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发表于 2008-10-22 18:56:09
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来自： 中国湖南株洲
补充介绍：+ M$ d) O0 L2 q- t6 w! h0 J
+ Z3 E2 z2 M- e- G7 zNEBB-----无尘室测试规范2 `% T3 Q- R) `. I# l- f2 m) A+ k
. v8 `' v) d9 D测试简介在测试无尘室之前，若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解，对测试当有帮助。这里是一些背景资料，提供给读者参考。5 G+ Z' R* u: {3 O$ N( r5 R0 `* }+ y3 K
一、无尘室测试规范
7 k% R- z) K' _6 f/ y有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的国际标准，在网络上用〝contamination control〞搜寻，可以找到很多相关资料。无尘室的定义，最早是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644的产生。以下说明无尘室的各种标准与规范。
! p; c$ M$ Q" Q- Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用209E。微粒计数器的制造商，虽然都推出满足公制计数法的新机型，但是要等旧机器完全淘汰，恐怕还要很长时间，因此新规范ISO-14644还没能取代209E。
- ISO-14644系列；美国政府为了推动经济全球化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行全部使用公制的国际标准ISO-14644。14644系列有8个子题〈Part〉，称为14644-1，14644-2，一直到14644-8。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等，范围很广。有些主题已经定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些连初稿都还没有，读者可以到ISO或IEST的网站上订购。
- JIS B9920 (1989)：日本的洁净标准，规定无尘室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的等级定义。
- VDI 2083 (1993)：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的量测技术。
- Gost-R 50766 (1995)：俄国的洁净标准，定义无尘室的分类与一般需求。
以上是无尘室等级规定，与洁净度量测的相关标准。另外有关无尘室污染控制〈也就是洁净度控制〉，和环境控制〈如温湿度、震动噪音等〉，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在无尘室性能测试的范围之内。9 l, K) |0 ?% P* m; u% O
- IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测，006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的第一版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。
- NEBB 无尘室测试规范第二版：这是目前最广为流行的测试规范，提到无尘室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 无尘室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 无尘室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 无尘室测试规范成功的成为产业标准。有关 NEBB，请参照本站 NEBB。
- ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三个子题，是有关无尘室里面生物污染的控制，目前都只有初稿。
每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对无尘室的要求可能都不一样。以上所列无尘室定义与无尘室测试规范，虽然以可满足大部份厂商的需求，但是严格来讲，这些规范也只是一个参考。各公司在订定测试规格时，应依照自己的制程需求，在上述规范里取出自己适用的部份，并要求供货商与测试单位照办，必要时可以酌情修改测试标准，才能真正满足自己的需求。2 X6 n/ s& f: S* ?3 T$ M
二、无尘室常用名词 . _: d: A3 b! j# t8 x4 K
- 无尘室定义：无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。
- 微粒控制：无尘室微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，订定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时，必须特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响，才是有用的数据。
- 外来污染源：从无尘室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。
- 内部污染源：无尘室内部产生污染的来源，一般是制程机器与操作员工，最严重的内部污染源一般是操作员工。
- 隔离：隔离是污染控制的一种观念，也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高滤网覆盖率的无尘室，或是使用迷你洁净室将机台整个包住。
- 稀释：稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘室。例如在 Class 10000的无尘室，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打转，要比较常的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了，部要求把人员与制程隔开。使用稀释法作为粒控制时，要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性，能掌握微粒的产生速率，才能有效的稀释微粒。
- 气流模式：指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式，才能掌握洁净度。
- 单一流向型气流：气流以同一个方向移动，这种无尘室称为单一流向型无尘室，以前称为层流型无尘室，定义并无多大改变。高洁净度无尘室需要单一流向型气流。
- 非单一流向型气流：气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘室，洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本。
- As-built cleanroom（刚完工的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的洁净室，但并没有设备及操作设备的人员。
- At-rest cleanroom（准备中的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已动作的无尘室，设备已加载并可以操作或已在运转，1如所指定，但没有操作设备的人员。
- Operational cleanroom（操作中的无尘室设施）：一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状况可以呈现和达到其正常的功能。
三、无尘室等级定义 5 ?. [" V7 T) h1 U+ V
无尘室的等级 " P( d! L$ E# P) A* {# Z; ~; ]
使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。首先是等级定义的模式如下：
) a, W# F4 O/ n5 iClass X (at Y μm )
& Z0 Z+ G* W' n% t/ O- Z其中 X 是无尘室的等级，例如 100 或 10000 等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm 等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子：* T+ q# l3 G# }
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
; Z8 v' ?, U [6 T1 G# e* Y2 JClass 100(0.2μm , 0.5μm )
