一定的方法,在塑料表面镀上一层金属(铝、锌、铜、银、金、铬等),一种方法是采用类似化学镀和电镀的方法,另一种是直接在塑 料表面进行真空喷镀金属—即在真空状态下,将金属融化后,以分子或原子形态沉积在塑料表面形成5—10μm的金属膜。
* d' B; J# T4 w0 Q9 \: p真空喷镀金属需要与塑料 表面底漆之间的良好配合,底漆的厚度通常为10—20μm,主要作用是防止塑料中水、有机溶剂、增塑剂等排出影响金属附着。要求涂层硬度高、底漆具有可以 修饰塑料缺陷,能提供一个光滑、平整的平面以利于真空镀的性能,并与塑料底材和所镀金属附着牢固。通常选用双组分常温固化的聚氨酯和环氧涂料,低温烘烤的 氨基涂料以及热塑性丙烯酸酯涂料。 $ M2 C) S9 ]: F* I. ~7 M
金属镀膜在空气中容易氧化变暗,同时还存在细微的真空等缺陷,所以要再涂上一层5—10μm的保护面漆。对 面漆的要求是:透明、优良的耐水性、耐磨性、耐候性,不操作镀金属膜,对金属镀膜附着牢固。通常可采用丙烯酸酯清漆、聚酯清漆、聚氨酯清漆等,当底漆采用 的是热塑性丙烯酸酯涂料时,为防止面漆溶剂通过镀膜缺陷溶蚀底漆,可以选用弱溶剂、快干性的面漆,如丙烯酸改性醇酸清漆、聚乙烯醇缩丁醛清漆、氨酯油等。
- y' ?4 Y+ U1 M- ]- C  P0 _真空镀金属的工艺流程为:塑料表面处理(净化、活化)→涂底漆→干燥→真空镀金属→涂面漆→干燥
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