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发表于 2007-6-13 13:21:54
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来自: 中国山东泰安
1, 矩形导电材料的薄层电阻
2 o' I _6 A0 a) D a. K众所周知,电阻的计算公式是 : R=ρ*(L / W*d ) =(ρ/ d )*(L/W )
. {2 k, Q* ^. E, ?: Y& ~. Z其中,ρ为电阻率,L,W,和d分别为导体的长,宽和厚度(薄层的厚度)。如果W=L,则R =ρ/ d,称为方块电阻。' ?" c4 t0 p K% q: w1 Y; Z
R的出现,实现了版图的几何尺寸与工艺参数的分离。在工艺中,一般上层金属较厚,故电阻低。对于存储器,可以采取薄层金属以减少图形的垂直跃变,而为了有效分配电源,时钟,一般要用较厚的金属。
& R- }, h5 H% `- r: S, D2, 接触孔电阻* Z* [* s3 \1 ^- i; Y: q
接触孔电阻和接触材料及面积有关。+ t. L" M. J" t( I" [
r = R / A
8 \, m, k% ]( @4 v" O( t4 y [R 为接触材料的欧姆接触系数,A为接触面积。随着工艺尺寸的缩小,接触电阻相应增大,我们可用多个触点的方法来降低电阻。 |
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