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发表于 2009-11-5 12:42:23
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MIL-O-13830A* [6 N4 D& {) W1 B g [
. a+ A' j* m! W6 ^美军标关于光学表面疵病的说明8 v5 f# o. H% D
# b# ^' {: B) G8 v7 L % A$ H* t& [# f p) o
' @ b! |; b3 L- s! b3 |
一.定义: $ S. f6 x. ?% v5 h
$ n5 J- `/ G7 {! ^* S
表面缺陷标准:依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。 4 W+ U* _- M4 @# _+ F* d
3 ~3 ^7 e$ v; H; A1 s2 Y
道子、亮路都统称为划痕。
9 _' w' M8 U$ Y! v+ V2 l! P1 M& b- ?% m: g% K3 ]2 o# r& B' n$ m" A
斑点、坑点、点子 都称为麻点。 3 u' @& A/ R) x
8 z" u* d$ H1 }' X, i! C规定长与宽的比大于4:1的为划痕;长与宽的比小于4:1的为麻点。' j c# h- I2 B9 ]5 m
( F* Z4 I7 d8 Z1 T
7 t3 ] A7 v+ [% w8 J- X/ _ U5 N; Q$ e( M% {( z% q' a! D" o
当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。
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2 z* d9 ^) @; m6 K
; e5 c4 c) T5 {. u
# J( Y7 U; h! f8 ^# q§美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。2 R& ]! I! j( G2 D" F1 h, P4 X
2 ^. j$ H& T7 Y7 B# E" \
4 @; _. p: a; G5 t" B8 y- r
|6 O/ c& x2 q, a0 @划痕:
" N! _8 U$ v2 M. R- A0 Y J }1 M
) ?6 B8 z7 I# v* [以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。) 1 ^* _$ I3 z' r9 Q2 V! |
# a% r- [* _1 m/ K这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、40#、60#、80# 5个级。 3 a d6 U0 P9 Z C: g3 ^/ J& |0 _& K0 A
- q% p8 Q8 o7 D. m' O" f M
% }# g& T8 e9 _8 A
/ t4 z" w- m" f5 O
§SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准,前5条是美军标的规定,后两条是公司内控标准。以下逐条讲解:
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7 z0 b* i4 z: U: a+ J4 N- r
# S# |/ e6 a/ V. O4 a) z2 s8 L" J; G, g5 A/ r: D
1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格。 & f$ z0 f- a# W! p6 G: z3 T
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例如:元件的表面质量要求为60—40,则代表元件的划痕必须≤60#,如果元件有>60#的划痕,则元件不合格。 % w" Y- U/ o# g* \
+ |6 y+ Z5 |. T6 L- e
. {# e: P% N3 S) H) U) b* D) V; n2 p
2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,但元件存在最大划痕时,所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。
{' N6 E: c9 s* o, e
8 \7 j/ Y+ b3 m例如:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,有2条60#长为3 mm划痕。 * c; t0 ], W) j
& v; L2 S7 `# x
它的等效直径为20mm
, W) u3 U2 G* h0 |, t0 v E2 f8 J. G
1/4D为1/4×20=5mm
7 F$ H; [8 T1 U, q! k8 V5 [: |6 M" [4 |/ O5 G+ D
最大划痕的长度和为:
' k2 o) O2 j5 j6 W5 ]# a
, |2 ^1 X8 l; ?6 t 3mm+3mm=6mm
( C$ b9 ^1 @. i2 p+ L5 s3 |. Y# a0 w
6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。
. { ^; L1 w& v9 n4 _8 s- P5 b5 X( `# i `6 D) L0 e
* [( g3 T: Q* J+ m1 u
3 L( T3 j0 S5 _; f" \3.当元件存在最大划痕,而最大划痕的长度之和未超过1/4D,要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数的一半。 - Q3 H- [! w8 i- }2 u
