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发表于 2008-1-5 23:49:56
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来自： 中国福建泉州
有一本这样的书：等离子体放电原理与材料处理0 }1 y W. z) X4 i- B
" K: f1 M, \) O$ T9 [# r) ]内容简介6 r4 x! Z6 A1 n- e e7 h% w: |
本书全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。全书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。
- k3 s, ]6 R+ P 本书可供等离子体物理领域的研究生、技术人员，以及微纳电子领域的科技研发人员参考学习。
6 b4 k9 c/ X. W4 u. j1 G2 a* q6 c
* z/ ~ t7 ~" U6 N本书目录. p% a4 K- E# V& B. c- U% \# V1 A6 J
第1章 概 述
3 a* ]! v2 ~; w$ p( _1.1 材料处理
5 I: c) B3 {- V' T1.2 等离子体和鞘层 5 p4 h) i; }0 I+ \
1.3 放 电
" R4 e5 j# \ ^% w# D3 \+ w' e! i1.4 符号和单位$ J+ Y$ h* z- P- H
第2章 等离子体的基本方程和平衡态性质 % N% G0 Y6 T# ^& W
2.1 引 言
9 Z4 X2 I v6 F8 v& q* `; e2.2 场方程、电流和电压& y& g, C8 }+ v; a. N: [# m
2.3 守恒方程
+ c9 @2 {! [2 B7 v/ U# b2.4 平衡态性质
) |5 g1 l! w9 \1 f3 O习 题 9 \# z1 A% y5 y+ R2 R: k2 ~
第3章 原子碰撞
I9 O% ~" ]. X3.1 基本概念; h0 b7 m- \: @3 R2 A5 h
3.2 碰撞动力学 - _7 W' T1 h; b5 [4 e
3.3 弹性散射
' t4 y# E) I$ I; q0 n; `3.4 非弹性碰撞
5 A t+ p& Y5 L- I3.5 求分布函数下的平均值和表面效应
- O0 u" E* K# h1 Z b( Z习 题
7 F, ?" ]+ z6 M3 j$ U第4章 等离子体动力学 $ h) h0 G3 @; I" H" M, k1 M
4.1 基本运动3 U0 \3 Z5 G$ r( p3 B5 G
4.2 非磁化等离子体动力学! {+ ^# m# j9 S5 F1 }
4.3 导向中心运动 . P' v* s! z* @9 t' [
4.4 磁化等离子体动力学8 x' R+ R" C! A8 H
4.5 磁化等离子体中的波 * D" _$ f1 L H# a2 H5 y" H0 A. U
4.6 波诊断
( ~/ l" j6 Z& M0 g( q+ \" Q习 题 ) H# t7 x0 D( X
第5章 扩散和输运 * H! s5 Q( S" p- c
5.1 基本关系式
5 v- t4 k; e5 k2 V) z5.2 扩散方程的解+ \$ r7 S( V2 ?/ {+ ~+ C/ z
5.3 低气压解 2 i6 J* f) X( w3 l4 U. O5 _( j
5.4 在磁场中的扩散过程4 n" c2 t. J7 W5 c
5.5 磁多极约束
: [1 t; W2 m8 ~! Y/ S" c3 I; Z习 题
8 P* w* Z* ?* s$ z! O第6章 直流鞘层
- j9 Y3 p5 m: W2 @( {3 @3 d1 V6.1 基本概念和方程 , g9 K2 g5 A/ K" U, V
6.2 玻姆鞘层判据 / V0 j# ~. e1 f( F* D
6.3 高电压鞘层 3 Q# U" \- J: q+ k; v
