|
|
马上注册，结识高手，享用更多资源，轻松玩转三维网社区。
您需要 登录 才可以下载或查看，没有帐号？注册
x
高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究3
0 W; {, J8 W4 s阳建华 张 帅 陈继民& E, V! e l. w5 q: w
(北京工业大学激光工程研究院 北京100022)% a5 y! w" y! }3 Y# h9 T3 i4 U
提要 通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验& W1 b, M8 U9 ?. A: ~! e% D
设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质7 w, B' U9 |- b: }3 B7 m
量的铜质薄膜器件。
4 e( j. m. l; I- q& z; F 关键词 紫外激光 微加工 掩膜 激光切割 |
|
发表于 2006-10-8 19:55:56
