干式泵常识

清风明月

干式泵常识
6 `  y. P* m1 wQ：什么是涡旋干式真空泵？
A：不用油类或者液体密封的变容真空泵。

Q：涡旋干式真空泵的特点？
( d- D% t% W  o& mA：◇无油、无污染
     ◇低噪音、低振动
) k' R8 z  L. @     ◇使用寿命长
     ◇空气冷却
! u% A) ~7 L: P! W+ C! e     ◇配气镇阀、可抽可凝性气体
, B; n2 \. G" o0 K* Y- P
5 r# L3 t- R. ?; o* oQ：涡旋干式真空泵的主要用途？
A：◇半导体制备设备与处理室抽真空泵；
* |0 r! T. q+ h8 I* i, f     ◇用于液晶注入系统；
     ◇分子泵真空系统的前级泵；
     ◇真空密封泵；
* s% g. I# Z# F7 W6 k4 l     ◇冷泵前级；
     ◇用于科学和化学分析仪器；
0 C/ n: C6 ]- f     ◇真空发生器；
     ◇电子显微镜前级泵。
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. ^. X) X& j0 q  [Q：涡旋干式真空泵的主要技术指标？
! v" e" T, Y- L# I8 L" `! ]A：
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项         目	指            标
型号	DVS-631(双侧涡旋型无油真空泵)
抽气速率	525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz.
极限真空度	≤1Pa(气镇阀关闭)，≤2.5Pa(气镇阀开启)。
噪音	≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) (气镇阀关闭)
电机	单相鼠笼式电机，全封闭风冷。单相 220V, 50Hz, 4芯, 600W
最大连续进气压力	30,000Pa
最大抽水蒸气能力	23克/小时
电机	4芯，0.6千瓦
电源	三相200V(±10%) 50/60Hz(±2Hz) ≥10A 单相100/200V(±10%) 50/60Hz(±2Hz) ≥10A 三相220V(±10%) 5 a. I8 Z( M9 H( r- V2 @# E50Hz(±2Hz) ≥10A
电机速度	1425 rpm（50 Hz） 1710 rpm（60 Hz） 1430 rpm（50 Hz） ' c. ^% N* f6 a2 W4 q0 u1710 rpm（60 Hz）
环境温度	5～35 ℃
进气口直径	NW40
排气口直径	NW25
外型尺寸	547(L)×326(W)×367(H) 586(L)×326(W)×367(H)
重量	41kg 44kg
漏率	≤6x10-2Pa L/S
附件	计时器(零件号502365)和说明书

+ e: X+ S$ ?4 S* m- p4 i1 qQ：涡旋干式真空泵使用注意事项？
% m% ^0 M1 J/ i0 P3 LA：◇DVS-631型涡旋干式真空设计用于抽大气。所以不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
8 l, I' E8 N" u" y! H  X/ t   ◇检查确定此真空泵安全接地。
% B3 R) V4 I) C/ O& T  c, ]( M   ◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
   ◇未加风扇盖前，不要启动泵。
, t8 p4 y$ i, z7 B   ◇泵工作条件要求：环境温度5～35℃。如果超过35℃，可能引起泵或电机性能下降。
   ◇此DVS-631型涡旋干式真空泵必须与设计规定电源连接。
  K, U& I& F( N1 o  l7 I8 s   ◇必须安装电机保护开关。
/ p; y& v9 g1 W/ fDVS-631型涡旋干式真空泵电机没有热保护开关，电机锁死时不能提供过热保护。必须在泵与电源线之间加电机保护开关，否则电机锁死时可能冒烟甚至起火。
/ {# r. P9 A# I6 ]! ]: k, x. q" K! w   ◇不要由一两个人移动此泵。此泵超过40公斤，不要由一两个人移动。
   ◇移动泵时不要握塑料件，否则塑料件可能破损。
   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。
; \0 a, U- y: X* H. w. f如果真空度上不去，更换法兰。
, B/ M3 I  x4 H* L0 R   ◇在进气口处装真空阀。
; |7 T( q4 L7 H& ~, `2 k7 @* Y真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。
   ◇排气口处要接排气管，以防灰尘进入泵内。

4 T! i! u) V+ }$ B- g4 [Q：涡旋干式真空泵加气镇阀时注意事项？
% E6 A( x% }1 g+ e7 H" W* @$ H# [3 ^A：加气镇阀主要是为了抽包括水蒸气在内的特殊气体，保证泵的良好抽气性能。使用涡旋干式真空泵时，除上述注意事项外，还要注意：
   ◇不要用此泵抽腐蚀性气体
此泵只能抽空气、氮气和水蒸气。不要用此泵抽腐蚀性气体，如有机溶剂、高浓度半导体工艺用气体、高浓度强酸强碱性气体等。这些气体容易使轴承失效。
6 G6 P" U3 x/ _  J" r' J  @   ◇被抽气体水蒸气含量必须少于要求值。如果超过此极限，将缩短气镇阀寿命
   ◇加滤网
/ B) c5 _: N% x5 Y4 ?7 G4 \使用气镇阀时，必须加滤网。否则可能抽进灰尘。
1 ], Y  W; X, A$ ?" g9 O' ?   ◇定期检查
为了泵正常工作，要对滤网进行定期检查。否则气镇阀不能正常工作。
   ◇供气
要保证加适量的气体使泵高效率工作。
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  J6 r% C$ M9 Z5 _& k) T: z  M. a- gQ：涡旋干式真空泵安装地点要求？
A：涡旋干式真空泵的安装应满足下述要求：
; o' v" W8 r8 N   ①平面放置
   ②避免阳光直射
   ③环境温度5～35 ℃；湿度90%，或没有结露
   ④通风良好
   ⑤泵附近不得存放化学品或易燃品
   ⑥防潮
   ⑦泵周围环境易于对泵进行清理检验。

