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发表于 2008-1-5 23:49:56
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来自： 中国福建泉州
有一本这样的书：等离子体放电原理与材料处理
1 g# a P; x* |% Y8 R6 v
5 g8 ^% U4 a, }( L( H内容简介9 s% q! k* C! v' n& c0 d
本书全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。全书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。
9 V4 P J3 c" O/ d, x3 \ 本书可供等离子体物理领域的研究生、技术人员，以及微纳电子领域的科技研发人员参考学习。 $ t4 [, Y% e9 q( x- g8 f
( F g- |8 J2 L, ?- }
本书目录
" f9 o9 T. ?2 U1 k$ k第1章 概 述 $ N' u/ K5 C# Y* |% u
1.1 材料处理
2 i4 Q$ { n$ K6 B9 Y7 V1.2 等离子体和鞘层 9 w& r7 D- ^$ \9 M
1.3 放 电 & M7 F4 l$ S! M/ a
1.4 符号和单位; b6 i9 F$ w" r6 c q& Q( x3 P
第2章 等离子体的基本方程和平衡态性质
7 Q( N# V( U$ b ^( ^2.1 引 言
" ^2 F f, U3 j2 O$ \, ~2.2 场方程、电流和电压9 t% ?- Y+ d6 R
2.3 守恒方程
8 O3 {6 A/ H) i5 v- r2.4 平衡态性质 - V Y! F! B0 t, B
习 题 ) I! Y# I5 c7 }
第3章 原子碰撞
* y3 l! T8 e; X( {9 |1 p' x3.1 基本概念 n# l- b5 f7 ?$ f* C
3.2 碰撞动力学
; g" J) J5 t: W7 v( M" N6 O3 {3.3 弹性散射
5 Q0 w, m3 |# s3 i6 V3.4 非弹性碰撞 3 P# u% v3 q: ~: E
3.5 求分布函数下的平均值和表面效应 . K6 j+ D, G# J3 m# ?! a
习 题
& F( @( b% w& N T1 ~' |6 t1 Y第4章 等离子体动力学
- ]/ L6 U& c1 H9 P; p) N5 G3 q4.1 基本运动' s4 C( E" o6 e G+ U* S9 \
4.2 非磁化等离子体动力学
+ q& y' j4 `& X8 d7 Y, O, m/ a h( ]4.3 导向中心运动
, l2 k$ G6 J& p w4.4 磁化等离子体动力学
" n$ z) r( O1 `6 s/ D) q- [! i* l4.5 磁化等离子体中的波
. W" I& e4 Q9 p0 L3 @* q' _4.6 波诊断
0 o: R. b1 v& o" n4 W习 题
* g# M6 R1 ^2 {1 [第5章 扩散和输运 : V7 S$ y1 n$ _3 N3 D
5.1 基本关系式 ' {- y; d0 F6 v4 G9 S
5.2 扩散方程的解
0 m+ B+ d+ t8 A! B1 o- L0 k `" A* x5.3 低气压解
/ T# |# v' G2 Q$ q3 I& t* w5.4 在磁场中的扩散过程
7 T, R0 t# e* Q7 y7 G5.5 磁多极约束* o: K2 z, j g6 Q. h# F
习 题 8 W0 v3 @' s& _! k8 ^
第6章 直流鞘层
' y4 p& o6 x$ s& ~8 S: E6.1 基本概念和方程
& c% _& `/ a: n6.2 玻姆鞘层判据 6 w# o) q3 A" h* B2 }6 ^
6.3 高电压鞘层
% U% H' }% d2 b, R, i4 ?3 p$ c: N F6.4 鞘层形成的广义判据 1 |) u3 x( C! T# b8 c
