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《真空》杂志2002年12月第六期- m) d. v c% v5 `, T" O
文章编号：1002-0322（2000）06-0043-04- T$ ~) g* @4 a% m$ f
题目：冷凝泵的内部构造、工作原理及其维护保养 y5 i' \, M8 F3 T2 X, d$ H* g3 o: Z
李小宁（华越微电子有限公司，浙江 绍兴 312016）
4 l, ]5 d. P9 w' a7 p0 e/ Y$ V2 T9 [$ F摘要：本文分析了冷凝泵的内部构造、工作原理，详细叙述了工作时的相位关系。使读者对其有一个全新的认识。) l6 t/ t4 S8 ^( h$ \
关键词：冷凝泵；原理；维护6 g: z) ?$ L K. |% Y: s
中图分类：TB752+.53；TB655 文献标识码：B |
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发表于 2008-6-6 02:46:01
