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超精密加工的技术基础和创新 论文 PDF1 l' A( |5 o( ~. G0 o. \" b
来源《新技术新工艺》杂志 F2 r) r( s5 f
超精密加工的技术基础和创新 吴敏镜 摘 要:主要叙述了当前超精密加工技术基础和关键技术,简述了当前的发展现状,并着重指出发展超精密加工技术必须要有创新的看法.0 |1 z& n6 C: a; J' P
关键词:超精密加工;金刚石切削;加工精度;表面完整性, k1 j2 I. o3 [5 a3 K3 x
分类号:TG50 文献标识码:A
9 c1 J5 |) y+ @) z! jSupporting Technology and Innovation of Ultra Precise Processing |
/ L r3 E) w/ I' x6 g' @ v作者单位:吴敏镜(中国航天科技集团公司230厂,100854)
0 w7 b; G/ g. E* A* z7 [! B; v/ q参考文献:, E" |- @$ E m1 y4 `
[1]石川宪一,等.关于利用椭圆振动的内圆刃切片的力学研究--关于椭圆振动的切片加工机理切断力的动态[J].精密工学会志(日),1999,65(11):1605-1610., M9 P8 W3 D1 {6 F! e" B2 l
[2]江田弘,等.口径直径300 mm硅晶片用加工机械的开发[J].精密工学会志(日),2001,67(10):1693-1697.3 Z; Q: u; m- i/ l* v1 S3 S
[3]郭东明,等.集成电路制造中的超精密加工技术[M]//柳百成.工程前沿(第1卷):未来的制造科技与技术:213-226.; g% O0 c3 {1 t% n6 W5 |& S
[4]井川直哉.超精密机械加工技术的现状与课题[J].精密工学会志(日),2002,68(1):54-58.# i8 t& G9 J0 j8 F9 D; P' e
[5]吉田嘉太郎.超精密加工与构成于是要素[J].应用机械工学(日),1988,29(2):70-79.
" U; k( h9 l- C1 U! f# f C[6]最硬的钻石.参考消息:2006年2月10日./ L6 Q3 t/ H- ^# g- o4 |
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