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本帖最后由 wwjxgz 于 2010-6-4 21:33 编辑
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; m q: m" z- l& Q0 \热处理对 TiAlCN涂层组织和性能的影响" I- ^; W* c& c; c* G$ T
张旭海, 陈倩栎, 蒋建清, 方 峰, 江静华, 曾宇乔8 Y% ^% G; `& w" N
(江苏省先进金属材料高技术研究重点实验室 ,东南大学材料科学与工程学院 , 江苏 南京 211189)1 q# S9 o: a6 Z6 T% H1 V
摘 要: 在Ar气条件下 ,对反应磁控溅射法制备的 TiAlCN涂层进行 500～1100 ℃热处理。采用 XRD、Raman和 DSC,研究不同热
- J! K, V; [- ?* K; ?9 q, @处理温度下涂层微观结构的变化 ,利用显微硬度计和划痕仪研究热处理对涂层性能的影响。结果表明 ,经 600～800 ℃热处理后 ,
) O# g$ K% d9 Q4 Y$ H, ~8 \涂层非晶碳相明显增加 ,使涂层形成纳米复合结构 ,这导致显微硬度显著增加 ,膜基结合性能增加;在 900～1100 ℃热处理后 ,由
/ B% }& c2 O0 N0 M) Y9 G' d! Y1 O- Y9 Y于涂层中六方AlN相的析出 ,导致涂层显微硬度急剧下降 ,且韧性下降。
9 h' ^9 y* |0 [关键词:TiAlCN; 热处理; 硬度 |
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发表于 2010-6-4 21:02:42
