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用CVD法在陶瓷颗粒表面获得TiN涂层与应用
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; o- D: b; t& {* v- z/ T, O; k; r(西安交通大学机械工程学院.西安710049)/ ?+ x# C j# n0 p7 V1 t2 Q* D
摘要研制了适合陶瓷颗粒表而涂层处理的化学气相沉积装置，并探索了在氧化铝颗粒表而获得T iN涂层的工艺;所获得的T iN涂层能提高耐热钢在氧化铝颗粒间的铸渗深度，并使颗粒得到基体的牢固支撑氧化铝颗粒体积分数在23% ^ 57%可调( p4 |+ K" h7 Q6 \) _* V' i9 u: K
关键词化学气相沉积，T iN涂层，氧化铝颗粒，耐热钢基体，复合材料 I4 ?1 r1 a' r& G0 b! i( c2 f; f
中图分类号TB331, TQ174.7585 Z6 j X2 [- W2 ?% i; \% {% s
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发表于 2016-6-1 14:07:39