7 A( Z, e7 u# x' PClass 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm ) $ E) u$ h* k- b/ K$ [, ?
在 Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....) ，一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... ) ，一般要看多几个粒径。8 z0 z, G) e: I! a6 c0 J
第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：
; x) ?2 t4 }. F5 \2 } ?! GClass X (at Y μm )， At-rest
0 _3 g. C7 E6 D3 n5 V4 W供货商就很清楚知道无尘室要在 At-rest状态下验收。& _, I* L9 k- v) L! Y
第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在 As-built 时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：2 V- U; _9 y7 g# O3 |% {3 e
Class 10000 (0.3 μm <= 10000)， As-built
: y3 v: l6 K$ t g" i' a: XClass 10000 (0.5 μm <= 1000)， As-built
- r* e" p @9 j* w这样做的目的是确保无尘室在 Operational 状态时，依然有足够的微粒控制能力。; F$ r7 n, J. x# r% P, c; ]/ L
以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和ISO-14644的等级定义。. ~0 r: G% t$ ? ^, b" o
" l2 }. |3 N, R. N5 @
% x$ `* [/ s7 k- |* v1 ~! N: O5 U" s; w, j
Class Name
% f! X7 ~. `" T2 u, `3 l; M: w8 n4 w! C" L' H. U6 @; I" S- p
" v3 _1 }) ]1 Z: b. E( k5 `* e
' h( x6 j/ l: {: G8 p) m | Class Limits 5 N- t9 r2 d N6 W: u6 ?
| 0.1μm
. u2 i2 `! L' T5 y+ w2 J | 0.2μm
' v) K2 l3 e6 Y0 c) u$ b$ |% k" X/ ~ | 0.3μm * B* i8 r' ? o! p. ~6 I% F
| 0.5μm
( C8 R$ @, N# \ Z. e' A+ [$ o" X | 5μm 3 h( |* f8 ?/ Y6 k2 |/ o
| Volume Units
$ P, V' S% b" F+ I4 o | Volume Units
2 c+ c1 p, f$ P3 N1 I | Volume Units
0 a1 q) f C. e8 U6 u | Volume Units
6 A& q2 i1 F4 m" l4 U$ L- d | Volume Units
7 `2 s" A0 [8 ]- {2 I, p/ [3 c | SI
1 D1 ~9 {8 E$ i- b. t* t3 m | U.S.
1 P0 {/ N. s( k9 G8 X* Z | (m3) 9 j2 D5 \; R; a' @, j$ P7 s
| (ft3) ) m0 O1 O ]/ E
| (m3) # M3 i/ n" q: L- z% C5 O- S
| (ft3)
+ ~ ]* H+ l! N | (m3) - \% a3 M; c! j1 q" Z# w
| (ft3) 9 S4 a) P5 B: m
| (m3)
: Z4 D, G& k n; @ } | (ft3)
8 ]; T- T2 v- H* |- g6 ]3 C | (m3)
9 x: M0 X7 _- k* b2 {7 p4 A/ H | (ft3) 1 R+ x3 l; f4 v
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8 N/ F0 l9 q; i r1 U3 `2 c* k | ' A, {8 ]; P0 C' z
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| 30.9
0 H& |' m. @. b' O" |2 }3 } | 0.875
: N) Z1 I( {5 l3 e" i | 10.0
7 Q& f& @3 {. ^1 d8 Q! A | 0.283 G; l* f* [# K m8 Q
| - ( |; M/ y8 x4 {# U
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| 35.0
7 X- y, v7 Y0 ? | 265 8 U! d, H; ^' v
| 7.50 ) Q# o$ j7 q, ~/ Z( L; ?
