真空泵的选择

z6z6j6

真空泵的选择

. q8 h4 Y& V. [9 c
; ^+ I, J' g6 t& H7 S3 I; y选用真空泵时，需要注意下列事项：    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
# V) @2 j- @0 X5 s! x8 [    3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
) `: c+ {  D/ P* C7 l9 ]    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
# p, r* b8 e# Q+ T6 s# @" x    6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
. J9 U8 L& e& q1 |    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
- ^& F5 ^4 B  R2 A& C# `, U+ o: P8 F    9、真空泵的价格、运转及维修费用。
# s0 G; G/ J9 [" l: O: X" Y' v

水环式真空泵的选择

一、泵类型的确定
　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
- ~% m' l# I. X  f5 q　　泵工作时，需要注意以下两个方面：

• 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
• 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。
二、根据系统所需的气量选择真空泵
. l" E7 M# L. l; Q1 E初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。

# `; p! ]  S' @9 H) Z- j, k

　　面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型

代号	主要特点 2 D* E8 e4 f$ I: h# j) w	极限真空度 ( l: b( a1 F4 m; \3 T+ w$ WmmHg . f: U$ p4 B. a( i	工作真空度 # f3 j2 X" Q1 d$ P% e) RmmHg % z' }/ K! ]: P# a# d	抽速范围 m3/min + E* I& I1 |9 X+ L# n! i/ V	密封形式
SK	国内设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。	-700 : A. Q! f, A3 e- T' ^$ I2 i6 d* O/ v	-300~-650 5 f. }! [# x! _% P; Q$ J	0.15~120	盘根、 ; T8 s7 M" R" I* W机械密封
2SK 8 u8 T( K& @/ v" k	国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。	-735	-300~-700	1.5~30	盘根、 & d9 u- a, r2 Z机械密封
2BV + I$ Q' T- G1 ~	采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。 ) o( _/ N4 i7 y8 m	-735	-300~-700	0.45~8.33 / e% S+ w3 y: ]* r' R	机械密封 . m2 q5 u) r+ t: `* _5 b% c1 b
2BE1 9 P! p& c2 d5 B: \! }+ }	采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。 . o4 I- n3 e' v	-735 -640	-300~-700 -300~-600	5~400	盘根、 机械密封
SZ	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于老用户。 6 P8 E& t4 e, E9 e. L  a' ?. O	-640~-700 5 `: ^5 _5 v7 q; k% b# l# j	-300~-650 ) f/ X* g' ^" V6 o1 h; d: k	1.5~27	盘根 $ V. [! Z/ T% D9 F6 p2 ]9 ^3 S
SZB 8 w. ?+ i- \3 f; B	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。	-600	-300~-550	0.33~0.66	盘根
2SY " D  U. [1 l" Z! s* b  |0 {3 u: r	主要应用于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa	-	- * M8 N) h$ J9 [+ J# }	6~30	机械密封 + B9 |: `8 S' k& y; i0 v/ v
2YK	结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。 ' r3 f+ g3 K& W9 s	-755 - V0 z1 b9 F: K) a) d4 f- ]! A/ ]	-300~-720	1.5~30	机械密封

xysun2006

谢谢，感谢楼主分享啊！