真空常用的名词术语

新洁电子

1、真空的定义
　
　　真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态

　　2、真空度

　　处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

　　3、真空度单位

　　通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱

　　4、托与帕的转换

　　1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托
* Q8 f/ [# C3 R$ s7 P5 w
4 o% e# {8 ^' U1 e. M+ G　　5、平均自由程

　　作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
7 v/ J& z6 j5 O, r( s- H. X
　　6、流量

" l' |2 }7 x9 S0 E" A' ?" ], N3 @　　单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

　　7、流导

　　表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。
( u" ?7 O# P- W: ^U＝Q/(P2- P1)

( w9 L1 m$ E7 o) @/ s' f; t  p　　8、压力或压强

% O: k3 Q7 ]* U! Z气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。
% x  {9 N* n/ ~% m
　　9、标准大气压
9 t+ l1 \- O  y
　　压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。
9 P! G7 A- v) L  Z9 I0 x
; }6 o8 Q0 z2 p+ R1 b" X" C0 I8 u9 C# _　　10、极限真空

$ o1 y- r: L9 c- K' b6 A　　真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
( B) d6 K6 U* I% S* A+ J7 \
* Q5 G! m; A* `　　11、抽气速率
0 J  p# R6 y  k9 C, U, y0 U
　　在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp＝Q/（P－P0）
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0 d( J( \& A* O, e4 s  t　　12、热偶真空计

　　利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。

　　13、电离真空计（又收热阴极电离计）
5 D3 v& f( c3 Y. V5 P0 L
　　由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
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' ]; S* A9 e5 K: T( k/ x! Y　　14、复合真空计

　　由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。
- T  l* S# I$ C8 {3 q+ p
　　15、冷阴极电离计

　　阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。