| 106 ) g4 ?# M: j9 _0 I$ V& |; c! n4 h
| 3.00
2 y% P: ?, ?1 ^ | 35.3
. c/ n% O* K7 c: {6 r. ]) t. a | 1.00 ( S6 k) p- ^1 Q) \/ S/ N [
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3 f6 A0 W* A% j' | | - $ q2 ~! {* c$ \% J$ E; ^% q
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! N' Y; \' |" _3 m: f' @3 R
: ^' l: M( y- V3 B9 D0 n( m
| 3,500
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; m+ {& \5 {" d- }2 D/ R6 |; `: t- x | 757
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| 309 * Y+ G- ?; Z: U: w$ G
| 8.75
* l o7 k1 b, d# B9 u$ e | 100 8 E7 F' h3 L. V; o4 h
| 2.83
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| 12,400 ) Y) k3 P6 C. {, j. S
| 350 ' I& {2 J+ b C) T
| 2,650
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| 30.0 ! P B" p9 F% M$ p: w+ S
| 353
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9 g# |: Z6 M! Q9 ~+ z
; e0 o! F7 K5 O* S" x. [2 S; Q | 35,000
# X: a3 v- k4 W) f' W- x | 991 # F7 @: N: J6 u4 Q
| 7,570
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| 3,090 4 R; X! M/ G: f ^
| 87.5
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3 w$ H0 ~# n; q% U0 A) h | -
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| - 2 e& j5 Q$ ], Z( U) L, g
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| 750 ! i# T- ~' @6 E6 E
| 10,600 . f0 a. a$ x6 y3 @
| 300 : s0 W( L7 }. _: o& C" g+ T
| 3,530
* a2 T- z" V6 D1 a4 v t+ Z | 100 " m6 _( u# G. K/ F: F! N, ]
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9 J3 c9 A9 T. S; O$ ]
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, z% [' r* ~/ G9 {+ V2 M | 75,700
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# ?. p7 S$ w! K, n5 b" z' t | 875 ! _% f8 [ ]0 H9 P5 T7 m7 w
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| 283 : E; O! X; m% d, `! i/ v7 S
| - 2 o; d0 z1 s8 c$ {/ c$ c
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| M 4.5
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4 |$ }4 ]3 ?5 j H! ~1 W3 l | -
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9 ~- t" {. s/ ] | - 7 ]$ W7 M1 h& ^1 D
| - 5 L8 E( L7 o5 A6 f$ r* g
| -
0 e! f, l5 B3 [" t( ^ | - ! K) `$ v- v- b' l# S- Z
| 35,300
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| 247 5 E" \# W$ U% H+ D
| 7.00 # T9 x# [. A4 J/ H ]& ]7 c: g9 P
| M 5 [7 [" C4 V3 i' j
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L5 G* Z' u, b: P- }
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| 2,470 5 h( [3 y: C( T5 P& M) h
| 70.0 ( }" s2 f, H" X# Q, _7 s2 S8 _. V
| M 6
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6 q6 X; e# ]* N | 28,300
; Z# A) x, G K% m: b | 6,180 # F* g+ H6 a0 A! c! a7 C
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| 100,000
- _, S: d. D/ [, P4 c | -
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| - 5 Z* ~3 h: _- C1 [/ T
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| 24,700
: C/ H1 Q$ G9 j4 ] | 700 5 n0 g3 s3 y: d" y; {8 V0 ~
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4 f1 E+ x: L; Q; f7 h- v+ G# h | - ' B0 P/ q/ R4 E3 s1 Z( D
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| -
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| -
7 Y: Y* E( U# @. {; ]2 P& G7 u | 10,000,000 8 C* u1 l) j: F4 W
| 283,000
1 b% f) g; T, m, ` | 61,800 " _, g! t& @; _) ]5 }/ j) x; f
| 1,750
/ ]+ }3 ]3 [8 u; v5 c% S. R* b0 ~ |
% V( o: g' n' _6 q& g" p/ u
+ F+ S6 D3 F5 J- O9 S
Fed-Std-209E 洁净度定义 ISO classification number(N) * B1 A* U7 A+ o+ Z# @- m) I
| Maximum concentration limits (particles/m3 of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation (1).
