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[分享] PCB电镀知识问答

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发表于 2008-11-4 07:58:48 | 显示全部楼层 |阅读模式 来自: 中国山东聊城

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PCB电镀知识问答
2 z' B$ l0 P0 k+ l2 K  o! c8 L
3 O8 O2 e  q1 M/ |1、 电铜缸里的主要成分是什么?有什么作用,具体的反应原理是怎样的? ! H: v( B/ S3 s

, W, o; q' _: i/ ?/ Z主要组份:硫酸铜60--90克/升 主盐,提供铜源
( c. U( K! E" t3 W, z8 R: V9 h
4 B! b6 B3 R6 b0 ^硫酸8--12% 160---220克/升 镀液导电,溶解铜盐,镀液深度能力 ' l& [; R! U" c* l) U

+ w& @" K: O% o. i( }$ R# \氯离子 30--90ppm 辅助光剂 6 \  i$ G/ {" C; q# a$ N

& S; d: |% B; q$ f铜光剂 3--7ml 1 Z: W) s3 L! M4 p% i8 a
  N7 E3 e  k- z6 D+ H5 l
Cu2++2e=Cu(直流电作用下)
( o9 K  Y: ]  A: k" G! ?
5 O3 o. n9 ?7 v  e& N
2、 全面板电的时候电流密度要多少?为什么有些要双夹棍,有什么作用?还有分流条是怎么使用,在怎么情况下要使用分流条?
7 f1 Z2 S8 U8 ^- I0 w* [4 x! v; o2 b+ t/ d5 h
电流密度一般时1.5--2.5安培/平方分米;双夹棍可以保证板面电流分布均匀性;分流条是用在阴极导电杆靠近两侧缸边的部分,防止因为电场的边缘效应造成的板边或边缘板厚度过厚的现象; 3 S2 V% J8 D0 ]: Y- b5 P

5 j$ E8 B6 ~3 x3、 线路电镀的时候单夹棍和双夹棍有什么区别?在什么具体情况下要这样做!
+ C- s# K# e3 z$ U5 d" ^6 ~; b" n9 g: Y% c* `! Z
原因同上,双夹棍有利提高板面镀层厚度分布; 1 L" ~- O& A, z1 k1 y" H

' G4 C8 V* [: k( p4、 线路电镀的时候夹板方式有什么要求,板与板的间距怎么?要是间距太大有什么结果?叠板又有什么结果?对于有独立孔或独立线的板要怎么样排板?
1 p! r) C- W( Q/ d% n, @: E+ T/ I# S
夹紧,贴紧,两面面积差相对较小;可以采用交错换位,;板之间间距尽量贴近,不叠板;距离过大,板边板面镀层厚度分布不均;独立线/孔在设计上添加辅助网格设计或者采用低电流适当延长时间,来保证镀层的均匀性,防止夹膜,线条过厚; : z% c$ n# g5 W+ ~, n  q

" W' c2 N9 `" D5、 线路电镀的时候电流密度要根据什么来定?怎么样的情况要用多少的密度?(出电流指示)
* T9 T: K' b/ u0 S. _
( r' P7 V8 @* D% C根据板面上实际需要电镀的板面积,而不是板面积;电流有三种1.5---2.5;看镀液种类,板厚度,孔径大小,板面图形分布状况等; 4 w1 l/ m0 R/ q" u% E* G) Y- N
1 I7 c# N; [# C9 R3 Y
6、 电镀时间和铜厚是什么样的一个关系? 3 `$ H- a( Q# D4 ]+ {