6.4 鞘层形成的广义判据 # G. {6 f1 b0 b
6.5 高电压碰撞鞘层 . h8 y! f! @3 E6 G
6.6 静电探针诊断! @4 Z4 H6 }( W9 n6 r8 V
习 题
0 \( y! D2 H+ g+ S0 h" p1 H1 K; C第7章 化学反应和平衡 9 j2 g* U0 ^" K& N/ ]
7.1 引 言
0 h; d2 I4 l% I' a: Y2 D0 g7.2 能量和焓
, v1 Z2 x, @, f8 x g7.3 熵和吉布斯自由能1 C3 b7 v4 G& P6 ]2 m" `
7.4 化学平衡
! R- T u( y+ s2 `3 W/ a7 ~7.5 异相平衡 l6 m- Y( L5 F+ L" C- H
习 题 5 c; T8 i$ k1 i! f& v
第8章 分子碰撞
, F! y/ K: @, U1 i1 q8.1 引 言 ( {# T" S/ }2 }4 v
8.2 分子结构
# l5 Q$ \2 E9 n4 p( r7 [, O8.3 电子-分子碰撞反应
1 k# p: ?) l/ ^' L3 a) }4 \( F8.4 重粒子间的碰撞$ E( z6 V1 y1 I% ]
8.5 反应速率和细致平衡/ l/ q$ ?" U0 f" ~6 v2 R- q) ]
8.6 发射光谱法和光化线强度测定
$ [3 h9 l2 q; b' _5 x! E6 ^; @5 x# S习 题 ' |: U/ z }" }) T8 B5 m
第9章 化学动力学与表面过程0 g1 X" A, a- e9 H- X. W
9.1 基元反应 5 j# h8 e* g! s) K
9.2 气相动力学
$ X4 K, ?' C0 \; {) Z6 \3 i9.3 表面过程 ' C6 X! p4 H3 F% ]* j$ ]4 A+ u
9.4 表面动力学
! y7 y" d) S6 v: w3 u习 题
% `& s# T/ p5 u3 @! B: g) Q第10章 放电过程中的粒子平衡和能量平衡
. _' E6 ?9 z9 V3 p& t10.1 引 言* p' G/ W( A* n. ]1 A2 d# B
10.2 电正性等离子体平衡态分析 6 b) _1 q+ ]" ?8 Z [2 R [& v
10.3 电负性等离子体平衡态分析
3 G" O* e$ z. e& o, r10.4 电负性等离子体的近似平衡分析
/ o+ Q' P5 `' o- b10.5 电负性等离子体放电实验和数值模拟
7 e- Y$ B- s1 A2 ]- Z+ Y10.6 脉冲放电
/ @: U# L' F: k习 题 8 x" @& q+ y7 W: G, @* R: d
第11章 容性放电
5 T' x7 a% Z# x. P/ `11.1 均匀放电模型
1 V6 x, k3 r# ]0 ?5 Q. w11.2 非均匀放电模型
: ?9 c x4 K$ n1 u* d11.3 实验与数值模拟
4 q' v: u2 |8 U11.4 非对称放电 4 \ @/ t% Z7 l5 C& U' }( _9 e
11.5 低频时的射频鞘层: y& ?- k1 U7 N7 I' p0 N! k) B
11.6 电极处的离子轰击能量* ]2 }; g; ~' d3 y3 S R
11.7 磁增强的气体放电2 ~6 v4 r( b8 L
11.8 匹配网络和功率测量 ( `4 ]1 W( d# d$ R, W
习 题
2 G" @" A3 Y, t3 C" p% x5 M3 J第12章 感性放电
' ]0 j7 `% \" Y H6 X2 T12.1 高密度、低气压等离子体 - x; w( i) e6 t5 D, ~
12.2 其他工作状态
* i. J7 ^9 B- C4 M7 M12.3 盘香形线圈等离子体源
/ _* y* d% R8 ]- n0 V! }) _8 ]12.4 螺旋共振器放电 @$ t6 y: r* O# w8 E5 y/ V
习 题 / F3 u" w1 V0 b! j5 K8 O% [