8 h ]+ l! p) y& z" x | 0.1 mm / M3 R& k# K/ K8 q
| 0.2 mm
4 p* i" o5 z3 u8 |/ r0 w& A5 U | 0.3 mm
# Y; W) K# S5 Z; M0 e | 0.5 mm
$ Y; @ N. q6 P# N8 S3 I | 1 mm
2 X& t% ?' z" G! g" z0 ~ | 5 mm
; g- {5 H1 g# u( D7 v! a | ISO Class 1 0 i0 `2 Z! R$ P! O
| 10 6 U" G# r1 A, F, v6 n
| 2 ( t5 m1 M6 s6 V# v/ z
|
$ u+ V9 F3 V: q% G |
4 |. r- c2 A. o. u" y* \( \0 j |
' Z% k. |1 h" M8 }, I0 P$ P1 v2 X8 W; F |
/ m( o Q& b7 n1 g+ n7 G | ISO Class 2 $ Y) V! M: D! M& g; K' O
| 100
: ~% B- e8 B2 ?9 d m3 [9 ] | 24 ( Q3 O; Z' R! r. _
| 10 1 k! N; n# l1 G2 M- a4 }9 ~
| 4 # R" l" s2 I0 b" p
| # K" u0 `3 Q: E5 b; y A
|
3 j4 m2 s$ R" {. u4 @ A | ISO Class 3
" j3 e9 c9 O0 K# Q; T | 1 000
: ~, _! Z) W- ~9 ] | 237
7 c" O& P: J' W( j& V( a: v | 102 # L! E: U6 J/ `/ O2 m5 ~
| 35
0 w6 ^2 a. g/ x7 W! S6 d* Z | 8 ) h# Z' W2 t; J% `2 Y
|
8 v9 g3 O4 C( {4 j$ C& s | ISO Class 4
: ?+ F; x* k* o; H0 }& K | 10 000 . y8 T$ k/ I1 J' o2 C
| 2 370 4 S, l( {# C- S ^. }3 y; I
| 1 020
% p7 u! D6 _- J, |2 U0 R | 352
) q, I6 z( c$ _. J/ d& C" ~# A5 X3 I | 83
, e7 ]4 ]8 t& Y6 c; x; R, c; c |
, ?+ b. E! @) s. x% C9 r( ] | ISO Class 5 * y1 ]- [9 t; h" s; p3 F' \
| 100 000 h+ x4 Z; R( q; f
| 23 700
3 W( |4 k( o6 j2 {* ]# j1 I | 10 200 4 ^- X% E* ^1 \8 T$ b H- d2 n. y
| 3 520
. D% P$ T- L0 g& r0 }$ x | 832 $ H Y" y. o% t7 q) J1 O
| 29
7 c% q1 B- o6 T, j | ISO Class 6
9 O! N2 `6 K& y; ` | 1 000 000
* L- s9 d0 W/ g; } | 237 000 8 M% @. w, N/ T' s4 }) q+ T
| 102 000
; w" t& `; U% N- p, g3 F7 e | 35 200
, D# y5 L6 _+ `( }6 A; I$ k | 8 320
2 e* a9 s' U5 s% F1 O. T | 293
6 Y- r6 h. X1 s2 L7 J | ISO Class 7
7 k6 `/ W/ X, d | 6 z2 \$ D. ^9 }6 d1 y' ~& b/ _
|
* t C+ Q, }( s3 C |
( Q+ t* I8 L ~% d$ _ | 352 000
/ g0 S) p4 k) h3 G& ^ | 83 200
