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清风明月

补充介绍：
1 t6 P; _4 l0 q1 q
' C2 B6 z0 B6 M4 U1 W5 [NEBB-----无尘室测试规范

测试简介在测试无尘室之前，若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解，对测试当有帮助。这里是一些背景资料，提供给读者参考。
; A7 J5 C/ r+ t/ q5 R( c一、无尘室测试规范
- L$ d1 [; }5 r有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的国际标准，在网络上用〝contamination control〞搜寻，可以找到很多相关资料。无尘室的定义，最早是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644的产生。以下说明无尘室的各种标准与规范。
( y* c7 I) \" X8 P9 c2 b" w  `

• Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用209E。微粒计数器的制造商，虽然都推出满足公制计数法的新机型，但是要等旧机器完全淘汰，恐怕还要很长时间，因此新规范ISO-14644还没能取代209E。
• ISO-14644系列；美国政府为了推动经济全球化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行全部使用公制的国际标准ISO-14644。14644系列有8个子题〈Part〉，称为14644-1，14644-2，一直到14644-8。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等，范围很广。有些主题已经定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些连初稿都还没有，读者可以到ISO或IEST的网站上订购。
• JIS B9920 (1989)：日本的洁净标准，规定无尘室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的等级定义。
• VDI 2083 (1993)：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的量测技术。
• Gost-R 50766 (1995)：俄国的洁净标准，定义无尘室的分类与一般需求。

以上是无尘室等级规定，与洁净度量测的相关标准。另外有关无尘室污染控制〈也就是洁净度控制〉，和环境控制〈如温湿度、震动噪音等〉，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在无尘室性能测试的范围之内。

• IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测，006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的第一版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。
• NEBB 无尘室测试规范第二版：这是目前最广为流行的测试规范，提到无尘室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 无尘室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 无尘室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 无尘室测试规范成功的成为产业标准。有关 NEBB，请参照本站 NEBB。
• ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三个子题，是有关无尘室里面生物污染的控制，目前都只有初稿。

每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对无尘室的要求可能都不一样。以上所列无尘室定义与无尘室测试规范，虽然以可满足大部份厂商的需求，但是严格来讲，这些规范也只是一个参考。各公司在订定测试规格时，应依照自己的制程需求，在上述规范里取出自己适用的部份，并要求供货商与测试单位照办，必要时可以酌情修改测试标准，才能真正满足自己的需求。
+ `7 p! H* N: M" x, @二、无尘室常用名词
2 Q$ L0 B+ t# M0 R* ^# A& F1 [& C

• 无尘室定义：无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。
• 微粒控制：无尘室微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，订定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时，必须特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响，才是有用的数据。
• 外来污染源：从无尘室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。
• 内部污染源：无尘室内部产生污染的来源，一般是制程机器与操作员工，最严重的内部污染源一般是操作员工。
• 隔离：隔离是污染控制的一种观念，也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高滤网覆盖率的无尘室，或是使用迷你洁净室将机台整个包住。
• 稀释：稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘室。例如在 Class 10000的无尘室，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打转，要比较常的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了，部要求把人员与制程隔开。使用稀释法作为粒控制时，要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性，能掌握微粒的产生速率，才能有效的稀释微粒。
• 气流模式：指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式，才能掌握洁净度。
• 单一流向型气流：气流以同一个方向移动，这种无尘室称为单一流向型无尘室，以前称为层流型无尘室，定义并无多大改变。高洁净度无尘室需要单一流向型气流。
• 非单一流向型气流：气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘室，洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本。
• As-built cleanroom（刚完工的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的洁净室，但并没有设备及操作设备的人员。
• At-rest cleanroom（准备中的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已动作的无尘室，设备已加载并可以操作或已在运转，1如所指定，但没有操作设备的人员。
• Operational cleanroom（操作中的无尘室设施）：一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状况可以呈现和达到其正常的功能。

