三维轮廓仪测粗糙度：光学3D表面轮廓仪功能详解

中图仪器

在精密制造领域，表面粗糙度的测量是确保产品质量的关键步骤。光学3D表面轮廓仪为这一需求提供了解决方案。
在半导体制造、3C电子、光学加工等高精度行业，表面粗糙度的测量精度直接影响到产品的性能和可靠性。SuperView W系列光学3D表面轮廓仪正是为了满足这一需求而设计的。
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7 z. Q$ v5 @7 s7 r" P% C产品特点
SuperView W系列光学3D表面轮廓仪采用了白光干涉技术，结合精密Z向扫描模块和3D建模算法，能够对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级的测量。这种非接触式的扫描方式不仅避免了对被测物体的损伤，还提供了高测量精度和重复性。
- T: n+ p8 P6 S- ^3 E测量原理
! k, r& }- L" h该系列轮廓仪的工作原理基于光学干涉技术，通过白光LED作为光源，对被测物体表面进行照射。由于白光具有宽广的光谱，能够提供更高的测量精度和分辨率。通过精密的Z向扫描，设备能够捕捉到物体表面的微观形貌，并利用3D建模算法重建出物体的3D图像。
5 |" i  R# ]3 O6 k! D应用领域
SuperView W系列光学3D表面轮廓仪的应用领域非常广泛，包括但不限于半导体制造、3C电子产品的玻璃屏、光学元件的曲率和轮廓尺寸测量、超精密加工、微纳材料制造、汽车零部件以及航空航天和科研院所的研究工作。
性能特色
" C; |! n$ m8 @$ `, J6 g) @6 ^1. 高精度与高重复性：采用的光学干涉技术和精密Z向扫描模块，确保了测量的高精度。
- a( [0 b) N5 p2. 环境噪声检测功能：能够定量评估外界环境对测量的干扰，为设备调试和故障排查提供数据支持。
3 _) Z0 ]1 s) j' ]- n$ W7 \2 k3 W- }3. 精密操纵手柄：集成了X、Y、Z三个方向的位移调整功能，使得测量前的准备工作更加快捷。
" v! V  n, A" ~) A4. 双重防撞保护措施：软件和硬件双重保护，最大限度降低操作风险。
! Y( T2 g  G5 \) b% R5. 双通道气浮隔振系统：提供了稳定的工作环境，即使在没有外接气源的情况下也能正常工作。
+ O5 @1 c0 m% b& a' w技术指标
SuperView W系列提供了多种型号，以满足不同用户的需求。它们的技术指标包括但不限于光源、影像系统、干涉物镜、光学ZOOM、标准视场、物镜塔台、XY位移平台等，均以高标准设计，确保测量结果的准确性和可靠性。

光学3D表面轮廓仪以其高精度、高重复性和强大的功能，为精密制造业提供了一个可靠的测量工具。无论是在科研还是在工业生产中，它都能帮助用户获得精确的表面粗糙度数据，从而提升产品质量，满足日益严格的行业标准。