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发表于 2009-11-5 12:42:23
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MIL-O-13830A
! H& {4 H, A, S; x
P: X$ r6 {' m美军标关于光学表面疵病的说明- O2 @# l3 w9 o# C0 _1 N3 r k
) _9 j6 J) @2 `7 ~4 V3 z1 b. }
( g- p, S, z, Y# g7 m+ t
. W8 o d% @# T一.定义:
) P: P5 c5 l' ~( Y
9 G/ a4 D. h1 e. {表面缺陷标准:依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。
. t/ y% o. Q' K ~5 j& o% p: X, a$ |2 _; A# N
道子、亮路都统称为划痕。 3 M! w/ d2 _7 H$ n9 z4 F1 h( x
" d" H$ N1 y6 S# N6 f斑点、坑点、点子 都称为麻点。
: D& ~1 a7 J- j8 Z$ F( Q8 y! _0 u! [4 l* `( C. y) m3 u
规定长与宽的比大于4:1的为划痕;长与宽的比小于4:1的为麻点。
$ @" _% i8 G' u: z3 [4 e
: S4 H( @/ ~% A 3 P; o: y" u: ~' G& B4 a( A3 P% I
: g$ v S7 {: U* U6 f当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。
) ^4 I3 y- R9 h% |0 {4 h* @; p4 C* H9 { ^$ _! P! f
; L) A0 j$ i2 I4 u! k8 H7 t8 p
9 q( M$ ^5 R7 T+ B
§美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。
4 t; _7 @5 W* e. k4 {0 c' R8 ?, Q, x9 F) Z4 _6 N5 a$ B$ V5 Q1 t8 h
/ t2 y1 ~5 ?" b+ c( y( l( v1 q) i* t. I |# C6 J$ V
划痕: 6 ]( m/ Y+ O/ x" X$ L( E$ g
! s+ X1 M+ Z: h; K
以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。) - q% U% B1 l( s, A& y( ?
0 X" `: F2 U, K, o# ]这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、40#、60#、80# 5个级。
8 B+ l1 @; @- l
$ f# s2 \1 q. ^3 N( ]8 `$ x 1 m8 O* h; a# _; x \9 y2 i* b9 \- A
d/ i! j3 x8 t3 U§SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准,前5条是美军标的规定,后两条是公司内控标准。以下逐条讲解:; R' @2 Q6 A$ p. q$ D9 N
5 m# n- {/ ~) t
# F0 O2 x' @0 Z6 Q9 [
7 C+ d# G9 H7 p; i4 O" E1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格。
8 m* M5 p. L4 R( N. X2 z5 ]7 W4 {6 Z0 y5 ^) A6 {- p
例如:元件的表面质量要求为60—40,则代表元件的划痕必须≤60#,如果元件有>60#的划痕,则元件不合格。
9 G) x% ^3 }* {9 U7 x
- b$ a3 `9 J9 H ) B- M6 D5 \! [4 Q# g# {
4 P' v6 ^/ {0 n. L' G* Y2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,但元件存在最大划痕时,所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。
7 {5 T" D" P7 R; s5 A
$ ]& H! d# g: j4 A# V& b+ q4 i- o例如:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,有2条60#长为3 mm划痕。
m: m& y+ n$ m1 Y( @
4 ~8 ~- Y; F: Y8 V$ z8 g 它的等效直径为20mm
1 {9 O; z* Q- ]' s2 ~1 X+ B7 \$ z1 m' s) f9 r _
1/4D为1/4×20=5mm 6 e' K/ {) t6 |
! K, X- ~8 y5 H, h8 M$ p
最大划痕的长度和为: / N% E9 g* `( I
) K2 P6 `0 n3 ~6 u4 \% o
3mm+3mm=6mm
- T& K. N7 A N4 p6 _! y2 _2 f4 _7 W9 c
' K- I2 H/ E( T 6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。 % R1 m$ n9 S! I8 F- s
$ I* p. r2 c0 x. c
r: Y6 N- C. S$ I( c6 [! R/ T0 d
/ ^+ h/ K3 E6 p; l9 Y3.当元件存在最大划痕,而最大划痕的长度之和未超过1/4D,要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数的一半。