三、无尘室等级定义
7 W* G0 D7 A, S: w' A& ]1 ]无尘室的等级
! ~/ V/ Y2 k* B- N7 d1 W使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。首先是等级定义的模式如下：
# F( q8 t/ Y' N3 g7 J9 e' `4 P. SClass X (at Y μm )
其中 X 是无尘室的等级，例如 100 或 10000 等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm 等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子：
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
9 Z4 ~1 v8 v$ x& S% w& b7 ZClass 100(0.2μm , 0.5μm )
' y7 N" q. Q) `2 s; YClass 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
在 Classes 100 (M3.5) and Greater  (Class 100，1000，10000....) ，一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 (M3.5)  (Class 10，1.... ) ，一般要看多几个粒径。
第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：
Class X (at Y μm )， At-rest
供货商就很清楚知道无尘室要在 At-rest状态下验收。
& O% E  P4 w$ `1 X第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在 As-built 时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：
4 Y( c3 S# c/ [+ ]" g. \2 {Class 10000 (0.3 μm <= 10000)， As-built
! ^" l. S' `  q7 p; H: EClass 10000 (0.5 μm <= 1000)， As-built
这样做的目的是确保无尘室在 Operational 状态时，依然有足够的微粒控制能力。
以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和ISO-14644的等级定义。

