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真空镀膜机的原理及故障分析
( I6 M K% [/ ~; z5 S7 [ 陈敏 王存华
" Z R& i+ I8 B' j5 r5 f8 S* H(南京电子器件研究所 南京 ) 6 o0 j/ G3 e0 \) X) |+ i
2002年4月
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1 h, F5 s1 r1 J( a
4 e: x: @8 L+ k" q; M摘要:真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备,本文就DMF-700电子束真空镀膜设备在实际工作中出现的主要故障进行分析,并给出故障排查的方法。
( X8 z$ y& a6 j0 r \
: ^/ e' q. v6 }1 j, m% `. y关键词：真空镀膜 高压电源 维修, M8 S) V) K, L
9 }) m3 p+ k( ]& b, _2 W: K中图分类号：TN305.8 文献标识码:A
( f4 w- J0 f% b3 Y文章编号:1005-488x(2002)02-0114-05 |
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发表于 2007-11-4 11:54:37