) \9 O8 r% Z( R4 a0 P% z" d* Q | 2 930
8 q! t [9 k7 V2 X) f | ISO Class 8
o P) |. L# X s: A( E |
/ V. ?& `, g2 J$ K) x% r | 3 B% e3 W- ?1 l
|
9 M6 q6 O3 f n% {2 k | 3 520 000 ; Y3 C% h4 P( A0 e
| 832 000 2 m! q/ I/ V( \$ G& ]
| 29 300 4 a7 c. R* g- y2 ~
| ISO Class 9
$ @9 a K% R. J d- Y | 0 i, c9 [% l0 N$ j7 T9 p
| * b8 t/ z* Y+ k: b, H, i& w
|
+ e2 z; F7 X1 ?* F | 35 200 000
4 }* x3 e5 f2 p* Q% Q& ` | 8 320 000
* E; W' C9 r5 G0 o" u P; ~ | 293 000 6 r7 _2 X3 f$ B
| NOTE, e$ Y7 m6 I" ]9 q
Uncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level.
$ h) m$ c" s& e/ }& I, I
& }9 U; W( y& K: ~Equation (1): Cn = 10N X (0.1/D)2.08 其中Cn是微粒浓度，N 是洁净度，D 是粒径3 F' y$ e; j, j# W7 S1 e [
9 Y: x+ {8 W. D6 ?
- y9 r0 g0 H: M# P" ^ |
& `4 x, \, x4 K
- H6 i8 C: L% @2 g% c" C
ISO-14644 洁净度定义 # \, L0 e* E' O; Z9 v0 M- ?
' P; z' G/ ^7 a6 j! o% u
5 Q* m8 q( _; h* a! @ f比较以上两表我们可看出/ ^. G% N! ?0 o3 N8 D
- 209E 的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表，徒然造成混淆
- 在两表中 0.5 mm 几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径 0.5 mm 的粒子非常具有代表性
- 在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度， ISO-14644 的范围比 209E 都来的广，因此具有未来性
四、无尘室测试范围
! N6 M2 G6 O* Z! X凡是和无尘室环境控制有关的因素，都在无尘室认证的范围之内。在无尘室完工之前，业主、施工单位、与测试单位‧应就以下几个主题做详细讨论并达成协议，以利测试进行。
/ A" d7 l' P: J6 z- 待测无尘室涵盖范围、等级、面积、滤网位置、与数量
- 测试的目的
- 测试程序
- 使用仪器
- 测试报告撰写方式与内容
- 工期
在测试前，将以上项目定义清楚，可以使测试顺利进行，发现问题时也可以尽快排除，对业主和施工单位都有利。
& R3 C% n: s5 U; K' h. [5 k$ aIEST-0062 有一个表说明测试项目，以及适用状态，具有相当参考价值表列如下。& Z) a: A0 }6 S f- A- V) \6 z( S0 g ^
IEST-RP-CC006.2 Table 10 {9 p2 u3 {$ _. L9 ]
% o S" |* E! f' k& \4 R: }章节3 w0 A) F; ^' P+ z; U/ c9 X
| 测试项目
/ k: e `" Q0 ]2 p | 单一流向型 7 l( @1 j1 t1 a/ t1 R \0 J9 {
| 非单一流向型
. V/ {0 x3 t+ i) }# ^# T5 k+ f5 a' b | 混合型 : J1 |! d- `. e8 F v# @
