干式泵常识

清风明月

干式泵常识
) [$ r  s, H$ lQ：什么是涡旋干式真空泵？
% @: a" R+ }% k; q% J; M5 {2 DA：不用油类或者液体密封的变容真空泵。
/ U3 H! h1 J! G4 j' ]. V
5 G/ ?1 f0 C8 H+ \! RQ：涡旋干式真空泵的特点？
, t7 l2 l" \& O7 G" u. v" |A：◇无油、无污染
  d; |, Y6 e# C' e% i% a     ◇低噪音、低振动
/ D; q0 K& N4 K. N     ◇使用寿命长
& O* S5 G6 \; ]0 s8 C7 `& V6 ~- C, i     ◇空气冷却
     ◇配气镇阀、可抽可凝性气体
8 \+ N! {7 i0 Q* S9 V
9 S3 M, C& p& OQ：涡旋干式真空泵的主要用途？
7 u0 n! k) a$ W  ZA：◇半导体制备设备与处理室抽真空泵；
- F+ o+ |1 q# Q1 y5 j) N. y7 B' O/ j     ◇用于液晶注入系统；
     ◇分子泵真空系统的前级泵；
     ◇真空密封泵；
     ◇冷泵前级；
; C' G9 p; A( ~: u+ A; I8 p     ◇用于科学和化学分析仪器；
     ◇真空发生器；
# R% D% W; S$ v     ◇电子显微镜前级泵。

Q：涡旋干式真空泵的主要技术指标？
A：

项         目	指            标
型号	DVS-631(双侧涡旋型无油真空泵)
抽气速率	525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz.
极限真空度	≤1Pa(气镇阀关闭)，≤2.5Pa(气镇阀开启)。
噪音	≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) (气镇阀关闭)
电机	单相鼠笼式电机，全封闭风冷。单相 220V, 50Hz, 4芯, 600W
最大连续进气压力	30,000Pa
最大抽水蒸气能力	23克/小时
电机	4芯，0.6千瓦
电源	三相200V(±10%) 7 z* J4 l2 K6 b, _. \4 F. P$ t7 J+ T50/60Hz(±2Hz) ≥10A ) ^7 e1 k& o; U4 k( Z2 q7 P 单相100/200V(±10%) + d: F% j$ A* e2 ^% ?50/60Hz(±2Hz) ≥10A 三相220V(±10%) 50Hz(±2Hz) ≥10A
电机速度	1425 rpm（50 Hz） 1710 rpm（60 Hz） + x  ]1 F9 q" i+ S( V 1430 rpm（50 Hz） : R6 J, G) s% H7 S1 B' K1710 rpm（60 Hz） 2 [( B4 }& R) m4 ~. N: V
环境温度	5～35 ℃
进气口直径	NW40
排气口直径	NW25
外型尺寸	547(L)×326(W)×367(H) 586(L)×326(W)×367(H)
重量	41kg 44kg
漏率	≤6x10-2Pa L/S
附件	计时器(零件号502365)和说明书

( Z/ V! b5 e* ?, y6 A# E5 dQ：涡旋干式真空泵使用注意事项？
A：◇DVS-631型涡旋干式真空设计用于抽大气。所以不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
   ◇检查确定此真空泵安全接地。
. g6 A! X) n4 L2 s3 I4 ^   ◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
; U6 z& W% A1 g) t3 T: |: N   ◇未加风扇盖前，不要启动泵。
. W. Q) T. M3 i   ◇泵工作条件要求：环境温度5～35℃。如果超过35℃，可能引起泵或电机性能下降。
   ◇此DVS-631型涡旋干式真空泵必须与设计规定电源连接。
; ]4 A6 t( D+ b   ◇必须安装电机保护开关。
DVS-631型涡旋干式真空泵电机没有热保护开关，电机锁死时不能提供过热保护。必须在泵与电源线之间加电机保护开关，否则电机锁死时可能冒烟甚至起火。
; z1 [% f: G/ V+ N1 r+ O5 V# q   ◇不要由一两个人移动此泵。此泵超过40公斤，不要由一两个人移动。
+ Y- y8 M: \! F$ j) y. p8 a. n   ◇移动泵时不要握塑料件，否则塑料件可能破损。
   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。
$ ~* n8 W  k0 O8 O9 G如果真空度上不去，更换法兰。
   ◇在进气口处装真空阀。
, {6 R+ w& q& i3 S" [1 M8 ^真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。
   ◇排气口处要接排气管，以防灰尘进入泵内。
' {2 J2 t! w1 S
  ~- M% _' k! ?" w+ Q& bQ：涡旋干式真空泵加气镇阀时注意事项？
1 f6 Y, j, u# T0 IA：加气镇阀主要是为了抽包括水蒸气在内的特殊气体，保证泵的良好抽气性能。使用涡旋干式真空泵时，除上述注意事项外，还要注意：
   ◇不要用此泵抽腐蚀性气体
3 x3 X( m; ^$ G/ A4 E此泵只能抽空气、氮气和水蒸气。不要用此泵抽腐蚀性气体，如有机溶剂、高浓度半导体工艺用气体、高浓度强酸强碱性气体等。这些气体容易使轴承失效。
   ◇被抽气体水蒸气含量必须少于要求值。如果超过此极限，将缩短气镇阀寿命
5 s1 M3 ^* f3 d: |   ◇加滤网
使用气镇阀时，必须加滤网。否则可能抽进灰尘。
   ◇定期检查
为了泵正常工作，要对滤网进行定期检查。否则气镇阀不能正常工作。
. n: F2 o. c8 ?  @: O; d   ◇供气
( V# o2 ~$ @) X: p0 v* ]要保证加适量的气体使泵高效率工作。

