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高真空应用的完整解决方案:
1 m2 ~$ ~0 x+ J应用于清洁真空要求的模块化真空泵组。+ P P5 ?+ l! B2 N6 h
灵活 紧凑 通用
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HiCube系列分子泵组根据模块化原则设计,为您提供前所未有的良好通用性,充分满足抽速从35 l/s 到685 l/s的不同的应用需求。全配置,立即可以投入使用,分子泵和前级泵的完美配合充分满足您“即插即用”的期望。产品优点一览
7 q& {' P$ U) a/ O* N( J※涡轮分子泵和前级泵的完美结合;适合多种应用需求 ( \1 J; i( J7 i1 c7 G& V R
※模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求 / M" P p7 |( o
※各部件配合简便,易于保养维修
- S+ Y9 J# l7 ^3 F※集成的驱动系统,无需额外的控制系统 6 ]3 r; m0 ~) J% n( j
※“即插即用”-无需布线和安装 9 f" ~( J# F- R& c P+ g& u
※结构坚固,服务寿命长,可靠性高 6 o2 P9 G) M5 z+ B9 J# T
※意外断电时,前级真空安全阀(可选)可保护真空腔体免受返流影响 & N* K F, k7 V, e' L6 y
※可以直接连接真空计
! P0 i' e5 L, Z; k3 F l' V
3 {+ @$ t; Q+ [应用范围
$ P" f: B1 V% |! ?5 ^# Z; V7 a2 @4 v※研发 ! Z- @3 U# r$ S4 a
※加速器 8 U1 l; R) q2 M" {
※分析和表面物理学
' v; [; I4 s3 p ]( R3 T※真空工艺 4 q: A& ]) ], Z1 v, J+ J! R
※电子束焊接 3 O+ i, }$ o* I+ n) N
※检漏系统
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HiCube系列移动式涡轮分子泵组在业界设立了新的标准:最新系列的HiPace涡轮分子泵和根据客户应用需求可选的前级泵系列完美结合。我们为您提供最新的Classic和Pro系列的HiCube分子泵组。可选择干泵或旋片泵作为前级泵,极限真空度可达 5 * 10-10 mbar。
& \& J% J# B! O7 X3 _" y: ? Q4 W 针对特别有限的空间要求,HiCube系列分子泵组中还特别提供尺寸非常紧凑的HiCube Eco经济型泵组,其抽速范围从35 l/s 至 67 l/s。 |
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