6 E% s  r8 G/ J7 m' u. W2 W! w线性关系;镀层厚度微米==电镀时间分钟x电流密度安培/平方分米x0.217微米/安培分钟 ' @0 m9 V8 D! `
+ d, w$ q: `; _' b4 g
7、 常听说的一个名词:一安镀两安 是什么意思?
$ Y/ c* ~1 N8 c) r, p/ z0 r4 t" ^! H0 q$ O1 \, r
电流合计板铜厚都称安;有点混乱;各个公司称法不一安=1安培/平方分米;安=盎司/平方英尺=35微米铜厚,多指基板铜厚
 楼主| 发表于 2008-11-4 07:59:51 | 显示全部楼层 来自: 中国山东聊城
金属镀膜 (Metal Deposition) " i' s1 ]# |& N, L# N
又称物理镀膜 (Physical Vapor Deposition;PVD),依原理分为蒸镀(evaporation) 与溅镀 (sputtering) 两种。PVD基本上都需要抽真空:前者在10-6~10-7Torr的环境中蒸着金属;后者则须在激发电浆前,将气室内残余空气抽除,也是要抽到 10-6~ 10-7Torr的程度。
% n  g7 N3 ^. s6 p; }& g一般的机械式抽气帮浦,只能抽到10-3Torr的真空度,之后须再串接高真空帮浦 (机械式帮浦当作接触大气的前级帮浦),如:扩散式帮浦 (diffusion pump)、涡轮式帮浦 (turbo pump)、或致冷式帮浦 (cryogenic pump),才能达到10-6 ~10-7Torr的真空程度。当然,不同的真空帮浦规范牵涉到不同原理之压力计、管路设计、与价格。
( ]2 F; ^9 o" \$ W9 x5 r& a1、蒸镀
7 B1 Q. H2 _$ \2 D, y- g8 Z% U% t蒸镀就加热方 式差异,分为电阻式 (thermal coater) 与电子枪式 (E-gun evaporator) 两类机台。前者在原理上较容易,就是直接将准备熔融蒸发的金属以线材方式挂在加热钨丝上,一旦受热熔融,因液体表面张力之故,会攀附在加热钨丝上,然后徐 徐蒸着至四周 (包含晶圆)。因加热钨丝耐热能力与供金属熔液攀附空间有限,仅用于低熔点的金属镀着,如铝,且蒸着厚度有限。
2 I; B* M# q2 t% b' l电子枪式蒸镀机则是利用电子束进行加热,熔融蒸发的金属颗粒全摆在石墨或钨质坩埚 (crucible) 中。待金属蒸气压超过临界限度,也开始徐徐蒸着至四周 (包含晶圆)。电子枪式蒸镀机可蒸着熔点较高的金属,厚度也比较不受限制。 ' b3 h/ S+ c( N" h3 c
蒸镀法基本上有所谓阶梯覆披 (step coverage) 不佳的缺点,如图2-12所示。也就是说在起伏较剧烈的表面,蒸着金属有断裂不连续之虞。另外,多片晶圆的大面积镀着也存在厚度均匀的问题。为此,芯片之 承载台加上公自转的机构,便用于上述两问题之改善。
( ?: c+ f- l* K! |( \2、溅镀 ( B- B3 C/ e, ^- t+ }+ x& h) ?
溅镀虽是物理镀膜的方法,但与蒸发毫无关系。就如同将石头丢入一滩泥沼中,会喷溅出许多泥浆般,溅镀利用氩气电浆,高速冲击受镀靶材 (target),因而将靶材表面附近材质喷溅出来,落至晶圆之上。由于靶材是一整面而不是一点接受轰击,所以喷溅出来的材质,也有可能填塞到芯片表面阶 梯死角的部位,而比较没有断线不连续或所谓阶梯披覆的问题。
+ Z# B; v0 M0 X# U9 }+ a, L0 P: U% g溅镀也依电浆受激之能量源不同,分为直流 (DC) 与射频 (RF) 两种。基本上,两种溅镀机都可镀着金属薄膜。但后者特别可以针对非金属薄膜,如压电(piezoelectric) 或磁性材料,具有「绝缘、熔点高、成份复杂、对堆栈方式相当敏感」等智能型薄膜之镀着特征。 ' O+ ]; J6 w- C% O+ `
虽然塑料可以在许多场合代替金属,但显而易见缺乏 金属的质感,为此,需要采用一定的方法,在塑料表面镀上一层金属(铝、锌、铜、银、金、铬等),一种方法是采用类似化学镀和电镀的方法,另一种是直接在塑 料表面进行真空喷镀金属—即在真空状态下,将金属融化后,以分子或原子形态沉积在塑料表面形成5—10μm的金属膜。 4 t! a" s" ~2 i1 R: C* M0 G
真空喷镀金属需要与塑料 表面底漆之间的良好配合,底漆的厚度通常为10—20μm,主要作用是防止塑料中水、有机溶剂、增塑剂等排出影响金属附着。要求涂层硬度高、底漆具有可以 修饰塑料缺陷,能提供一个光滑、平整的平面以利于真空镀的性能,并与塑料底材和所镀金属附着牢固。通常选用双组分常温固化的聚氨酯和环氧涂料,低温烘烤的 氨基涂料以及热塑性丙烯酸酯涂料。 8 ~+ n# h0 U, I& a' L5 E* W+ m
金属镀膜在空气中容易氧化变暗,同时还存在细微的真空等缺陷,所以要再涂上一层5—10μm的保护面漆。对 面漆的要求是:透明、优良的耐水性、耐磨性、耐候性,不操作镀金属膜,对金属镀膜附着牢固。通常可采用丙烯酸酯清漆、聚酯清漆、聚氨酯清漆等,当底漆采用 的是热塑性丙烯酸酯涂料时,为防止面漆溶剂通过镀膜缺陷溶蚀底漆,可以选用弱溶剂、快干性的面漆,如丙烯酸改性醇酸清漆、聚乙烯醇缩丁醛清漆、氨酯油等。 ( y' A; q! A! [) g% N
真空镀金属的工艺流程为:塑料表面处理(净化、活化)→涂底漆→干燥→真空镀金属→涂面漆→干燥
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