5 k2 R% U1 p# t0 A ) O3 W2 H: E7 T+ J5 t/ y+ NClass Name 4 r3 }, h: P  p! A( q		Class Limits # ~! [8 }5 |5 g# Q6 y9 n+ \
		0.1μm   H( F. S6 c! H# w5 n		0.2μm		0.3μm		0.5μm 4 }) b  ?$ h: G		5μm " d( v) K) G9 K$ e; q) }. K
		Volume Units # |$ [4 o# j& x		Volume Units 4 A) v1 |" O8 ^+ `0 X0 x		Volume Units ( x/ a& o- o/ X; Y- c8 T		Volume Units 7 o( ]9 C8 v; U		Volume Units / v7 B% t1 @9 d" [; g$ x- ?
SI 9 O: D, k+ O- f! t	U.S.	(m3)	(ft3) % u) x  b7 c/ I5 g- t" S	(m3) - K! e. L5 i6 i7 V2 d" P0 [	(ft3) / w) u, l% Z3 }7 j	(m3) $ e8 f2 R( Z& l+ X; `. x	(ft3)	(m3) " l) _; w& @9 L: }6 [	(ft3)	(m3)	(ft3)
M 1	) a9 h1 V% A) ~3 K 7 D- N  f- o. m  y1 d& m  x" G. E	350	9.91	75.7 ' ^' F8 j* L9 B1 E8 W. e( S' A	2.14 ; O8 E9 H6 M2 m9 z2 o0 t4 {/ w; v	30.9 ) x$ t& W' v& h2 D	0.875 / f  c: _0 D! L/ I	10.0 5 p2 H: {/ H4 B7 o$ ^	0.283	- * g$ @) J5 @# q5 c  t: b$ }	- + S$ T$ H1 U, i  I3 P
M 1.5 7 b3 j* b% q4 S0 A	1 & W  P" _. j2 e& V	1,240	35.0 ( B% G1 u: I. x' H	265	7.50	106	3.00 ) L  G" J- f- I& A" Z( b* o	35.3	1.00	- , T6 h- H& l6 J8 W$ S# m	-
M 2 ; I6 o3 o, h$ ?4 s7 p7 ]1 [) F- G4 z		3,500 0 ^& B: W& T( ^7 t2 j	99.1 + X$ n3 ]9 d) @' _  H5 m; D$ I- E	757	21.4 : g! H: D5 j- V+ ?" K% l	309	8.75	100 $ ?- ^2 H) J* o$ t	2.83 8 e) q- X+ Z6 H	-	- ! S9 D' i: E9 w7 `. g. S3 G3 u
M 2.5	10 ( _! U- h0 @7 T  z/ }	12,400 ) n) o" t% _( ?0 _) i+ E	350	2,650	75.0 ; i0 \' z' l' S  k	1,060	30.0	353	10.0 . |" D1 J1 v. h( i0 U2 n8 v	-	-
M 3 3 t0 U  L+ V' F) Y2 F* G: ~	1 g: ?* @7 H8 \. l1 B, \	35,000	991	7,570   y2 Z2 c5 p2 j9 q# j	214	3,090 + X: e, x# Y' u3 S5 \" @- A	87.5	1,000 8 n4 P* J5 s# ~# d% E! ]$ N% q	28.3 + l1 }* T' a+ b+ b$ c3 G	- ; e% M+ T5 ^! W4 G. x# b( P	-
M 3.5 : U6 }" U" \; T/ p9 K& W	100 % x0 s7 F9 S- r+ t9 b* T# z3 _7 i9 e& G	- " a9 C1 g0 |2 b" H	- - D+ x8 k% ~! S	26,500	750	10,600 " n! X! x8 O) x4 E	300   w9 I2 g+ ?0 ]% H. i! W	3,530 ) ^# e7 f5 ~+ h" W) J8 M	100	-	-
M 4	. n6 k; L2 _+ J	-	-	75,700 6 [8 N; d0 N! S! h0 Y! q# o	2140 9 ]3 x1 @6 T9 }; R7 e! c. T	30,900 / B  n4 X& d: L  c% O4 H( p	875 3 W, t3 B7 Y3 ?4 M4 z) Z. f7 {! {	10,000 / `1 D* f% V  n5 L( t  O	283 " @) U5 b: e# j, F	- : P5 W: ]+ K8 a1 D6 e) |	- 9 }$ }, e6 Y7 g. k
M 4.5	1,000	-	- " s) y- j0 w4 B	- 0 C5 ?+ `2 `0 Q	- 9 U$ A! {: M1 b3 m* ^! j6 @/ i	-	- ) _, A: D# y5 C5 A. n. b: x	35,300 . A) T" A) M6 O7 \	1,000 5 [+ w+ @% k4 S	247	7.00 % c4 O- |5 y+ U/ z) J( {1 O! J
M 5 , @1 e7 X( q  e	2 Y! r. R; u  A2 [. i	-	-	-	- 8 K1 W9 a( i7 {5 `3 V	- 4 I6 \& u8 h! \7 I# m+ y4 V& l	-	100,000	2,830	618 6 B; n9 G$ o& k9 M/ A	17.5 , J5 F! ~, q' B+ g! Y8 b2 u* L0 ~
M 5.5 3 l) j* Z2 `+ P0 ]4 d- P/ f7 F4 J	10,000	-	- . z1 z2 e( r0 k& J	-	- , q( l. S7 q6 O2 R# q0 e4 S	- 9 B3 C5 Z9 l. \1 c. R( a- z	-	353,000 1 U$ D& p8 o0 f; F5 a( V	10,000	2,470	70.0
M 6 . L0 f" ~$ L: }! h& l	5 v$ U' n" w! n   |" W- S; }4 T' r' J	-	-	- 7 W: |2 J7 \2 H3 V0 p	-	-	-	1,000,000	28,300 . `: `8 S, h+ U	6,180 - I+ u+ T. c/ ^; B. ?1 y	175 6 O$ v' V. q. x$ W# |7 ~
M 6.5	100,000	-	-   J  n+ L$ T3 |2 ]	-	- 3 n) D- k0 C4 p. J' q7 Q	- , i! v6 p8 S; t* t	- % B) z$ ?; T. V+ A& G  X	3,530,000 " Z  o) V6 j5 h% B% j0 V6 d& ?	100,000 ) h9 s* _* I3 l  c  `	24,700	700
M 7	8 J7 V( T0 m' U! g' O3 f ( N9 V" U3 L5 y	- 7 X( {& p( S; n  A	-	- 8 b% \1 V! @6 g% |/ r6 y1 M& O	- ( G' M1 N' i& q* n% \5 E	- ) a' V2 K1 a2 I: L; Z, u	- ) [8 \. _0 r: K; v' \( h	10,000,000	283,000	61,800 - N3 {* f, S) h! l# j8 |1 A; y	1,750 # N+ H" q, m7 b