Q：涡旋干式真空泵与电源连接的注意事项？
A：◇检查确认此泵电源接地良好。
   ◇检查确认此泵电源为要求值。
   ◇在此泵与真空室之间安装保护开关。

: `$ I% ~& p5 W) S4 s$ l0 l2 o/ cQ：涡旋干式真空泵与电源连接步骤？
A：①打开电机接线盒，将电源线与接线柱连接。
   ②电源线应当为达到或超过直径1.25毫米四芯电缆。具体参见使用说明书。
   ③有的涡旋干式真空泵电机内部无热保护器，一定要安装保护开关，推荐为额定电流低于10A。具体参见使用说明书。
9 e% o& ?! A" E% N: l" ], ?8 ?  ]   ④确认此泵从电机方向看顺时针方向转动。打开进气与排气口。打开电机开关起动电机2-3秒。检查确定进气口抽气。如果电源线连接错误，将从排气口进气。
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' }' G! \1 _7 E4 G+ T& X# c9 Q7 vQ：涡旋干式真空泵排气注意事项？
A：◇涡旋干式真空设计用于抽大气不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
/ v' G1 [+ j( M0 }8 G1 Y   ◇不要用此泵抽灰尘。抽灰尘时，一定加滤网。
# f2 r, Z0 r1 k$ R. r   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰
: T; @) R9 r2 ^6 }+ N+ c" D以免损坏法兰口，导致真空度上不去。如果真空度上不去，更换法兰。
   ◇在进气口装进气阀
5 N# \7 A% T* L$ {1 g' L% d真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。

' P% t. Y: P( h: M% FQ：涡旋干式真空泵联结方式？
4 G) }3 Y) {  k4 ?& t( xA：①用快卸法兰将进气口与相同直径的真空管道连接。如果真空管道直径过小，可能降低真空抽速。
. ?7 x$ u$ z9 X5 S   ②真空管道一定不能有泄漏处。
* D( W9 |% [9 H+ w: `0 J   ③检查确定管道无排气压力。
   ④正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与泵之间加真空阀。

Q：涡旋干式真空泵操作注意事项？
A：◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
, W* \2 ?3 d! y4 U* `( ~+ W   ◇检查确认DVS-631型涡旋干式真空泵电源为要求值。其他电源可能对泵造成损害。
   ◇如果电压高于240V, 可能损坏计时器。
+ C" n8 A+ j9 @! K0 Q9 z' A) _* _   ◇每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。
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- n; x& G9 y, X' yQ：涡旋干式真空泵开机注意事项？
A：①检查确认电源符合要求。
   ②保证在气镇阀关闭时开启电机保护开关，启动泵。

Q：涡旋干式真空泵气镇阀操作注意事项？
A：◇加气镇阀时，一定要加滤网。停泵时要关闭气镇阀。
% H8 q* y8 R, S( R   ◇一定要定期检查，确保滤网清洁，否则可能引起气镇阀问题。

: o5 f/ ]9 s+ a2 K5 b& HQ：涡旋干式真空泵气镇阀操作步骤？
1 L/ x! p; }2 l( P, @A：①加气镇阀时，一定要加滤网。
- {  f& S; d2 W3 M   ②气镇阀接头使用时一定要用正确尺寸管件连接。
   ③开启气镇阀时，旋钮旋至与管道轴线平行方向，关闭时，与管道轴线垂直。
, }; u7 f9 C4 A5 j( z) }6 H
, U$ V5 w, p' q8 }7 HQ：涡旋干式真空泵关机注意事项？
A：◇停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。

Q：涡旋干式真空泵关机步骤？
# n5 ?7 g' G/ sA：①停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。关断电机保护开关。
) K& x  j4 y, s' k3 q: Z   ②正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与真空泵之间加真空阀，停泵前关断此真空阀。
) R* l- n+ v. J% X* M   ③每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。

- @8 z* ^& r0 R$ {! b) N: W3 j& IQ：涡旋干式真空泵检查与维修注意事项？
/ O: r7 G3 L) _" W* BA：按照下表所示时间间隔进行泵的例行检查。此时间间隔为泵在10Pa下运行的检查，可能对正常泵的工作显得过短：

部件	检查点与注意点	时间间隔
轴承	异常噪音（听）	每天检查
	新更换轴承	8000小时
密封件如密封垫、O型圈	新更换密封件	8000小时

Q：涡旋干式真空泵故障排除？
A：

故障	原因	措施
电机不转，能听见泵工作声音但泵不能启动	电源问题或电压低于额定值	检查电源
	泵被锁死	与当地经销商联系修理
真空度上不去	法兰口被刮伤	与当地经销商联系修理
	真空管路问题导致漏气	检漏维修
	管路被堵	加热除气或更换管路
噪音与振动过大	轴承损坏	与当地经销商联系换轴承
	泵中进异物	与当地经销商联系修理
	抽气口被堵	与当地经销商联系修理