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【题 名】 新兴纳米加工技术简介
/ x6 [6 `5 Q- U6 M: ]$ c+ W【作 者】 荣烈润 $ w& M) R# ?4 J# L2 ?2 U% s
【刊 名】 机电一体化.2006,12(5).-6-11
D) t( v( E; E: P* b【ISSN号】 1007-080X
- q7 P, a% y7 v& a% y【C N 号】 31-1714 $ g: X& E8 [, w1 j
【关键词】 纳米加工技术 纳米结构 纳米压印技术 准分子激光 聚焦离子束
% b$ T8 P' O4 T: Z【文 摘】 文章对几种新兴的纳米加工技术的工作原理、特点及应用作了简介。 |
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