Fed-Std-209E 洁净度定义

ISO classification number(N)	Maximum concentration limits (particles/m3 of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation (1). - ], |! Q8 I: q& ]* o+ E
	0.1 mm & ~! c% r- q- {. M3 L3 U8 l	0.2 mm ! N# L& M9 @. C9 R; n$ E! X	0.3 mm + G3 s9 h2 u7 B( H	0.5 mm   ]2 {, ~( z+ W	1 mm	5 mm : R/ f" S3 k5 N
ISO Class 1	10	2			2 v7 m! \2 M8 L3 _: }. ?, X* F7 q	, J! o; }# k' b: C- T
ISO Class 2	100 4 S8 b  o+ V1 F5 `2 v8 Y	24	10 2 Y; c( `- o" E4 H+ A) I: F5 Q$ n	4 8 j3 L! i, D  Q+ }
ISO Class 3 6 V2 l8 Q! j& e. R' ~  f# P3 _	1 000	237 * V! M% _1 J! j& G; R	102 # V/ ]* _; f) i- `0 l- f	35 : v, p8 u$ s( |: B! ?% o	8
ISO Class 4	10 000   m7 W' h$ v$ ]- v2 {; h	2 370	1 020	352	83	0 t# i3 v: o: S' Q# O8 }4 ?
ISO Class 5	100 000	23 700	10 200	3 520	832	29 ! R6 u  n; S: N$ `# F, u
ISO Class 6 $ K: w1 _4 d. ^( y: t	1 000 000	237 000 + @4 W% U6 x) r	102 000 : l7 I, P4 j1 H! q  u	35 200	8 320 ' k3 Q5 r, b0 F1 q% ?2 p) e	293
ISO Class 7 % r, H6 D! A! X4 C2 G0 N9 n; s2 a	1 A* y. F) ?3 }3 @" i0 D		1 _9 ]/ i! @0 _% l9 q' z4 G	352 000	83 200	2 930 8 T" ^$ s3 g' N
ISO Class 8   z0 E9 S. o3 r. f/ p  b				3 520 000 + q4 h5 g( l/ `6 o) O: @8 b2 K	832 000 1 |! q4 F/ o5 s# S# s	29 300
ISO Class 9 0 u) c1 Q1 ]  S% I3 m				35 200 000 1 s2 o- d6 e$ i6 M% {7 @	8 320 000   S* w" C4 g* H4 f7 r2 j1 N	293 000
NOTE : o3 i5 N" K( C9 z2 VUncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level. , o# H3 F" D0 ^7 H 1 m% ~1 m9 g8 ?, i( CEquation (1): Cn = 10N X (0.1/D)2.08 其中Cn是微粒浓度，N 是洁净度，D 是粒径 7 Y4 ^# J" X8 d  i. f& l  G$ ~

( M% o# J5 q) _0 r　
ISO-14644 洁净度定义   


* Z9 \5 n' r  n# l5 e) D( L比较以上两表我们可看出
8 A, ^) b* W: Z' u

• 209E 的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表，徒然造成混淆
• 在两表中 0.5 mm 几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径 0.5 mm 的粒子非常具有代表性
• 在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度， ISO-14644 的范围比 209E 都来的广，因此具有未来性

四、无尘室测试范围
凡是和无尘室环境控制有关的因素，都在无尘室认证的范围之内。在无尘室完工之前，业主、施工单位、与测试单位&#8231;应就以下几个主题做详细讨论并达成协议，以利测试进行。

• 待测无尘室涵盖范围、等级、面积、滤网位置、与数量
• 测试的目的
• 测试程序
• 使用仪器
• 测试报告撰写方式与内容
• 工期

在测试前，将以上项目定义清楚，可以使测试顺利进行，发现问题时也可以尽快排除，对业主和施工单位都有利。
8 X* |) ^7 i! Z/ wIEST-0062 有一个表说明测试项目，以及适用状态，具有相当参考价值表列如下。