/ }- N; X- I9 L( z
例:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,元件上有2条2mm的60#划痕,3条4mm的40#划痕。 & c) Z( j3 a2 P' i
+ u+ W: U( Q% [7 F$ e
它的等效直径为20mm
# Z( g" N; G6 t; R4 r f+ v: z0 T: }) \# f" n# i+ S; a) h& X9 T
1/4D为1/4×20=5mm 9 B; j% b1 f& T0 C. D
1 U6 z' {; x; h; Z9 w) M 最大划痕的长度和为:
; R3 E) K1 m# j
! \6 x: x! s d$ B5 X1 E 2mm+2mm=4mm ( A- i+ g/ n: l; l
& {7 s5 N& }$ ~! J! A+ ]2 w; k2 E 4mm<5mm。符合2条。 9 O5 I6 |4 V# C
$ G' _% W, `% x4 h F但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: 8 `/ ]9 A+ B) b8 o
6 p8 }8 f! w/ f6 \% n9 Q
1.60#划痕长度为(2+2);40#划痕长度为(4+4+4+4)
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2.60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×(2+2)/20; 6 b$ ]5 v/ T4 U- d; P
( p0 \0 _8 m0 ~. u4 N/ H
40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×(4+4+4+4)/20
; z1 @, P! g4 f! W" C
$ [4 Q g) E' w+ u6 K" V3.所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: ' }% l. g* C6 C% b; Q
% r( \9 p% p4 a2 O! z
[60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4+4)/20=36 : l9 H) q0 K; |8 y
0 x3 j2 c; q9 Q; \ _' ~. C i4 y 元件最大划痕级数为60;60的一半为60/2=30)36>30;因此,元件不合格。8 n) U* b6 L2 M# s! e% ]3 F
( N" s* Y( O) s
" q* L! i/ N2 J$ V8 ]4 b2 g
1 L: V* g. d" \- }0 A0 }9 v* t4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,且元件不存在最大划痕时,所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数。
; r2 r9 a$ P3 v
" d# n$ ~) M+ \* K/ N例①:元件为Æ10,表面质量指标60—40,有2条50#划痕2mm,1条40#划痕3mm,另2条40#划痕2mm,2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10 mm。
' i: h n. i$ m& ~
4 b& J& w$ S, z& c" Q) A所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: 6 q, L$ _* Z5 L; x/ Q! e0 D
5 V/ h! X7 w; N3 Q- E[50×(2+2)/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66 2 a0 m; L9 k+ H F) }
9 n# _1 I6 c- h M6 H* U
元件最大划痕为60# 66>60;因此,元件不合格。
7 D# `/ C9 x! L3 \1 c! }8 E* T d4 T. b- k: R9 I
& O* {7 c' _. v$ `( _* ~
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5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时,元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个Æ6.35mm面积的区域,不允许有4条或4条以上的大等于10#划痕。
$ Q8 H3 S9 s5 i- @! c F& q/ D
9 P1 r8 T' P- d# a' e' ~ ; a# }6 B+ R5 Q6 A, C7 Y# W
) x2 n$ k$ S' s0 o* b# B例:表面质量指标为20-10,Æ20mm, . U9 b. Y4 u$ t/ o% m' |
! |" N* b5 I( @2 V. s' D: t
在如图(1)所示的区或有2条长1mm * r1 r$ z1 z- }" w/ l% J
1 e, f3 A1 R) ?6 I/ r1 s- T7 {2 s( _
和2条长0.5mm的10#划痕。
* T8 X% y. P; r# C
# E F0 @ u) c& G它符合5.1.1;5.1.4 (无需考虑5.1.2;5.1.3) 8 I# r- J% u; o* i# S L9 J
I1 B! z% }% `( Y8 D2 @$ v但它不符合5.1.5条。元件不合格。 5 c( ] R( f/ l, [1 j/ @
