|
|
发表于 2008-1-3 15:47:38
|
显示全部楼层
来自： 中国安徽芜湖
% q" @" m/ M( Q/ P
* ^9 P3 r5 R" {
( q2 P" g) \7 C5 V( C9 R* y( O光刻机超精密工件台研究（无全文）RESEARCH ON ULTRA-PRECISION STAGES OF LITHOGRAPHY<<电子工业专用设备 >>2004年02期
7 K4 o0 Y7 B4 K朱煜 , 尹文生 , 段广洪 0 u' Y- ^3 {' @$ s
5 W, p6 R: f; S4 m
针对步进扫描投影型光刻机超精密工件台开展研究,所搭建的超精密气浮运动试验台采用气浮直线导轨支撑、直线电机驱动、直线光栅尺反馈组成大行程直线运动系统,其上叠加洛仑兹电机驱动的气浮微动台,提供对直线电机运动的精度补偿,由双频激光干涉仪提供粗、精动运动系统的超精密位置检测和反馈,两套直线运动系统可研究同步扫描运动,并可灵活地组成多种x-y超精密运动系统.介绍了基于该试验台进行的超精密运动控制试验研究,运动定位精度已经达到12 nm.7 c' i* r$ m, _7 \
. k0 }6 K' T* t1 v4 P
[ 本帖最后由 asdolmlm 于 2008-1-9 20:59 编辑 ] |
|
楼主