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例:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,元件上有2条2mm的60#划痕,3条4mm的40#划痕。 2 ?1 f6 a3 I) h( p4 s
, }' d0 b: u: j- r0 A. n. h 它的等效直径为20mm
! l0 B( a& `' P% ~$ H: e$ Z- A: k A- l) V4 P7 y& }4 [
1/4D为1/4×20=5mm
! S7 x1 f- z, R& G" W( U# a0 O! I A# Q: c; J
最大划痕的长度和为:
; S! h% k. R( t' G( V/ z1 C' h) m o9 X' }! U
2mm+2mm=4mm
: j. P" u$ z7 U3 i( D( k
5 W. z% a5 B: M 4mm<5mm。符合2条。 6 c6 z8 z) t6 Z' s E
" w) Z. g) L' _ E$ H
但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
' o9 S) i* K+ P# q# A) a) s
4 t# e2 N; D$ W& b1.60#划痕长度为(2+2);40#划痕长度为(4+4+4+4) ! o j* u$ e+ f" s. u- f
& Y7 z" t8 u" Y3 }9 O# N
2.60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×(2+2)/20;
, h( Q" J% U9 M4 y( k3 j' J1 D( [ n
/ f8 t# `9 o5 Z. } 40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×(4+4+4+4)/20 % n; M$ `6 d& \( N% L
) Q4 ]: q6 F Y k0 \
3.所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
0 M+ _- n( {& n
1 ^( R4 L- {, T% |4 V+ q7 J) D/ o [60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4+4)/20=36 / I, ^. S: G! y, @( U
' Q6 S, a9 k5 y' V' W# l. i# L 元件最大划痕级数为60;60的一半为60/2=30)36>30;因此,元件不合格。
; H3 P. ?: n2 m# W" X0 C5 w/ a& g: g C3 X; e! F
! a( G0 l2 O( x- x, T: ]: ~. @4 {
! `% E- b) W: Q# h
4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,且元件不存在最大划痕时,所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数。 : Y" k! P( N- @& K6 F! ]
4 H9 A0 Y' h/ W. n& f: k7 ^- b
例①:元件为Æ10,表面质量指标60—40,有2条50#划痕2mm,1条40#划痕3mm,另2条40#划痕2mm,2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10 mm。
. Q" U5 D: F* b1 F) H+ M
$ U+ Q+ a, `2 ~" |所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
5 g/ P0 z3 `6 i& q5 L, P+ D4 x
, M4 [9 r4 \) `2 v7 k6 n/ ?[50×(2+2)/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66 7 R; A* R. d' N* x: k g
/ w' }+ r* F- N, x6 L ^元件最大划痕为60# 66>60;因此,元件不合格。
0 H5 S. a& e) B$ w
6 [# n I2 b1 b" ^$ Z. N8 C, \
) ^% ]* e- s6 I% A' B& m' X- Y- w2 S1 z/ e. }* E: B% V
5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时,元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个Æ6.35mm面积的区域,不允许有4条或4条以上的大等于10#划痕。 ; D, j, H! u/ ]$ ?$ z
9 S7 j- O; i8 }) g 6 k/ i. s/ J; ]- z
1 a. e) |: B0 S$ x$ u
例:表面质量指标为20-10,Æ20mm, 5 ~) J2 ]1 {. q
4 X, i" N" \. U2 k/ T L
在如图(1)所示的区或有2条长1mm
( }( K5 x* Q' U3 U h, f' w6 ~8 \3 b" B9 N/ r# h
和2条长0.5mm的10#划痕。 9 m/ U! q( _ R( f+ y7 c
$ b" }# U3 n! n
它符合5.1.1;5.1.4 (无需考虑5.1.2;5.1.3) ! [7 k2 o Q% M2 o. |7 N3 x
+ @8 D2 w0 s x }7 X# }! H% @! g但它不符合5.1.5条。元件不合格。 1 J8 y/ C b ?! m0 y% @, q
