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发表于 2009-11-26 06:23:37
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来自： 中国黑龙江哈尔滨
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摘要采用等离子体增强化学气相沉积类金刚石(DLC)薄膜、高真空磁控溅射镀膜设备溅射Ag靶的方法制备了
+ z, P2 a5 I* t0 e) p不I司厚度Ag、DLC层的DLC／Ag／DLC多层膜，分别用紫外可见分光光度计、四探针测试仪对样品的光学性能、电
7 d: e1 J4 L& v6 u0 ^7 o$ `# y学性能进行了测试。结果表明，随着Ag层厚度的增加，DLC／Ag／DLC多层膜透射率先增后减，外层DLC薄膜和内
: T( \/ ?; }, b4 Z1 `层DLC薄膜对透射率影响基本一致，随着厚度增加透射率先增后减，在内外层厚度为40 nln，Ag夹层厚度为】6 nlTl
0 D( I2 J0 o8 O0 @0 R0 ~- A$ z U时，DLC(30 nm)／Ag(16 nm)／DLC(40 nm)膜在550 nm处的透射率高达94．4％，电气指数高达112．4×10_3 Q-。，远远超过现有透明导电膜的电气指数(FTC≈20×101 Q_1)。
2 L2 l* L" l H, Q. F7 v4 R关键词薄膜光学；光学性能；多层膜；光学透射率；电气指数；磁控溅射 |
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