低温泵讨论

江边

请大家说说设计中的问题，制造和使用中的经验

; o$ l+ M: z! q3 {" s: |* {" J原理
9 L6 P3 Y9 H9 R' o9 s& g! w& O" W－用低温表面将气体冷凝以实现抽气的一种泵
4 Y8 N! R# @* F－ 用低温介质将抽气面冷却到一定温度(如20K)以下，抽气面就能大量冷凝沸点温度比该抽气面温度高的气体，产生很大的抽气作用。
3 S2 h, Z9 b& Y5 e2 l) ~

特点：
1、
立式结构
, n4 R+ k9 s( a适于埋装在地下，不会受电动机热风、空气温度和日照等影响，易于保冷；能降低泵的吸上高度，增加灌注头，提高有效汽蚀余量；立式结构还有利于排气，使悬挂轴有足够高度便于布置轴封装置，故该泵也称为立式筒型泵。
2、
对称结构  
泵的总体结构力求对称布置，以便在冷态下能均匀变形。
( n; c8 v& n% b! u5 k4 {) [$ x3、
双层壳体
为了保冷方便和有利于输送危险介质，通常都制成双层壳体，内壳里面承受泵压，内外壳之间是吸入压力，这样可适当降低内壳的强度要求。

! M2 ~3 r3 W; a( S6 k* Y0 N低温泵的介质一般有以几点特点：１．容易挥发．２．有毒．３腐蚀性．４易燃易爆．所以从选择泵的材料和密封形式上是至关重要的．还有就是在设计的时候要注意材料的热膨胀系数了．一般叶轮口环部分的材料我们都会选择非金属材料．所以在设计的时候就得认真的计算其收缩量．以免其在遇冷收缩后抱死叶轮，其它的自润滑轴承也是一样的道理．气体冷却后会液化，继续冷却将冻结成固体（冰），不能再以气体的形式存在。低温泵就是利用这种现象的一种真空泵。它在内部装备极低温表面（排气面），在此将气体冻结来进行真空排气，将气体以固体形态进行储存。低温泵有排气速度快，能够得到清洁的真空等的优点。但是，由于真空排气后的气体储存在内部，在对一定量以上的气体进行真空排气后会出现排气性能的低下，所以必须使其排气性能恢复。这种操作称之为再生，具体来说就是使极低温度表面（排气面）的温度上升至常温，使以固体形态储存的气体再次气化，排出低温泵。在进行再生期间，因为不能进行真空排气，所以如何快速进行再生，同时如何增大气体的储存量从而减少再生的频度，都是与半导体与电子部件的生产装置以及其他真空装置的生产性、运转率有着很大关系。


2 N/ l2 O) ~' t3 |) g低温表面的冷却方式：
" o0 I& t7 J9 L2 E(1) 贮液式低温泵
% K* r3 S- m' P$ q. O. C(2)连续流动式低温泵
(3)带制冷机的低温泵
; W; E; C( H, O* }7 L
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结构特点
9 o3 ]; d) q. `/ w  k1、总体结构特点
7 P. W, ?: A) q3 p% K- ?3 y" w& X立式结构 适于埋装在地下，不会受电动机热风、空气温度和日照等影响，易于保冷；能降低泵的吸上高度，增加灌注头，提高有效汽蚀余量；立式结构还有利于排气，使悬挂轴有足够高度便于布置轴封装置，故该泵也称为立式筒型泵。
2、对称结构  
/ l% q: }( j. Q2 L泵的总体结构力求对称布置，以便在冷态下能均匀变形。
+ s! m( J  v; l/ U/ G( e3、
双层壳体

为了保冷方便和有利于输送危险介质，通常都制成双层壳体，内壳里面承受泵压，内外壳之间是吸入压力，这样可适当降低内壳的强度要求。

[ 本帖最后由 江边 于 2007-3-2 20:43 编辑 ]