! v' ]: X+ J- o7 b$ dQ：涡旋干式真空泵安装地点要求？
A：涡旋干式真空泵的安装应满足下述要求：
% h4 ], m# H* ]+ H* |   ①平面放置
   ②避免阳光直射
   ③环境温度5～35 ℃；湿度90%，或没有结露
   ④通风良好
   ⑤泵附近不得存放化学品或易燃品
   ⑥防潮
   ⑦泵周围环境易于对泵进行清理检验。
. v# N% u1 W7 ~( z/ l( A" f
Q：涡旋干式真空泵与电源连接的注意事项？
A：◇检查确认此泵电源接地良好。
   ◇检查确认此泵电源为要求值。
   ◇在此泵与真空室之间安装保护开关。

Q：涡旋干式真空泵与电源连接步骤？
/ }  F0 U  O3 r9 w6 DA：①打开电机接线盒，将电源线与接线柱连接。
   ②电源线应当为达到或超过直径1.25毫米四芯电缆。具体参见使用说明书。
   ③有的涡旋干式真空泵电机内部无热保护器，一定要安装保护开关，推荐为额定电流低于10A。具体参见使用说明书。
; A& G% Q- |- h2 k   ④确认此泵从电机方向看顺时针方向转动。打开进气与排气口。打开电机开关起动电机2-3秒。检查确定进气口抽气。如果电源线连接错误，将从排气口进气。
* A/ U" e* n+ a5 X( c* [9 P8 w2 _
( O( ~: c5 v0 b* wQ：涡旋干式真空泵排气注意事项？
- X+ c; L% |5 ^3 AA：◇涡旋干式真空设计用于抽大气不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
   ◇不要用此泵抽灰尘。抽灰尘时，一定加滤网。
/ V  j, M0 g0 @   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰
% h9 J: m% O, v以免损坏法兰口，导致真空度上不去。如果真空度上不去，更换法兰。
   ◇在进气口装进气阀
* M; T0 J, O5 L0 r真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。

/ h$ _+ t; f5 uQ：涡旋干式真空泵联结方式？
A：①用快卸法兰将进气口与相同直径的真空管道连接。如果真空管道直径过小，可能降低真空抽速。
   ②真空管道一定不能有泄漏处。
   ③检查确定管道无排气压力。
   ④正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与泵之间加真空阀。

Q：涡旋干式真空泵操作注意事项？
( f* U, A" @* ?% V4 |A：◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
+ A1 E" G+ |5 R9 V5 `9 U% U( s3 V% F   ◇检查确认DVS-631型涡旋干式真空泵电源为要求值。其他电源可能对泵造成损害。
   ◇如果电压高于240V, 可能损坏计时器。
! F; p: i7 q; ?* d/ c5 f$ m   ◇每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。
6 g2 h6 ?6 k# M/ A& q( D: S$ v; x4 R
* n0 N* y. ^1 r9 q8 K8 UQ：涡旋干式真空泵开机注意事项？
$ L6 e3 i" M8 O" _A：①检查确认电源符合要求。
   ②保证在气镇阀关闭时开启电机保护开关，启动泵。
0 a5 p) b7 A$ l7 D$ H+ N" i3 I6 B
8 T+ C3 _- Z3 S: o' RQ：涡旋干式真空泵气镇阀操作注意事项？
( S. E3 X% R0 p9 A4 Y, z  G/ FA：◇加气镇阀时，一定要加滤网。停泵时要关闭气镇阀。
   ◇一定要定期检查，确保滤网清洁，否则可能引起气镇阀问题。
" e; p* M& W7 I: t/ r( ?
9 V. v% _) Z, xQ：涡旋干式真空泵气镇阀操作步骤？
2 y( c2 h& h5 i  r# M) @A：①加气镇阀时，一定要加滤网。
+ Q4 {+ \6 h9 y5 K2 ]   ②气镇阀接头使用时一定要用正确尺寸管件连接。
   ③开启气镇阀时，旋钮旋至与管道轴线平行方向，关闭时，与管道轴线垂直。
0 F% }# x4 G0 M6 ]  B. G% y! m
. B' ~% {; J$ d/ L( ^( J# j, rQ：涡旋干式真空泵关机注意事项？
4 L5 \# h% w) p: a- m) G. M4 xA：◇停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。

Q：涡旋干式真空泵关机步骤？
A：①停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。关断电机保护开关。
6 a4 g4 q" Q6 ^   ②正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与真空泵之间加真空阀，停泵前关断此真空阀。
4 Z( G; v/ l* O# q3 N% Z* s) z   ③每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。
) O. \* K; E) A; f# a
Q：涡旋干式真空泵检查与维修注意事项？
  o# f/ G- P7 i! e5 B3 _. nA：按照下表所示时间间隔进行泵的例行检查。此时间间隔为泵在10Pa下运行的检查，可能对正常泵的工作显得过短：
' ?3 s% a' b6 x7 S: [

部件	检查点与注意点	时间间隔
轴承	异常噪音（听）	每天检查
	新更换轴承	8000小时
密封件如密封垫、O型圈	新更换密封件	8000小时

5 `# p5 o* f8 g* s6 t2 NQ：涡旋干式真空泵故障排除？
( u: B! \0 T6 r: A1 BA：
5 p( L2 E) I% q

故障	原因	措施
电机不转，能听见泵工作声音但泵不能启动	电源问题或电压低于额定值	检查电源
	泵被锁死	与当地经销商联系修理
真空度上不去	法兰口被刮伤	与当地经销商联系修理
	真空管路问题导致漏气	检漏维修
	管路被堵	加热除气或更换管路
噪音与振动过大	轴承损坏	与当地经销商联系换轴承
	泵中进异物	与当地经销商联系修理
	抽气口被堵	与当地经销商联系修理