PVD是物理气相沉积的意思，是当前国际上广泛应用的一种先进的表面处理技术。其工作原理是在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基底上。它具有沉积速度快和表面清洁的特点，特别具有膜层附着力强、绕射性好、可镀材料广泛等优点。) {6 r% A) K- F3 @: e( A
PVD离子蒸镀是在1.33x10^-3至1.33x10^-4Pa的压力下，用电子束等热源加热材料使之蒸发，蒸发的原子或分子直接在工件表面形成沉积层的一种表面处理技术。
发表于 2010-4-28 17:13:17