真空泵的选择

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真空泵的选择

% {9 V: w# O5 d, c" R; k选用真空泵时，需要注意下列事项：    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
    3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
8 z% ~! i) x5 n' L    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
' k4 p  U/ u7 m) ^! i    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
    6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
' L5 Y, z# V* j9 ^- t, O+ K    9、真空泵的价格、运转及维修费用。
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水环式真空泵的选择

一、泵类型的确定
6 o6 \8 o4 V+ r! k　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
　　泵工作时，需要注意以下两个方面：

• 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
• 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。
; S  a" @9 h, k: u1 D二、根据系统所需的气量选择真空泵
1 J5 A/ X! @2 L9 }0 Y初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。
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　　面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型

代号	主要特点	极限真空度 1 r, t9 ?0 e/ D( L+ \mmHg ( {7 @  O( J7 [4 \2 U	工作真空度 mmHg ; b9 M, f! l. \9 c4 c0 v: `	抽速范围 2 x' l$ Q* Q4 d5 t" F# im3/min 9 [" T5 D5 o3 m0 W+ i	密封形式 ! D8 t. E4 v: j# v. {# b$ @% ^2 D
SK	国内设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。 2 L# e% |' g# ~" B$ z* v	-700	-300~-650	0.15~120	盘根、 ' C2 A1 A( K0 ~1 g机械密封 1 V; ~9 l1 O+ s% o
2SK	国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。 ; A, H1 m/ |0 q  _: s  G	-735 4 a" b0 d* u' X# z+ U	-300~-700	1.5~30 3 @1 A% s# T5 S9 g$ r4 @	盘根、 4 o% [# b. d7 B$ p: Z机械密封 5 W1 I6 a+ y+ k5 ]" W3 z! |
2BV ' G  _  Q. f1 d, `, V	采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。 0 g- s* z8 B. L, ~4 J	-735 ; h' h" A& F9 x# E  v" I/ K" X	-300~-700 2 E5 g+ W' m4 }	0.45~8.33 + a* n) `* |" `8 U( u; R6 N' o	机械密封
2BE1 % J6 s/ R+ B- W: m& E6 ]2 _	采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。	-735 ) i8 J9 y7 d# {-640	-300~-700 7 G4 v4 K, G5 r; q/ @7 o' o-300~-600	5~400 9 i3 o! u+ p3 H# N8 i3 O- u	盘根、 机械密封
SZ	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于老用户。	-640~-700	-300~-650 4 D2 o' Y" |$ g7 Y6 E  b8 p5 y	1.5~27 9 b8 n/ r# u5 P: M" b4 `	盘根
SZB " P8 A- u9 }( r" a	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。 # t. B. C- ]- a	-600	-300~-550 0 |) J8 S, G* Z# @2 l	0.33~0.66	盘根 4 D6 y* d; Q. C+ Q) x
2SY $ |/ l9 H3 y# U+ z6 d	主要应用于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa * O; D: l1 N, ?" Y	- & o' E3 Y5 `+ l, W	- 2 I! z0 {6 f, a. A& q) z4 J	6~30 6 I3 Q% O7 k0 Y	机械密封
2YK / X4 I" c' s' O4 t4 d) b	结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。	-755	-300~-720 $ b2 d5 \9 u6 w# s. h% k	1.5~30 / t1 M7 e" e5 d  ?# L( X/ [5 J2 A	机械密封

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xysun2006

谢谢，感谢楼主分享啊！