第13章 波加热的气体放电 # b6 f! I8 m# g
13.1 电子回旋共振等离子体2 p1 |0 Y( Z2 N! l; f, L
13.2 螺旋波放电 7 \- \) F: ^/ N/ j+ K, C
13.3 表面波放电
8 B3 o4 ]$ S8 h4 R" S# J习 题 , T W9 K. Z- f; Z' o" H! c
第14章 直流放电
: }1 ? ?5 Z* R8 u6 m14.1 辉光放电的定性描述 + y( p, c: T" x/ a; P
14.2 正柱区分析
; Z2 t( e$ U7 A# M b7 f" v$ X14.3 阴极鞘层分析, a" O f0 ?6 K' D& @" E4 Q
14.4 中空阴极管放电
" D* @. ~1 [9 U. f b7 F14.5 平面磁控放电, k8 n& ~& N$ J7 r: z/ U, E" L1 H
14.6 电离物理气相沉积0 e; y' H- r& @
习 题 . ~5 t+ \" ^- K9 ^+ r3 {& E
第15章 刻 蚀 ( M$ B' r6 Z2 L& w' W8 ?& x
15.1 刻蚀的要求和工艺过程; V$ O* k# Z/ A% E( m- S# f
15.2 刻蚀反应动力学
$ o: ^' S5 R' N" I8 K: ^1 L( R15.3 用卤素原子刻蚀硅
' z* u' B# n8 r15.4 其他刻蚀系统
, M# v& W1 Y/ @2 w# z* i15.5 衬底上的电荷积累
. u1 b' ]4 R# F+ O# x( B* a$ D; x习 题 2 o! C5 \) q1 K% d, J
第16章 沉积与注入+ l- ^# R1 S. r$ z; W! ^" I U, V
16.1 引 言 * m- P% y Q6 E' V$ Y8 y
16.2 等离子体增强化学气相沉积 + g" b- X8 C; E, m
16.3 溅射沉积 ' N1 I+ `% N+ [9 O, B1 u
16.4 等离子体浸没离子注入(PIII)9 h$ H' a8 r& n7 o
习 题 8 _$ t- S5 G" u4 N
第17章 尘埃等离子体
% A2 E$ }1 C; ?3 \3 ]% G17.1 物理现象的定性描述7 J: {+ ?8 v7 F8 m
17.2 颗粒充电和放电平衡
0 s& _- o; ]* Q+ o& I" _* o17.3 颗粒平衡 9 P" C8 O" B5 _8 b) p; R8 k x7 T
17.4 尘埃颗粒的形成和生长 - t! U. u& l3 s6 W
17.5 物理现象及其诊断
|; B4 ~2 A& Q6 j7 I, O17.6 颗粒的清除或产生 6 D5 [& a& ]8 l6 v2 E) y
习 题 2 M. A8 r" m; k' c* E
第18章 气体放电的动理论 - m$ u' O( m5 m! e; Z, A' x
18.1 基本概念 $ T% b r. b" x
18.2 局域动理论
2 t5 ~" Z) v- e' O$ I: M' a18.3 非局域动理论
+ d" D W- N6 P9 [; t18.4 准线性扩散和随机加热- d! H6 Q: a {7 U5 o
18.5 在趋肤层中的能量扩散6 z. n+ j" x2 a+ d9 K
18.6 放电的动理论模型 ~) c7 V- S5 ^8 l
习 题 # L5 Z6 d3 A0 k9 H& D
附录A碰撞动力学
$ `& D& ^) S% {( J1 rA.1 库仑碰撞截面
- R9 }3 \6 u0 X2 l$ M7 n附录B碰撞积分
% E m" C) Q# d5 y( fB.1 玻尔兹曼碰撞积分( k+ L, w) D4 S+ x) A/ ?- W
B.2 平衡态下的麦克斯韦分布
4 n- C/ B6 n+ {0 D0 t附录C变迁移率模型中的扩散方程的解7 X: |6 Y) T0 Q% v
参考文献 |
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