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超精密加工的技术基础和创新 论文 PDF$ f3 Y0 t1 K2 G, Y
来源《新技术新工艺》杂志! L& H: S2 l2 s/ D* Q" x
超精密加工的技术基础和创新 吴敏镜 摘 要：主要叙述了当前超精密加工技术基础和关键技术,简述了当前的发展现状,并着重指出发展超精密加工技术必须要有创新的看法.; S4 Z, z# G+ B1 U7 _' d; ]3 k+ I
关键词：超精密加工;金刚石切削;加工精度;表面完整性
6 C; ~; H' K7 d% c; o; j c分类号：TG50 文献标识码：A' s" c2 S2 f/ [
Supporting Technology and Innovation of Ultra Precise Processing |
6 l1 i) y" J" x作者单位：吴敏镜（中国航天科技集团公司230厂,100854）
! C% B- k! r6 q) s# J! H+ S: }7 \参考文献：
& R; ] a% B) @" [9 Q: s9 F[1]石川宪一,等.关于利用椭圆振动的内圆刃切片的力学研究--关于椭圆振动的切片加工机理切断力的动态[J].精密工学会志(日),1999,65(11):1605-1610.. Q4 M9 y: A: f0 M# d
[2]江田弘,等.口径直径300 mm硅晶片用加工机械的开发[J].精密工学会志(日),2001,67(10):1693-1697.
& y. `$ ]. @0 |, i/ B[3]郭东明,等.集成电路制造中的超精密加工技术[M]//柳百成.工程前沿(第1卷):未来的制造科技与技术:213-226.
/ B( a* H2 O$ H$ m0 l, J+ r3 u' s3 N/ e[4]井川直哉.超精密机械加工技术的现状与课题[J].精密工学会志(日),2002,68(1):54-58.
; ?4 D* \) q$ ^% m9 u/ s: P[5]吉田嘉太郎.超精密加工与构成于是要素[J].应用机械工学(日),1988,29(2):70-79.0 I* u4 ?# \ _& m4 g
[6]最硬的钻石.参考消息:2006年2月10日.' l! u* i8 m1 x% Y' P. ]9 _; w
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发表于 2007-3-25 14:59:16
