激光干涉测量技术在机床领域的应用

中图仪器

激光干涉测量技术具有高精度、高分辨率、非接触式测量等优点，在多个领域有着广泛的应用，包括：
1. 工业制造领域
（1）机床精度检测与校准：激光干涉仪可用于测量机床各轴线性运动的位移、角度、直线度、垂直度、平行度等，帮助调试和校准机床的加工精度，还能用于机床结构在不同工况下的动态特性分析，以优化机床设计和结构。例如，在数控机床的生产和装配过程中，通过激光干涉测量技术对机床的运动精度进行检测和调整，可有效提高机床的加工精度和稳定性。
（2）精密加工工艺监测：实时监测机床在加工过程中工件表面的动态位移和直线度等参数，对加工过程中的性能参数进行动态分析，评估加工质量和稳定性，有助于优化加工工艺。比如在半导体制造中，对光刻机等精密设备的位移进行实时监测和调整，确保芯片的光刻精度。
（3）零部件尺寸和形状检测：可以检测零部件的尺寸误差和形状误差，如对汽车发动机缸体、活塞等零部件的尺寸和形状进行高精度测量，保证零部件的质量和装配精度。
4 f7 S! h0 [# O) o （4）光学元件检测：在光学元件的生产制造中，用于检测透镜的曲率半径、表面粗糙度、薄膜膜厚、光学元件的形状等。例如，通过激光干涉测量技术可以精确测量透镜的曲率半径，从而保证光学系统的成像质量。
2. 计量检定领域
（1）测长机检定：传统的测长机示值误差主要采用量块进行校准，受环境因素影响较大，且量程大于 1m 的测长机需要分段校准，效率低。而使用激光干涉仪进行校准，不仅可以提高效率，还可通过环境补偿单元对空气温度、压力、湿度和材料温度进行补偿，提高校准精度。
（2）三坐标测量机示值误差测量：随着三坐标测量机技术的更新和发展，使用传统的量块、球板等已经难以满足大型三坐标测量机的检测要求，激光干涉仪测量准确度高，测量范围大，测量数据丰富，适合测量三坐标各项几何误差。
（3）位移传感器检定：利用激光干涉仪对位移传感器检定成为发展趋势，其特点是测量精度高、反应速度快、易于数字化测量。
3. 航空航天领域
（1）飞机零部件装配和检测：在飞机的生产过程中，对飞机零部件的装配精度要求高。激光干涉测量技术可用于测量飞机机翼、机身等部件的尺寸、形状和位置精度，确保飞机的安全性能和飞行性能。例如，对飞机发动机叶片的安装角度和位置进行精确测量，保证发动机的正常运行。
（2）卫星姿态控制和轨道测量：卫星在太空中的姿态控制和轨道测量需要高精度的测量技术。激光干涉测量技术可以用于测量卫星的微小位移和振动，为卫星的姿态控制提供数据支持；同时，也可以用于卫星轨道的精确测量，确保卫星的运行轨道符合设计要求。