微电子机械系统(MEMS)简称微机械,是对微小机械和电子元件组合的称呼。微电子机械,从广义上讲是指集微型机构、微型传感器、微型执行机构及信号处理和控制电路,以及接口、通讯和电源等于一体的几何尺寸不超过1平方微米的微型机电一体化产品。最小体积的远期攻坚目标是微米~纳米的范畴。专家们预测微电子机械技术,将在下世纪初期相继造就一大批产品问世,并投入使用,必将影响和主宰下世纪最初十年全球经济大发展。同时将在二十一世纪形成难以估量的庞大高技术市场,它的规模之大,将远远超过微电子芯片产业,使传统的电子机械工业发生革命性的变革,导致出现一个新的高技术浪潮。2 l* u' M# G: B r+ W1 ]! A