6.5 高电压碰撞鞘层 5 m- Q/ Y1 ?9 H) Y1 R
6.6 静电探针诊断0 y+ F6 G9 B+ K6 E/ o
习 题 ) P8 X: ^. G: N6 b! k8 p; F
第7章 化学反应和平衡 , U. v" G$ L5 I" P7 b S
7.1 引 言 J# j* n: B$ k+ k& y$ P5 s8 O6 Q8 z
7.2 能量和焓
: ^$ R6 D; ^( l# \* r7.3 熵和吉布斯自由能6 s' x' O% v* U. _+ |5 X
7.4 化学平衡 0 b: p' i1 }9 R( h
7.5 异相平衡 / ^# a2 i# n7 V D* ~' K3 ~
习 题
" w4 v$ i% X. F% A5 z: [' r" z& `8 d第8章 分子碰撞
/ a* o1 l. `1 G" H: b" X8.1 引 言
; m5 }( P% M& m" R) m( w5 \8.2 分子结构
1 A' V9 r( X( s; z2 h V8.3 电子-分子碰撞反应% u! v' U" ]; m8 r
8.4 重粒子间的碰撞
8 j8 A8 O1 v1 x5 k$ R8.5 反应速率和细致平衡$ M2 X8 A$ f. G" q) b J
8.6 发射光谱法和光化线强度测定 $ H8 I! o4 f) p2 J; p/ r
习 题 . `6 p6 y( T6 u3 y8 b
第9章 化学动力学与表面过程0 H& [7 l% m1 `# l s- f6 S: e8 Z
9.1 基元反应 9 M8 o% r& e/ ~" ~0 e' t a$ L
9.2 气相动力学
" E- W6 z; Z( P% F1 ~9 _& x- T% k9.3 表面过程 / s9 r, j6 y2 h3 z7 R+ l+ B
9.4 表面动力学
4 v! G% v* ^& n习 题 2 y0 P; U+ w0 Y# O7 [# o8 Z
第10章 放电过程中的粒子平衡和能量平衡 . w5 [9 z8 U$ S) H' _# X
10.1 引 言
# M6 Z# O2 x; M; U7 p4 I# F+ u1 s& e10.2 电正性等离子体平衡态分析 9 e+ {- N) [0 j0 G5 c3 ^3 C& o
10.3 电负性等离子体平衡态分析
5 f. A ?% ~$ L S( y! c# D/ K10.4 电负性等离子体的近似平衡分析
4 E# x. ]. P0 S) {5 k10.5 电负性等离子体放电实验和数值模拟
; x0 z+ e% ^# J% V- T9 `10.6 脉冲放电 - q8 `& O3 g9 U. S/ M& t
习 题 " a6 T# @. ^4 \2 q; U1 k5 _: N3 U
第11章 容性放电 ) M+ a/ |& R% o* n
11.1 均匀放电模型
. }2 O3 P) s, ]1 O; M; l, o11.2 非均匀放电模型 I$ I9 i4 A0 U1 j
11.3 实验与数值模拟8 f! ^; Q* G4 S- b$ s; x0 |
11.4 非对称放电
. X. \& H( x; F& |8 \/ ~9 {+ J! R. [11.5 低频时的射频鞘层/ v0 a$ i' g2 \% M1 ?9 |, G
11.6 电极处的离子轰击能量
) B( b, o- E3 l+ J9 @11.7 磁增强的气体放电
% @/ w( q3 B: e/ b11.8 匹配网络和功率测量
2 _! q; \- b/ G h/ j习 题 ' C) J- N V0 {- c; s4 ^3 ~) T
第12章 感性放电 5 F( @' a* G/ }. }
12.1 高密度、低气压等离子体 ! D' b: r0 M. i5 n
12.2 其他工作状态
1 K. Z7 S3 P% `7 f, R. G7 Q12.3 盘香形线圈等离子体源 0 O: b2 f7 _! U8 Q( h* g
12.4 螺旋共振器放电 & x* r3 g& g5 E+ _9 \
习 题 ) n. }7 \; L1 O! u: y/ }8 Q
