关于平面平晶检测结果如何判定

xinhechen07

求助各位大侠，我们用300的平面平晶，检测是有4-6条光带，请教如何算出该平面的平面度。
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tangcarlos3d

应该不仅是干涉条纹数量多少，还有条纹宽度、间隔尺寸有关吧？

xinhechen07

我也是这么想的，可是那东西涉及到太多的尺寸还需要计算，我们当初买这个东西的时候那家伙给我的固定值，告诉我几个条纹就代表多大的平面度，现在搞得我也拿不准了，坑人啊。

tangcarlos3d

xinhechen07 发表于 2015-1-28 18:31 static/image/common/back.gif
, N5 J. d/ U: S( D我也是这么想的，可是那东西涉及到太多的尺寸还需要计算，我们当初买这个东西的时候那家伙给我的固定值，告 ...

0 f1 W( H! @& @3 `) Z* w5 @不过供应商说的也许没错。因为平晶制好后它的参数也就确定了，也就是干涉条纹的波长什么的都是定值，所以只需要数条纹的个数的就知道被测件的平面度值。

tangcarlos3d

. `7 H$ {# _" U; C$ _& G3 C计算方法参见附图：
6 l( i$ y# l! E% w: J9 k; f3 f: \: t第3种方法是测直线度的，没有做截图。

tianlifang88

要求高不一定是好事，质量过剩也是一种错误，

kevin1985

用平晶以技术光波干涉法检定测量面平面度时，出现的干涉条纹，其干涉原理是等厚干涉。干涉条纹的形状一般有直线、圆形和弧形三种。如干涉条纹平直，相互平行,且分布均匀,则表示被测表面的平面度很好，如干涉条纹弯曲，则表示平面度不好。其误差值为f= (v/ω)×(λ/2)（v为干涉带弯曲量，ω为干涉带间的间距），干涉条纹过多不利于肉眼的分辨，轻微的干涉条纹弯曲无法识别。此时应调整平晶与被检工作面的接触状态，减少干涉条纹数量，以出现3或5条干涉条纹时估读条纹弯曲量与条纹间距的比值为最佳，如果仍然表现为干涉条纹呈相互平行的直线，就应该判定被检工作面平面度误差为0。
3 K8 [! N0 Y8 a6 K5 n# a% e' @圆形干涉条纹说明被检工作面为球面，中凸或中凹点在工作面的中心，判断凹凸的方法是用手轻压平晶中央，如干涉条纹向内跑即为中凹，向外跑即为中凸。平面误差按干涉条纹的圈数n乘以半个光波波长λ/2计算。一般白光λ为0.6um。如圆形干涉条纹最外圈是对称的半圆形，则两条对称半圆形条纹按一圈计算。如只有一条不对称的半圆形条纹，也按一圈计算。
3 w* K$ j* Q0 `0 K3 j0 p6 T2 }如干涉条纹为平行的弧形条纹，则按通常的方法，取条纹弯曲量a与条纹间隔b的比值再乘以λ/2作为平面度误差值。判断平面的凹凸情况的方法为：将平晶先与测砧（zhen）边缘接触，再慢慢与平面贴合，如干涉条纹远离接触点的方向弯曲（条纹中间离接触点比两端远），则为凸面，相反为凹面
最好使用单色光，不要使用自然光，测量时间不要过长。