- [4 S8 s% K) P6 z, ~
9 x. S* y% Z+ J0 F( s" L- v# A% w) G
% V) B; T. l$ t Y6.对于圆形元件不允许有20#级数以上与直径相等的划痕。对于方形元件不允许有20#级数以上贯穿元件的划痕。 ! p& x5 E. \) k" \; P& S5 b
6 Y, r" v, d% u' n/ u+ f7 \; C
& \% f m- m! J' L4 ^8 x1 t e- u: Z3 ?+ t+ @
麻点: - g5 D9 J. A5 Y( E% l7 k+ L
6 n& \- y. r# C6 a/ q
依据美国军用标准MIL-PRF-13830B麻点的级数取允许缺陷的实际直径,规定以1/100mm作为计量单位。如果麻点形状不规则。则应取最大长度和最大宽度的平均值作为直径。 0 h. d3 d5 m2 Y7 B
7 @8 m! [/ M8 C R8 Z! Q(注意:美军标的麻点与划痕不同,麻点是可计量的也即麻点的大小是确定的,50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点) 5 H; y2 n* Q2 O
! w5 j3 G' W' D' A* c
! ?0 \, ], ?, ?1 O+ ?: l" l
6 _* F. d- ~0 F. [" U3 [6 G1.当元件存在超过表面质量要求的麻点级数时,元件不合格。 1 K: q3 a" E; d7 T' J* c
. F4 C0 N5 y- k9 A8 C" E+ j
例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有1个直径0.5mm的麻点 50>40元件不合格。 : _+ p6 O+ m: r- j! V' J" y s
" l8 U" h7 B* t' l) O : [ h+ g. F6 \8 C d* Z
, g1 | {- h) l3 h1 t- P1 F8 ~
2.每20mm直径上只允许有1个最大麻点。
6 u7 k: ?7 O6 S- H; v" K; d: ~3 M" h, b
例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有2个直径0.4mm的麻点元件不合格 1 R( C$ f; u) ~% j& @2 f
7 X9 |. T: f8 A2 M0 s, J4 i
3 a# t1 W) b3 s R& U
9 O" V0 y% j" N0 e- o3.每20mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍 6 T! G* u# o) y* Q
) s/ c, n1 X3 S1 Q2 ~( l0 J
例: 40mm×40mm的元件,质量指标要求为60-40,其中一个Æ20mm的区域有40#点子一个,20#点子一个,10#点子一个,同时在另一个Æ20mm区域中,20#点子2个,10#点子4个,5#点子1个。 9 y$ W* s4 @# S0 I
* R7 h+ S# {. {% }5 v* N0 A . u( [1 W( f5 x7 E2 J8 ]6 c/ P* d
) f C1 u4 D" q$ Z
§4.当麻点质量要求为10或更优等级时,任何两个麻点的间距必须大于1mm
7 ]% G' |& C, T! u2 j7 R/ c* v0 ` j1 A5 A ~( K
+ c" C) l5 i4 ~5 D
# x4 T& B. e5 K* m3 v$ }. e! i* Y& m
例:元件40mm×40mm的元件, ( l6 W. A9 o. ]+ E W* x
+ f7 Y6 t' w" C1 f z# C质量指标要求为20-10, 2 R# p* o* @/ N+ `. j
$ m- E$ ~& m7 _ v
有两个5#的点子,点子
% Y, I6 p& l* ]: M6 _2 L
( M6 c* h6 s- Q8 w. v, ^之间的距离为0.8mm. 4 Y: M' j( k/ s& A
! ?4 H4 m; k- B6 c( d0.8mm<1mm元件不合格 & x$ F; \; `. P P9 j4 [
7 Y3 X: |! X$ ?/ C0 v. n; q0 J4 g0 P
! A3 M5 N5 Y, [) Q( i) ~* J5 @4 l0 e" P% {! Q# i# u3 d
§5.小于2.5um的麻点略去不计。+ [8 W6 `- L* l
, s( [1 [# U( k4 {8 _
+ N( V" R& C2 _- O7 f% L
! J* [- |3 Y! Y+ u2 C7 g§6. 当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小
& Z5 V0 l( L) [: A% [3 Q
5 ]1 |# V" g# L) o& P: C
" N+ w) @/ ?! @( t2 r% u
1 [) ^2 H2 G& ]( E: ~ `§气泡和包络:包络当作气泡考虑。* i0 H! D# Y ^4 S2 X7 @; ?) e
% L4 t8 y1 L) c* j' ^ : d7 l8 c* Y3 l3 Q3 N2 h
% b& {. C5 E5 A依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一样,单位也相同。不规则气泡直也是取最大宽度和长度的平均值。
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气泡的允许值与麻点相同。但气泡和包络必须与麻点区分开来,单独评价。 |
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