台式电镜技术参数对比手册飞纳（FEI）、COXEM（库赛姆）、日立

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台式电镜技术参数对比手册飞纳（FEI）、COXEM（库赛姆）、日立

随着科学技术飞速发展，电镜的创新也日新月异。很多朋友都听过台式电镜这种设备，那么你对台式电镜的了解又有多少呢？今天我们给大家介绍一下台式电镜。

首先我们来认识一下究竟什么是台式电镜？台式电镜是在2005年才出现在商业用途上的，它的发源地在韩国，您没看错确实是韩国——那个世界万物的创造者。虽然我不想承认“棒子”的思维，但是不得不佩服“棒子”的技术。韩国的国有机构纳米所拥有多项台式电镜的核心专利技术，世界上几乎全部的台式电镜厂家都要购买该机构的专利技术才能生产。日立台式电镜就是当年收购的韩国电镜厂家后搬回日本生产的，也可以说日立台式电镜跟日立大型电镜一毛钱关系都没有。背景介绍完了，我们该介绍什么是台式电镜了，（小编话唠，经常挨主编批，看官请见谅）台式扫描电镜具有体积小巧、操作简便、价格便宜，快速抽真空，制样简便等优势。此类新型仪器的出现填补了光学显微镜与传统大型扫描电子显微镜之间的间隙，可广泛应用于材料科学、纳米颗粒、生物医学、食品药品、纺织纤维、地质科学等诸多领域。那么接下来我要针对市场上主流的三个台式电镜品牌做一比较和介绍。飞纳（FEI）、COXEM（库赛姆）、日立。先看看这三款台式电镜的外观吧。

外观PK：

   这项对决有一些鸡肋，关于外观的PK属于仁者见仁智者见智，凭借小编的审美COXEM无疑更“像”一台电镜，飞纳和日立更像一台PC机的机箱。

品牌知名度PK

此轮PK实为一场欧美品牌与日韩品牌的对决，飞纳（FEI）在市场上的推广活动比较频繁，从知名度讲无疑是排在第一名。日立凭借大型电镜的品牌知名度占据第二的位置，虽然日立电镜和日立台式电镜没有什么关系。此轮库赛姆排名第三。

发射源PK

COXEM（库赛姆）和日立台式电镜选择传统的钨灯丝作为发射源，而飞纳（FEI）则采用六硼化铈作为发射源。就发射源本身而言，飞纳（FEI）采用了亮度更高的六硼化铈作为发射源，这一点是值得肯定的。但是，从理论上来讲，原本采用亮度更高发射源的飞纳（FEI）台式电镜应该在分辨率上至少优于高分辨率的COXEM（库赛姆）一倍，但实际从三家的分辨率和用户的使用体验上来看，飞纳（FEI）台式电镜的分辨率优于日立却远不及COXEM（库赛姆），在这一点上，小编认为还是各家的光学系统设计不尽相同所造成，分辨率的高低代表了此台式电镜光学系统的优越程度，这点大家可以多进行拍照对比考察。

接下来谈谈电镜发射源PK中三个最重要的参数比较——束流稳定性、易用性和性价比。飞纳（FEI）采用较为昂贵的六硼化铈作为发射源，但其在束流稳定性方面表现不佳，不稳定的束流会影响能谱分析的准确度，且一旦电镜意外关机，抽真空就需要10小时之久，这样的表现也让使用者有点伤不起，换一次六硼化铈灯丝的费用大约是钨灯丝的10倍且必须专业电镜工程师操作更换的时间成本也是让很多使用者头疼的事情，而飞纳（FEI）在使用了这么昂贵麻烦但高亮度的灯丝后，分辨率却仅仅压过了日立台式电镜而已，可见FEI在光学系统做的实在是不行。

分辨率PK

此轮PK也是台式电镜的核心数据PK，分辨率最高的是COXEM（库赛姆）（30kv下8nm），其次是飞纳（FEI）（30kv下17nm），而最令我们奇怪的是日立台式电镜没有公布他们的分辨率数据，据调查，日立台式电镜的验收分辨率大致在20nm—30nm之间。电镜的分辨率代表了电镜的制造水准，台式电镜是介于光学显微镜和大型电镜之间的分析设备，如果分辨率表现不佳，则不如购置一台分辨率较高的光学显微镜了。而COXEM（库赛姆）为什么能把分辨率做的那么高？经小编调研，COXEM（库赛姆）在光学系统设计方面确实有可圈可点之处。它打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性，利用创新的双聚光镜成像技术，采用大型扫描电镜成像方式，使用二次电子探测器作为基础成像单元，从而可以获得更高的分辨率（<8nm），是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。这一轮的PK结果显而易见。

探测器PK

在探测器方面，飞纳（FEI）和日立是使用背散射电子探测器来同时观察表面形貌和成分图像，没有二次电子探测器，由于背散射电子的深度不及二次电子，因此分辨率表现不佳，表面形貌像立体感不强。COXEM（库赛姆）采用了特定探头观察特定形貌的方式来设计，标配了二次电子探测器和背散射电子探测器，二次电子探测器专门用来观察样品表面形貌，图像立体感较强，而背散射电子探测器则专门用来观察成分图像。

显示装置PK

在显示装置方面，飞纳（FEI）则是采用触摸屏作为显示器。这点要为飞纳（FEI）点个赞，但是电阻触摸屏灵敏度较差，不知道大家有没有用过老式电阻屏的手机，需要用非常大的力量去点击屏幕，如果触摸屏损坏整个电镜都将无法继续使用，这也是让人想骂娘的地方。日立和COXEM（库赛姆）都是采用独立的液晶显示器。

载物台及样品台PK

   COXEM（库赛姆）和飞纳（FEI）都是标配的自动载物台，而日立的标配则是手动载物台。在样品台方面COXEM（库赛姆）和日立都是标准样品台，而飞纳（FEI）则是采用样品杯来放置样品，在这一点上标准样品台优势较为明显。标准样品台能够一次性放入多个样品，观察起来更为方便，而样品杯一次只能放置一个样品且样品大小也有一定局限性，在观察多个样品的情况下还需要频繁进行更换。

性价比PK

性价比应该是大家最关心的，总体来说COXEM（库赛姆）价格比较合理，性价比也比较高！飞纳（FEI）的目前在市场上的价格卖到14、15美金左右，个人认为暴贵，飞纳（FEI）裸机的价格是6万美金左右，能谱3万美金，合起来价格也就在9美金左右，那些卖到14、15美金成交的企业不知道是否有什么内幕发生。日立的市场报价在16万美金到4万美金之间，跟低端的大型电镜的价格差不多，性价比不高！

小编说了这么多，相信大家对于台式电镜也应该有所了解了。台式电镜比较适用于中小型企业以及科研、高校，对于预算不足的企业，可以考虑考虑台式电镜。以上言论纯属个人见解，仅供参考！