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本帖最后由 wwjxgz 于 2010-6-4 21:33 编辑
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- W4 P- c9 `$ e* C热处理对 TiAlCN涂层组织和性能的影响, K% g: Q9 @2 X0 I# X4 s B
张旭海, 陈倩栎, 蒋建清, 方 峰, 江静华, 曾宇乔
& O1 {$ c" |; b$ J' K(江苏省先进金属材料高技术研究重点实验室 ,东南大学材料科学与工程学院 , 江苏 南京 211189)
5 p; A0 I8 O2 X3 k, q摘 要: 在Ar气条件下 ,对反应磁控溅射法制备的 TiAlCN涂层进行 500～1100 ℃热处理。采用 XRD、Raman和 DSC,研究不同热0 M$ \! y& j5 c! b) y- m
处理温度下涂层微观结构的变化 ,利用显微硬度计和划痕仪研究热处理对涂层性能的影响。结果表明 ,经 600～800 ℃热处理后 ,
" e: c/ E, p$ v; I: }涂层非晶碳相明显增加 ,使涂层形成纳米复合结构 ,这导致显微硬度显著增加 ,膜基结合性能增加;在 900～1100 ℃热处理后 ,由4 ^/ W8 a8 }1 w7 R3 e c+ R. E
于涂层中六方AlN相的析出 ,导致涂层显微硬度急剧下降 ,且韧性下降。: A/ ]( @( ]( s) }3 X& m; o& d
关键词:TiAlCN; 热处理; 硬度 |
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发表于 2010-6-4 21:02:42