第13章 波加热的气体放电 $ G5 p: J" y; X
13.1 电子回旋共振等离子体! X- n( Q/ B: n, V$ l7 `
13.2 螺旋波放电 8 v9 u, R$ @9 E9 S
13.3 表面波放电
9 u$ x) d7 |$ O% d0 q3 R习 题 $ l# ~, i8 G; _8 F& `7 P& p
第14章 直流放电 / o+ m9 n# l4 y ~( t% @ \+ V8 f
14.1 辉光放电的定性描述 ) K4 Q1 z/ C, m% H
14.2 正柱区分析 0 _: C8 n6 C9 @2 W1 ^
14.3 阴极鞘层分析
+ K/ g% J2 ?# O2 ?/ e14.4 中空阴极管放电
# k- N* a! `3 U) I' a14.5 平面磁控放电4 }0 V: G, A* m6 M2 v2 l
14.6 电离物理气相沉积
2 W" ?; V/ ]! S; S习 题
5 j2 t: w) M* }% c, Q- n( S第15章 刻 蚀
& F, i3 L6 _; p' c7 K15.1 刻蚀的要求和工艺过程
$ M8 L/ t- H x' h1 B15.2 刻蚀反应动力学, g9 \7 c2 |% B* z! v
15.3 用卤素原子刻蚀硅
" a5 v. R- }# J" Y5 h* o) x1 \15.4 其他刻蚀系统 ) R4 f& t: ?; |8 ?
15.5 衬底上的电荷积累
5 A2 q" G2 D) D# X' X习 题 , \: Q1 E6 c0 t1 i
第16章 沉积与注入
( d. @1 V3 [ c. J: h; v) b16.1 引 言
* Q) L8 [9 Y# \1 W! k! ~: L* Y8 p16.2 等离子体增强化学气相沉积
' |4 K- A \, q1 M! M; E' @, j, `+ @# i16.3 溅射沉积 # R+ s8 H9 e9 t' k/ D9 P9 F Z, V
16.4 等离子体浸没离子注入(PIII)
$ S; a9 V" E# T/ J% ^: W6 d习 题
4 _' ?: l+ d8 n3 A第17章 尘埃等离子体 : z T! s( M# w2 o# g
17.1 物理现象的定性描述
$ {& `$ N+ W) |( u! e6 `17.2 颗粒充电和放电平衡
1 X1 g. s( ]% F17.3 颗粒平衡 4 u! U: j# e5 L' J
17.4 尘埃颗粒的形成和生长
, `3 \' T" F1 a17.5 物理现象及其诊断% ~9 x5 \, ^6 m6 ~* Z
17.6 颗粒的清除或产生
+ H% ` k# G6 s9 | u习 题 . C" j, p( x" K! ]/ T
第18章 气体放电的动理论
. _6 B) r" p/ N: G: E1 l* J) c18.1 基本概念 6 y3 J3 d: a; l# f4 z
18.2 局域动理论 + K/ e; `( P5 T4 y4 I: F; B) I0 W
18.3 非局域动理论 ) r; q; U, s! ^0 m7 o5 c
18.4 准线性扩散和随机加热+ a* \9 e( R8 e- S2 v0 \8 K0 ^
18.5 在趋肤层中的能量扩散% p# Z2 e3 h. a0 ?0 _
18.6 放电的动理论模型
- I, |' W" d0 o7 K1 m0 x习 题 0 @# Q2 C3 h; s1 f+ [
附录A碰撞动力学 ) R& P$ o" l1 {+ }% m) O
A.1 库仑碰撞截面 `5 H( s) J7 ]4 P, G3 z" u; T' {& z2 E
附录B碰撞积分 5 x& N- R$ H" _, s! u/ W, h* L
B.1 玻尔兹曼碰撞积分0 e7 D# J1 O; O* e
B.2 平衡态下的麦克斯韦分布 + n7 l3 s" i! n
附录C变迁移率模型中的扩散方程的解) A: m3 h9 ?3 e( V4 } v( M
参考文献 |
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