| 6.1 2 O' n* a* ^1 W" v. C6 n
| 风量与均匀度% }5 U( n m' g7 H
风速与均匀度 ! y% Z R: f+ {9 V
| 1,2,3 . U" ~3 z3 c5 j* P/ G, }2 W3 t3 }
1,2,3 7 |& N9 S- X {
| 1,2,3 5 o& }7 f$ n4 A6 J" |# y
OPT / r6 P+ n$ n: A
| 1,2,3 ; t# G' J/ [# f+ E& F% y) E
OPT 3 D% N5 l$ f7 Y( [# v* u3 i x- @3 o
| 6.2 ; X+ T* Z& j: {% r/ g4 }% s W0 c& b/ W
| 滤网泄漏
7 n% k7 I7 A+ A1 w | 1,2
, r- O! Y# p$ |! m W | 1,2 ! _$ @ D9 p) Q a. i
| 1,2
& G' K$ u4 n: w: l! P2 z4 B | 6.3 0 D3 W& o/ C0 X: @9 [7 z
| 洁净度 6 W u3 e4 O+ r: t" F: J
| 1,2,3
# M, l" r# u5 |# S6 ~! p2 Z* Z | 1,2,3
& L- F8 ?! ?. t/ c+ E9 x/ o7 E+ | | 1,2,3 + @& L! T* H6 e8 R' T$ I
| 6.4
7 J; B; X; U# S- \' l2 O, A- U- j | 压力
1 w) b. f" ~- a# |$ r | 1,2
/ h* N5 r! ?1 R# M+ \# t | 1,2,3 . T b# H5 M) _- L1 u& {
| 1,2,3 ! ]; ]$ G+ `& e. B6 X# S
| 6.5
9 e! F2 M6 @' Q! z. i! o | 平行度
' G }2 B( Y, P& U. j8 E! P1 E | 1,2
+ ] C! U2 i1 ?, L | N/A # ]3 P6 Q9 o( X6 g6 J/ L: e
| OPT (1,2 only)
; u) I* O& L0 p8 T1 C | 6.6 2 i1 @1 N% b: A' `
| 空间泄漏 8 h- k+ e3 P7 T4 y$ {; b5 C
| 1,2 0 Q) q. J, ` R
| 1,2 ; a+ L7 V/ R- ~8 X) O: l% j
| 1,2
[9 k0 X2 |' Y* A5 K4 B | 6.7 . F+ w' [( T+ Q- f2 t: i" |; B7 h
| 恢复率 ' `& z. Q8 k: h) f! ^
| N/A
" ^( F# p. X2 m% t; |/ ^0 q; B | 1,2 9 G* _' Q' L% U" x; g" A
| 1,2
) ]" q" D* d6 {0 H | 6.8 & x8 b: c1 {/ O5 q; O6 y
| 粒子沉降测试 % z, Q l2 k& U X% w* q
| 1,2,3
& {( t: \( R8 ]7 J W | 1,2,3 ) ^/ Q6 r0 Q$ N
| 1,2,3
! J6 k: J) x0 z, g# ] | 6.9
7 J. ? y3 B0 r& h4 \5 W | 照度 0 t B5 _/ p2 g: I) ^
| 1,OPT(2,3)
# C4 B" b; Q {/ H) t. R# B | 1,OPT(2,3) 0 [/ ~% \- Q9 Y
| 1,OPT (2,3)
o; K1 F: N! X( r' \9 v | 6.10 ; T. V3 w2 A/ I1 G$ o. L. S. n9 W
| 噪音
2 R- N4 Y, ]) Z x | 1,2,3
, e r/ C) \" S C2 _. r | 1,2,3 " |; l5 a* y& Y5 ^
| 1,2,3 ( q. a ^3 |" c5 l# C, j2 t: V7 K2 W
| 6.11-6.13
