请教关于蒸镀ITO的问题

chaozhenzhu · 发表于 2011-10-26 16:20:24

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1、蒸镀ITO完成后的开腔温度对ITO方阻、透光率的影响；
2、蒸镀ITO时，腔室内部的支撑真空度对ITO方阻、透光率的影响；
3、蒸镀ITO时，通的O2流量大小对ITO方阻、透光率的影响；
4、ITO膜厚厚度对其方阻、透光率的影响；
5、蒸镀ITO时，通O2流量的大小蒸镀速率的影响

3088 · 发表于 2022-4-3 21:17:03

呵呵，能熬到开花结果就很好

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