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高真空应用的完整解决方案:
4 ?# n6 c+ u g7 j& X应用于清洁真空要求的模块化真空泵组。- I! U* q m, @& [" X8 J
灵活 紧凑 通用
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2 ~/ ^7 U) k K3 @) i/ O7 J5 L8 G* u HiCube系列分子泵组根据模块化原则设计,为您提供前所未有的良好通用性,充分满足抽速从35 l/s 到685 l/s的不同的应用需求。全配置,立即可以投入使用,分子泵和前级泵的完美配合充分满足您“即插即用”的期望。产品优点一览& S- ^3 G9 T% X) R# r
※涡轮分子泵和前级泵的完美结合;适合多种应用需求 , a% W" \. N7 {1 K
※模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求
/ U- G3 h/ i! Q+ y0 X: L※各部件配合简便,易于保养维修 2 C: e. ?' }2 Z: f# w# N
※集成的驱动系统,无需额外的控制系统 `4 L4 ~: d! U4 ~
※“即插即用”-无需布线和安装 4 R( N# K+ O E
※结构坚固,服务寿命长,可靠性高 # ]0 K8 E3 {, [6 p& n6 ?' N' Y& b1 j. b
※意外断电时,前级真空安全阀(可选)可保护真空腔体免受返流影响
6 a5 R- A( A1 H- Z0 s8 C, p※可以直接连接真空计
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H1 o0 A, N# d) g应用范围% Q5 C* r; ^* c
※研发 p+ I" E( K( M& j2 c
※加速器 ! f- `9 h% n3 m+ E- R3 U# M
※分析和表面物理学
$ o6 o% c/ C! [2 I( u※真空工艺 9 W c' \7 j& e: m+ Y
※电子束焊接 " D* E1 @" A2 {9 y/ P! |
※检漏系统
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HiCube系列移动式涡轮分子泵组在业界设立了新的标准:最新系列的HiPace涡轮分子泵和根据客户应用需求可选的前级泵系列完美结合。我们为您提供最新的Classic和Pro系列的HiCube分子泵组。可选择干泵或旋片泵作为前级泵,极限真空度可达 5 * 10-10 mbar。# T+ p5 D3 \4 C0 T' ^
针对特别有限的空间要求,HiCube系列分子泵组中还特别提供尺寸非常紧凑的HiCube Eco经济型泵组,其抽速范围从35 l/s 至 67 l/s。 |
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