: h+ L. e6 C1 E# _& S3 i( m, h | 温湿度
3 Z! z2 Y" j4 s( Y+ U% V# H7 d% k | 1,2,2
+ i# Z: l1 ]$ o2 GOPT 2 y' J) D7 E7 W. t/ C2 |0 S
| 1,2,3 + Z, ]% p* l! u
OPT
# r5 B* B) j- k. B. t& ^. i | 1,2,3
8 @. h8 T3 B5 A/ v- [6 {OPT
$ D+ a/ ^$ z6 L" _ | 6.14
2 o4 ^" C r! e- {! Z | 振动
- g0 B6 V* [' ?: z: k6 _ | OPT
* }% x5 U5 G' m0 N: m! t | OPT
3 K( s; X5 d/ g | OPT
: x0 Q) W+ s. H" z+ {* _* |6 ` |
8 J/ S) z. l8 p& }- t Y* o% |测试的顺序没有硬性规定，但是仍旧存在某些比较理想的顺序
( t/ G5 K: b4 R1 l 1: 测试适用于 As-built
9 P+ [3 H1 g; f/ L9 r) }状态 M% {, c! v: w7 b
2: 测试适用于 At-rest
7 K9 d# J7 c, U. d" v; V* g& s$ P2 F$ w, X状态
3 Q4 u. d& K& u* c 3: 测试适用于 Operational
$ ~- }0 o7 v& e" u, r( t状态 : j! i! q) c, Q4 I
N/A: 代表该测试在该状态下〝不适用〞
# G/ n6 u- [% T _. f OPT: 代表该测试在该状态下为〝选择性测试〞，可以视制程需求而定 , |& ^/ @0 ]2 b7 q
由上表可看出，风量测试〈使用气罩〉适用任何状态，因为不易受干扰。风速量测，在非单一流向型〈乱流型〉无尘室就不推荐，因为容易受干扰。当然这是 IEST 的建议，我们可以自行决定。
7 J) R, ?8 v- W1 w8 u8 w: a: R4 |至于测试的项目选择，NEBB 建议：依重要性分成三级，说明如下。2 ], e" @- ~* \" O
第一级〈Level I〉: 第一级测试是所谓的主要测试，与洁净度直接有关的测试都属第一级，每个无尘室都应至少应做的测试。第一级测试项目包括：
. K2 x; e5 o5 l4 a: tA. 风速量测
% O+ Q; D( _7 U6 V) Y5 d4 ^: @1 fB. 风量量测
$ {* y' `' Q$ @+ GC. 前两项的均匀度分析
+ `9 B2 i) h- i6 a% z# pD. 滤网泄漏测试# T) q+ P$ F9 S8 W& I; v
E. 洁净度测试6 G; J0 B% N4 \" {
F. 压力量测
8 i( G, }) O2 \. c5 d第二级〈Level II〉: 第二级测试，虽然也是与洁净度与气流有关，但是只有在特殊情况下才需要进行。
! j+ T! ?. L+ R7 g3 L! |. y8 JA. 气流平行度量测〈只适用层流型无尘室〉
: B8 {( Z" j. m" v* n1 PB. 空间泄漏测试〈几乎已被压差测试取代〉* |# v( F) r& N: Q2 S! {- H
C. 恢复率测试〈依建议只适用乱流型无尘室〉
$ {! A: t- E3 _2 o2 [D. 粒子沉降测试〈近年来已经很少做〉
9 R# `) I- \4 B7 s& E: e2 H第三级〈Level III〉: 第三级测试就与气流无关，都是属于环境因素。
3 ?3 l1 t, m- N- G: cA. 照度与其均匀度
2 w6 q: \& ?( Q4 x: A$ JB. 噪音测试8 C* ?6 L9 ]" Z0 ]
C. 振动测试1 X$ e7 r5 L% @4 _
D. 温湿度测试. \- Q1 o, U7 ^) N" |' f
0 X# |6 Q. e! g5 T
/ O N0 ~4 r& ?' o& V |
|
