纳米级仪器的精度保证和检定方法

qz4852703 · 发表于 2007-8-9 05:38:36

马上注册，结识高手，享用更多资源，轻松玩转三维网社区。

您需要登录才可以下载或查看，没有帐号？注册

x

现在已出现了精度在纳米级的位移传感器，50mm长度的误差在20纳米左右，请问有人知道这种仪器的测量稳定性、重复性如何吗？对环境温度要求怎样？检定时用甚么方法？量块配对法能解决吗？请高手发表意见。

gaoyns · 发表于 2007-8-9 16:09:53

这种仪器测得的结果只瞬间值，稳定性和重复性无法保证。就说温度影响，如不采取措施，就这个50mm长度冬夏之差就是
0.024mm=24μm=24000nm。温度变化0.1℃，长度变化就是600nm。要达到误差20nm，温度变化需小于0.03℃，甚至人体的温都会对测量有很大影响。
使用这样的仪器环境条件太苛刻了，需高度恒温、恒湿、恒压，防振动要求极高。

		自动登录	找回密码
密码			注册

全站		goto3d 说: 版主微信号：caivin811031；还未入三维微信群的小伙伴，速度加	2022-07-04
全站		goto3d 说: 此次SW竞赛获奖名单公布如下，抱歉晚了，版主最近太忙：一等奖：塔山817；二等奖：a9041、飞鱼；三等奖：wx_dfA5IKla、xwj960414、bzlgl、hklecon；请以上各位和版主联系，领取奖金！！！	2022-03-11

通知

[讨论] 纳米级仪器的精度保证和检定方法

马上注册，结识高手，享用更多资源，轻松玩转三维网社区。