|
|
马上注册，结识高手，享用更多资源，轻松玩转三维网社区。
您需要 登录 才可以下载或查看，没有帐号？注册
x
高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究3 ]$ V: F9 m1 G) u/ P7 e
阳建华 张 帅 陈继民
9 T: ~% c" T# ^# f- o( ]# ]( x4 p(北京工业大学激光工程研究院 北京100022)' k& Q( f/ r/ i0 Q
提要 通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验* V9 J5 v' d3 ~9 H/ J
设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质
# y2 ]% I6 y" B1 c6 B量的铜质薄膜器件。
! _6 d5 p- S2 M/ q7 M: S. Y* E1 D 关键词 紫外激光 微加工 掩膜 激光切割 |
|
发表于 2006-10-8 19:55:56
