|
|
马上注册，结识高手，享用更多资源，轻松玩转三维网社区。
您需要 登录 才可以下载或查看，没有帐号？注册
x
真空镀膜机的原理及故障分析
2 r3 Z8 r/ l. s2 u$ b9 H 陈敏 王存华
/ _+ y/ L% z* x2 X8 G(南京电子器件研究所 南京 )
" b9 \4 F4 G! G, R' s 2002年4月
6 u- o# C, J5 Z' C' s3 f' L' z; m/ R9 M( Z
, [4 L8 j' X! p0 `- n. i摘要:真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备,本文就DMF-700电子束真空镀膜设备在实际工作中出现的主要故障进行分析,并给出故障排查的方法。
% Y: N4 V& ~5 U2 V9 Z% C: }0 S7 x4 X, R
关键词：真空镀膜 高压电源 维修
& O& T; @, u, a" k- I1 Q$ P( V$ x7 }9 ?1 g' i4 n
中图分类号：TN305.8 文献标识码:A
+ t9 U! b: | X8 w) P6 [- w2 l6 O文章编号:1005-488x(2002)02-0114-05 |
|
发表于 2007-11-4 11:54:37