IEST-RP-CC006.2 Table 1

' O+ R$ W2 A0 j- T

章节	测试项目 5 v6 D" ^: u5 n/ ~6 @* o3 y	单一流向型	非单一流向型	混合型
6.1 ) }8 i' @9 {: C1 ^8 E) I# |" \3 M8 K	风量与均匀度 风速与均匀度 3 o8 M8 H" A' d+ q0 }	1,2,3 # E9 u8 z/ X! Q1 o1,2,3	1,2,3 7 E6 _; {  p( q( gOPT ; O$ _$ q9 F1 ^6 F1 d	1,2,3 OPT
6.2	滤网泄漏	1,2	1,2	1,2
6.3 3 X: l/ P" L( a% M7 l2 [4 h0 o% ]6 f	洁净度 3 j- r7 `- A1 [% H	1,2,3	1,2,3	1,2,3
6.4 - e( U' ?; h4 ~% f" ^' S1 z	压力 7 n$ j. P: _, Q7 n7 W* v5 c" G	1,2	1,2,3 + z  y; A5 W- ]. a6 u6 ^1 p9 f	1,2,3 1 J' a9 W- _7 R$ j! F# ^
6.5 : l" B6 s6 K# y$ c' a" D	平行度 8 b! y  o3 |) A! w1 I5 K/ i) \	1,2	N/A % Y$ W8 s0 m; i2 C6 H7 T* C0 v	OPT (1,2 only) ; y4 T8 N0 O6 ^) ]3 G: d% ^( G2 }* b
6.6	空间泄漏	1,2	1,2 ! O* T# Y/ q. J; q  G	1,2 : M. o1 {# B( E3 a" O
6.7	恢复率	N/A	1,2	1,2
6.8 5 K* o; i8 \, x	粒子沉降测试 / E# G2 q3 ?9 v: q. g( Y$ y/ ?	1,2,3	1,2,3	1,2,3 2 `* M- Q9 x  `( L8 K) b5 X1 n
6.9	照度 5 w" [( K( K" ~2 n. V	1,OPT(2,3)	1,OPT(2,3) ; l' Y. ]8 N( G; C2 _	1,OPT (2,3)
6.10	噪音 / K. q/ l7 R) g	1,2,3 ' v- |0 `2 b8 f	1,2,3	1,2,3 ' J  h* w% k4 ]' E
6.11-6.13	温湿度	1,2,2 OPT $ z, _5 o# j( x+ S! o	1,2,3 * T9 V  r- s; j  ^$ gOPT ) p+ S! E1 z8 a- t; {	1,2,3 + U' V* l6 n7 V  R/ ]7 D6 _7 {" lOPT
6.14 4 u' \( a& f' Y& }0 k& z! a; p! r	振动	OPT	OPT	OPT

3 ~: z! F, o9 d9 M测试的顺序没有硬性规定，但是仍旧存在某些比较理想的顺序
        1: 测试适用于 As-built
8 Z! W/ ~. o7 ^2 S( {7 ~状态
        2: 测试适用于 At-rest
  r; _( s+ n( W- j' a+ c状态
" w2 V3 E- e- N) H3 N8 X( X        3: 测试适用于 Operational
, G' n8 d. h9 ~2 h) r  a1 t状态  
        N/A: 代表该测试在该状态下〝不适用〞
$ E# N3 k. S! Z        OPT: 代表该测试在该状态下为〝选择性测试〞，可以视制程需求而定
由上表可看出，风量测试〈使用气罩〉适用任何状态，因为不易受干扰。风速量测，在非单一流向型〈乱流型〉无尘室就不推荐，因为容易受干扰。当然这是 IEST 的建议，我们可以自行决定。
7 Z6 R( u0 k1 k! F3 M# c( M至于测试的项目选择，NEBB 建议：依重要性分成三级，说明如下。
第一级〈Level I〉: 第一级测试是所谓的主要测试，与洁净度直接有关的测试都属第一级，每个无尘室都应至少应做的测试。第一级测试项目包括：
2 B! C$ i1 q0 |7 FA. 风速量测
9 j: q1 ~: a* ~B. 风量量测
C. 前两项的均匀度分析
D. 滤网泄漏测试
2 v, |( d* q7 g' J4 W+ wE. 洁净度测试
; r9 c# I$ v5 T/ v% q5 GF. 压力量测
: g" T. B; }4 P. ]2 s第二级〈Level   II〉: 第二级测试，虽然也是与洁净度与气流有关，但是只有在特殊情况下才需要进行。
5 o. m' P) n% _& q0 P1 z1 IA. 气流平行度量测〈只适用层流型无尘室〉
( r- P4 q3 I$ GB. 空间泄漏测试〈几乎已被压差测试取代〉
* @# d6 x% `5 kC. 恢复率测试〈依建议只适用乱流型无尘室〉
D. 粒子沉降测试〈近年来已经很少做〉
第三级〈Level   III〉: 第三级测试就与气流无关，都是属于环境因素。
; ~5 i1 }% h: RA. 照度与其均匀度
- ^' b1 B8 p3 n9 d! l6 HB. 噪音测试
C. 振动测试
+ g6 a: O- d- K$ wD. 温湿度测试
　
6 z$ }) ~9 R  g' @/ ~" k: d
, ]% J- D( F8 p+ X4 ~