3 R8 m, F d3 P- Y- ?* ~9 o& Z+ M 8 ]0 M: ?4 J! D- t* s0 t
" r0 Q) c0 z+ V$ B- H6 }0 l6.对于圆形元件不允许有20#级数以上与直径相等的划痕。对于方形元件不允许有20#级数以上贯穿元件的划痕。 5 `$ r1 J$ A& V( h5 w( f
7 { x% f6 j1 E
1 P) l7 h2 E+ Q$ m- ~( e% [! X9 d F/ A2 x+ z
麻点: % c4 Y/ I. Y% S! l0 s
+ D0 }7 n, m( w ^9 o4 v& Z依据美国军用标准MIL-PRF-13830B麻点的级数取允许缺陷的实际直径,规定以1/100mm作为计量单位。如果麻点形状不规则。则应取最大长度和最大宽度的平均值作为直径。 ' e) z+ l/ `+ l
3 D" |) o% Z O8 e
(注意:美军标的麻点与划痕不同,麻点是可计量的也即麻点的大小是确定的,50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点) 5 r6 f4 L4 U+ {: C- v8 R) Q& I9 d
3 G) F0 S6 G0 ?* ]! R 8 C6 d3 N0 m* T6 i1 R6 m
2 d; Y% ^0 g+ w2 F+ M5 |1.当元件存在超过表面质量要求的麻点级数时,元件不合格。 & o1 w: E/ E% {3 l0 x3 K, E7 f
, F2 g5 b- {% I" I& m
例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有1个直径0.5mm的麻点 50>40元件不合格。
6 m$ q9 J9 ^; C6 f y: E
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& \* P; [; g: z3 g& s& L# J4 ^
2.每20mm直径上只允许有1个最大麻点。
7 \1 ]+ p+ `- @4 z% R! S: `6 e+ O, K6 }: F$ W7 E; x; y3 \! t1 w4 \
例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有2个直径0.4mm的麻点元件不合格 4 W; b2 z$ F. m# }1 J
$ K6 ]8 p2 R' n# O
! Q# J! G6 T' M9 ~2 O1 C" Y. h& R
- n) t9 `3 E" C" @7 j
3.每20mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍 1 X2 f) u& u {* v; c& O. _! d
) K7 t; a) {3 }8 k# |! O! n; A例: 40mm×40mm的元件,质量指标要求为60-40,其中一个Æ20mm的区域有40#点子一个,20#点子一个,10#点子一个,同时在另一个Æ20mm区域中,20#点子2个,10#点子4个,5#点子1个。 $ a- W4 q9 @/ u7 \
: m B$ ?. D7 `$ j, P' Y
+ J3 {' o/ U8 v6 ^
7 X9 @. ?0 _( a2 n: z§4.当麻点质量要求为10或更优等级时,任何两个麻点的间距必须大于1mm
2 ?0 s3 \+ f f, @ h- o2 r, V! Z; M- X6 S [# M ~( Q
! b9 \ |; W& q" |& `. o8 ~' i: `: l4 a0 D
例:元件40mm×40mm的元件, 9 }% O8 w, q( V
7 [' v( E3 G, _& A质量指标要求为20-10,
2 W! O* G* ~2 W6 ?: c
- A. z' }. t4 \% l) R- c& g有两个5#的点子,点子
+ G. G: s' p5 C0 c+ _0 o c
8 E, ~* k# t' I" H2 U之间的距离为0.8mm. 8 \5 n9 J# |6 ~( ^7 X
9 J' P2 k/ s: ~2 J4 |, l0.8mm<1mm元件不合格 7 z A S2 M! w6 u2 c7 c- E/ p
2 r6 K) K% N1 A( I+ P# f/ v6 Z
. b6 b) r9 B5 L$ Y* i. [& a8 G, Q% y. {$ [( C/ ]
§5.小于2.5um的麻点略去不计。! U4 h, P! F3 o c& d# F
( a; y }0 B( S9 N) r
9 z( m( K* A* S8 x5 ?# l) d1 @$ e* k( f5 s# z
§6. 当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小+ _9 c$ N @) f2 v3 @) q% k% \
1 y9 e+ I% q- e' d0 i
: z1 P) t8 m/ W- q y
; S* T$ P% j* O. [§气泡和包络:包络当作气泡考虑。
4 Q7 Z' j( W( r; Q8 n4 O1 s) l# U: O# F- t0 L: s0 p
3 Q, O j& q2 b
- l4 a2 j4 _* w- h! J+ V依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一样,单位也相同。不规则气泡直也是取最大宽度和长度的平均值。
8 t6 g- z, f1 ]# U9 \, ^
& ]/ J" P E7 t9 M气泡的允许值与麻点相同。但气泡和包络必须与麻点区分开来,单独评价。 |
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