真空泵的选择

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真空泵的选择

选用真空泵时，需要注意下列事项：    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
+ a, R& ~; T5 Y1 w! a) K    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
8 D6 t( C- k. k% D! t    3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
: r  Z7 J9 {8 P2 n4 d. B  o    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
0 y, w3 s  \$ W; L    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
    6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
5 L+ f' y% f  q9 }1 @1 F1 t    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
2 s4 ]# E! p; \. A( x, p9 o1 D    9、真空泵的价格、运转及维修费用。

水环式真空泵的选择

) L$ g2 E9 ?  }" m( Z. _一、泵类型的确定
　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
　　泵工作时，需要注意以下两个方面：
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• 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
• 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。
0 I0 S: m6 @1 T+ \2 _二、根据系统所需的气量选择真空泵
# W6 W2 B% P; F) U) W' Z4 ]% N5 k) Q1 p初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。


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　　面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型

代号	主要特点 0 P: F, g7 l2 {7 s5 G	极限真空度 mmHg 0 j  W  x9 l( _	工作真空度 7 r8 s! e+ u/ m6 }  x; }3 SmmHg	抽速范围 3 o5 b) g$ G% T7 O& Xm3/min	密封形式 ' _) K' \( o; f4 i0 `
SK 5 D" ]8 F  e: t: W; t) l	国内设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。 & r% {0 [+ [- A* K	-700	-300~-650 , }2 p2 Q5 J* ~* q2 t	0.15~120 . F2 Y& E# {. t7 f- ~: Z4 Q. Y) [	盘根、 : o5 X9 w2 |& G2 }: T4 L: f) W机械密封 5 ]. d: D. B- T
2SK / }6 k4 F. B/ X: H& y- {	国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。	-735 # w* z* ]# e& A; ~2 ^1 H	-300~-700 8 r3 {7 K7 c; G% C	1.5~30	盘根、 2 j) O: ]' W1 G& u. T0 x机械密封
2BV ! ~3 }  w% A2 S+ y	采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。	-735	-300~-700 * f+ H5 y- e- w* P* y* z7 K	0.45~8.33	机械密封
2BE1 ) E0 @9 i/ ?/ r* ?8 Q	采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。	-735 - p- W( D8 ~0 c4 S-640	-300~-700 ! p+ X& ]1 u! I3 t$ m-300~-600 2 M/ ]7 X0 T+ o" d4 B# h	5~400 1 U) n5 F# P- ~3 h/ f7 H/ z	盘根、 机械密封
SZ # G) d" N% j3 u, N& ?$ a; G! J3 _	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于老用户。	-640~-700 9 o& [' F5 a0 R: [. d	-300~-650	1.5~27 7 l1 C$ @* I: V) L+ t	盘根 5 x# d5 z- E4 l7 k5 ?& B3 C
SZB	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。 - d, M. ]8 T7 s: W8 C- F	-600 ) w" n- y$ j* J  Y: u1 x, E	-300~-550	0.33~0.66 : e* l; ?0 ?2 B3 J6 ]) t; c	盘根 % H# a" I7 q4 z; c7 v2 w
2SY	主要应用于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa	- 5 v, t4 j8 t$ T( S	-	6~30	机械密封 5 ^# P) G7 g  d1 d' V
2YK	结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。	-755	-300~-720 % t. ^/ Z9 ]2 Z3 C; O  a& b; u	1.5~30	机械密封 ( _. ]( g* ~+ I1 C  m9 m8 [

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xysun2006

谢谢，感谢楼主分享啊！