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蓝宝石衬底的化学机械抛光技术的研究
6 ]$ `/ Y- R/ K 王银珍,周圣明,徐 军( |7 A: Y8 _" @3 R5 T% S# k
(中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800)) I {7 H6 {- ^( N6 D- o
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【摘要】介绍了蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺,概述了化学机械抛光原理和设备,讨论分析了影响蓝宝石衬底化学机械抛光的因素,阐述了CMP 的主要发展趋势:能定量确定最佳CMP 工艺,系统地研究CMP 工艺过程参数,建立完善的CMP 理论模型,满足不同的工艺要求和应用领域,有效降低成本,提高产量。4 m2 N+ I( q2 Q' F Z
【关键词】蓝宝石;衬底;化学机械抛光0 S. L2 I, D9 |6 Y# v3 d& v5 w
【来源】《人工晶体学报》2004 年6 月 |
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发表于 2008-1-17 19:39:18
